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3.2.3 Der Verlauf eines Meßzyklus<br />
Der typische Verlauf eines Meßzyklus soll anhand von Abbildung 4 erklärt<br />
werden. Zu Beginn erfolgt eine Grundeinstellung der Bilderfassungseinheit,<br />
die während der gesamten Messungen nicht mehr<br />
geändert wird. Nach Inbetriebnahme des Systems wird die Lampe mit<br />
geringster Intensität eingeschaltet. Eine überhöhte Lichtintensität<br />
fördert den Verschleiß der empfindlichen Scannerröhre. Ober Weg 1<br />
und 2 hellt sich der Monitor auf. Mittels "System Control" wird die<br />
für das System optimale Lichtstärke eingestellt (Weg 3). Die Einstellung<br />
richtet sich nach Angaben des Herstellers und wird über eine<br />
Anzeige der "System Control" kontrolliert. Diese Justierung erfolgt<br />
ohne Meßobjekte im freien Strahlengang. Auf dem Monitor wird erkenntlich,<br />
ob das Bildfeld gleichmäßig ausgeleuchtet ist (Weg 2). Geringe<br />
Ausleuchtungsunregelmäßigkeiten werden durch den "Shade Corrector"<br />
automatisch ausgeglichen (Weg 3). Nun wird die Probenkammer in den<br />
Strahlengang gebracht. Die Probe wird mit Hilfe der Abbildungen auf<br />
dem Monitor (Weg 1 und 2) sowie des Einblicks durch das Mikroskop<br />
(Microscopical Control) fokussiert. Die Ausgangssignale des undetektierten<br />
Bildes gelangen gleichzeitig in die Hardware-Einheit (Weg 4).<br />
Durch Oberprüfung auf dem Monitor wird die Grauwertschwelle so geregelt,<br />
daß sich detektiertes und undetektiertes Bild decken. Ober den<br />
Rechner werden nun willkürlich Größenschwellwerte gesetzt, um Partikel,<br />
die sich in der Größe von den Meßobjekten unterscheiden, aus<br />
der Messung auszuschließen. Die Wahl der Größengrenzen wird auf dem<br />
Monitor überprüft (Weg 5 und 6). Nun beginnt der eigentliche<br />
Meßvorgang, welcher durch den Rechner der Software-Einheit gesteuert<br />
wird. Auf dem ersten detektierten Objekt, das in den vorgewählten<br />
Größengrenzen liegt, erscheint das Rechteck. Die geometrischen<br />
Paramter des Objekts werden vermessen. Für jede Messung erscheinen<br />
charakteristische Muster auf dem detektierten Objekt. Meßdaten der<br />
einzelnen Messungen erscheinen auf dem Monitor (Weg 6). Die Rohdaten<br />
werden der Software-Einheit übergeben und hier in Datenpaketen auf<br />
Magnetbandkassette gespeichert (Weg 7). Nachdem das erste Objekt vermessen<br />
wurde, springt die Marke zum nächsten Objekt und wiederholt die