Versuch 3: Interferometrische Distanzmessung
Versuch 3: Interferometrische Distanzmessung
Versuch 3: Interferometrische Distanzmessung
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Durchführung<br />
Es wird ein He-Ne-Laser mit einer Wellenlänge von λ = 632,8nm verwendet.<br />
Da zwischen den beiden Wellen ein Gangunterschied erzeugt wird, entsteht eine Folge<br />
von beobachtbaren Hell-Dunkelstreifen. Jedesmal wenn ein Übergang zwischen hell nach<br />
dunkel erfolgt, wurde die Meßwelle gegenüber der Referenzwelle gerade um λ/2, also um<br />
316,4nm verschoben. Die Auswertung einer Meßstrecke(S) bedeutet daher das<br />
“Abzählen”(N) der Hell-Dunkelringe bzw:<br />
Das “Abzählen”wird in diesem Fall vom Detektor übernommen (dunkel ⇒ Signal: low; hell<br />
⇒ Signal: high).<br />
Ein Spiegel ist auf einem Piezoelement befestigt, das auf das Anlegen einer Spannung mit<br />
einer Längenänderung reagiert.<br />
Die Spannungsversorgung des Piezoelements erfolgt über einen<br />
Hochspannungsverstärker mit einer Nennspannung von 0 – -1000V. Wird die anliegende<br />
Spannung erhöht, kann beobachtet werden wie sich die Interferenzfigur bewegt. Ab etwa<br />
200V ist die Auslenkung des Piezoelements nicht mehr rein transversal linear, sondern<br />
zeigt zusätzlich eine Rotationskomponente (vgl. Korkenzieher), die den Spiegel verkippt.<br />
Um diesen Effekt zu vermeiden sollen nur Meßkurven nur in einem Bereich von 0 – -150V<br />
aufgenommen werden.<br />
In einer ersten Meßreihe wurde die Wegänderung des Piezos bei manueller<br />
Spannungsänderung ermittelt.<br />
Da im Spannungsbereich von 0 – -121V 10 Minima registriert wurden, ergibt sich daraus<br />
eine Wegänderung von S = 3,164µm. Der Spannungswert -100V entspricht somit einer<br />
Verschiebung von 2,615µm. Bei einer Spannungsänderung von ∆Umax -1000V würde der<br />
Gesamtstellweg 26,15µm betragen.<br />
Die Wegänderung eines Piezos ist nicht auf jeden Fall linear zur Spannungsänderung. Bei<br />
einer Richtungsumkehr tritt meist der Effekt der Hysterese auf. Dieser Effekt soll im<br />
folgenden näher untersucht werden.<br />
Dazu wurde der Piezo linear ansteigend in einem Spannungsbereich von 0 bis -114Volt<br />
verstellt, und dann wieder auf 0 Volt zurückgefahren. Der Voltbetrag bei den jeweiligen<br />
Minima wurde notiert und in die Kurve Abb.2 eingetragen. Dabei zeigt die mit den hellen<br />
Kreisen den Vorlauf des Piezos, während die Kurve mit den dunklen Kreisen den Rücklauf<br />
darstellt. Die Ausdehnung des Piezo ist nicht proportional zur elektrischen Feldstärke.<br />
Welche Ausdehnung der Translator bei einer bestimmten Spannung einnimmt, hängt<br />
davon ab, ob er vorher bei einer höheren oder niederen Spannung betrieben wurde.<br />
Dieses nichtlineare Verhalten läßt sich in einem Spannungs/Ausdehnungsdiagramm<br />
zeigen.<br />
<strong>Interferometrische</strong> <strong>Distanzmessung</strong> 4