III.7. FIZICA PLASMEI - IFA

g) Stand-instalatie pentru studiul descaracrilor in amestecuri de tip excimer. Sistem de pompare cu
pompa de difuzie; vid limita: 2x10 -4 Pa, sistem intoducere si dozare gaze, generator cu frecventa si
factor de umplere variabile.
h) Instalatie de corodare in plasma (sistem de vidare Edwards, surse rf 100 W, 1000 W). Vid limita:
5x10 -1 Pa. Frecventa 13,56 MHz
i) Instalatie de nitrurare ionica INI-70, Dimensiuni camera: 750 x 1700 + 600 x 800 mm, Putere
instalata: 150 kVA, Putil = 70 kW, Umax=850 V
j) Instalatie experimentala de depunere prin tehnica CMSII (Combined Magnetron Sputtering and
Ion Implantation) Camera de depunere 300 x 420 mm cu un singur magnetron, generator pulsat de
inalta tensiune de 90 kV, durata: 20 µs, frecventa: 5-50 Hz. Utilizare: cercetari experimentale pe
probe sau piese mici.
k) Instalatie industriala de depunere prin tehnica CMSII, Camera de depunere 800 x 750 mm cu
24 magnetroane, sursa de alimentare magnetroane de 25 kW, generator pulsat de inalta tensiune de
50 kV, durata: 20 µs, frecventa: 12,5-50 Hz. Utilizare: productie de acoperire cu straturi subtiri.
Instalație utilizată pentru elaboraea tehnologiilor utilizate în realizarea componetelor pentru JET în
programul EURATOM
1.3. UBB
a) Generator de plasme non-termice 20 – 900 KHz, 10 W (laboratory-made)
b) Generator de plasmă 1.6 MHz, 50 W (laboratory-made)
2) Echipamente și aparatură necesare producerii plasmei în instalațiile precizate la punctul 1.
2.1. UAIC Iași – a) Surse de alimantare de putere controlabile in tensiune sau curent, operând în
regim dc sau in impuls (1,2 kV/0.8 A , 800 V/15A)
b) Generator de microunde cu putere maximă de 1,5 kW
c) Generator de radiofrecvență 13,56 MHz și putere de 600 W
d) Diferite surse de curent continuu cu puteri diferite pentru producerea descărcărilor
electrice în regim de confinare magentică multipolară (100 V/1A, 40 V/5A, 30 V/25 A)
2.2 INFLPR
a) osciloscoape
b) surse de tensiune
c) aparate de măsură a presiunii gazului de lucru și a debitelor
d) Bloc alimentare tensiune inalta, 0-6kV, 0-5°
2.3. UBB
17/110