III.7. FIZICA PLASMEI - IFA

ajunge diverse materiale; plasma produsa genereaza ioni a caror energie poate fi perfect controlata
si stabilita la valori dorite. Ionii produsi in plasma bombardeaza straturile subtiri care se formeaza
chiar cu ionii materialului care se depune.
1.1.5 Studiul plasmelor cu microparticule. (subiect care a constituit în ultimii 20 de ani
subdomeniul cu cea mai spectaculoasă creştere în fizica plasmei). Formarea cristalelor în plasmă are
loc atunci când cuplajul electrostatic dintre microparticule este dominant. La nivel macroscopic,
cristalele formate în plasma se aseamănă cu materia condensată şi prezintă proprietăţi fizice
neobişnuite. A fost realizat un studiu experimental asupra interacţiei jeturilor de plasmă cu cristalele
formate în plasmă. Acest studiu abordează domenii de maxim interes şi actualitate care sunt direct
legate de natura forţei exercitate de către un jet de plasmă asupra microparticulelor, potenţialului
electric din jurul microparticulelor, precum şi de propagarea undelor de microparticule datorate
curgerii ionilor. Un jet de plasmă a fost produs într-un tun coaxial prin aplicarea unei tensiuni de
ordinul a 1-10 kV, la un curent pe puls de 1-2 kA. Viteza a fost de ~10 km/s. O plasma rf de tip
capacitiv la joasă presiune va permite crearea de cristale constituite din microparticule sferice şi
alcătuite din materiale diferite precum plasticul sau carbonul, în stratul de separare de plasmă al
electrodului inferior.
1.1.6 A fost studiat fenomenul de histerezis in descărcările magnetron produse în gaze
reactive. S-a arătat că acest fenomen este determinat esențial de fenomenle de depunere a
meterialului pulverizat de țintă și de reactivitate a acestuia în prezența gazelor reactive in
descărcare. A fost propusă o metodă nouă de studiu a acestui fenomen folosind descărcarea
magnetron în regim pulsat.
1.1.7. Au fost aduse contribuții la evidențierea și clarificarea rolului proceselor la suprafața
catodului, respectiv la suprafața incintei de descărcare și a suportului de probe în apariția și
caracterizarea fenomenului de histerezis în descărcarea magnetron reactiv.
1.1.8. A fost pusă în evidența formarea stratului dublu anodic și a fost clarificat rolul acestuia
în mecanismul de funcționare a TVA.
1.1.9. A fost studiată cinetica particulelor pulverizate din ținta unei descărcări magentron
plan și au foast aduse contribuții semnificative în înțelegerea mecanismelor de termalizare a
particulelor pulverizate
2.10 A fost studiată dinamica plumei de plasmă formată la interacția unui fascicul laser cu o
țintă solidă. A fost pusă în evidență structura dublă a acestei plume care arată prezența a două etape
în formarea și evoluția spțio-temporală a acesteia
2.11. Au fost studiate fenomenele de descarcare generate in configuratii de descarcare
variate (cu electrozi interiori plan paraleli, cu electrozi exteriori inelari, in configuratie cilindrica,
configuratie electrod- duza generatoare de plasma in expansiune);
2.12. Au fost aduse contribuții la identificarea proceselor de creare si excitare a speciilor din
plasmele de presiune joasa generate in curent continuu si radiofrecventa;
23/110