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3.2.3 Der Verlauf eines Meßzyklus<br />

Der typische Verlauf eines Meßzyklus soll anhand von Abbildung 4 erklärt<br />

werden. Zu Beginn erfolgt eine Grundeinstellung der Bilderfassungseinheit,<br />

die während der gesamten Messungen nicht mehr<br />

geändert wird. Nach Inbetriebnahme des Systems wird die Lampe mit<br />

geringster Intensität eingeschaltet. Eine überhöhte Lichtintensität<br />

fördert den Verschleiß der empfindlichen Scannerröhre. Ober Weg 1<br />

und 2 hellt sich der Monitor auf. Mittels "System Control" wird die<br />

für das System optimale Lichtstärke eingestellt (Weg 3). Die Einstellung<br />

richtet sich nach Angaben des Herstellers und wird über eine<br />

Anzeige der "System Control" kontrolliert. Diese Justierung erfolgt<br />

ohne Meßobjekte im freien Strahlengang. Auf dem Monitor wird erkenntlich,<br />

ob das Bildfeld gleichmäßig ausgeleuchtet ist (Weg 2). Geringe<br />

Ausleuchtungsunregelmäßigkeiten werden durch den "Shade Corrector"<br />

automatisch ausgeglichen (Weg 3). Nun wird die Probenkammer in den<br />

Strahlengang gebracht. Die Probe wird mit Hilfe der Abbildungen auf<br />

dem Monitor (Weg 1 und 2) sowie des Einblicks durch das Mikroskop<br />

(Microscopical Control) fokussiert. Die Ausgangssignale des undetektierten<br />

Bildes gelangen gleichzeitig in die Hardware-Einheit (Weg 4).<br />

Durch Oberprüfung auf dem Monitor wird die Grauwertschwelle so geregelt,<br />

daß sich detektiertes und undetektiertes Bild decken. Ober den<br />

Rechner werden nun willkürlich Größenschwellwerte gesetzt, um Partikel,<br />

die sich in der Größe von den Meßobjekten unterscheiden, aus<br />

der Messung auszuschließen. Die Wahl der Größengrenzen wird auf dem<br />

Monitor überprüft (Weg 5 und 6). Nun beginnt der eigentliche<br />

Meßvorgang, welcher durch den Rechner der Software-Einheit gesteuert<br />

wird. Auf dem ersten detektierten Objekt, das in den vorgewählten<br />

Größengrenzen liegt, erscheint das Rechteck. Die geometrischen<br />

Paramter des Objekts werden vermessen. Für jede Messung erscheinen<br />

charakteristische Muster auf dem detektierten Objekt. Meßdaten der<br />

einzelnen Messungen erscheinen auf dem Monitor (Weg 6). Die Rohdaten<br />

werden der Software-Einheit übergeben und hier in Datenpaketen auf<br />

Magnetbandkassette gespeichert (Weg 7). Nachdem das erste Objekt vermessen<br />

wurde, springt die Marke zum nächsten Objekt und wiederholt die

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