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Lichtstreuende Oberflächen, Schichten und Schichtsysteme zur ...

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6 Lighttrapping-Limits<br />

146<br />

In dieser Arbeit wurden TS = 375 ◦ C <strong>und</strong> TDM = 0,5 wt% als optimierte<br />

Depositionsparameter identifiziert (siehe S. 104). Für das Kombinations-Limit<br />

wird die Absorption einer mit diesen Parametern deponierten<br />

ZnO:Al-Schicht verwendet. Die Beweglichkeit weist mit Blick auf<br />

die höchsten, veröffentlichten Werte (µ ≈ 60 cm2 /Vs, vergl. Abschn. 2.2.1<br />

<strong>und</strong> [44]) noch Steigerungspotential auf. Bei Annahme einer zukünftigen<br />

Steigerung der Beweglichkeit erhöht sich die Transmission eines elektrooptisch<br />

optimal balancierten Frontkontakts im NIR-Spektralbereich. Daher<br />

wird für das Ausblicks-Limit die gemessene Absorption eines im Vakuum<br />

getemperten ZnO:Al-Frontkontakts mit n =1,5·10 20 cm −3 (vergl.<br />

�, Tab. 5.1, S. 100 <strong>und</strong> Abb. 5.2, S. 102) angenommen.<br />

• Verringerte Absorption im dotierten Silizium: Für den im Rahmen<br />

dieser Arbeit ausschließlich betrachteten Fall von p-i-n Solarzellen<br />

mit dotierten p-Si <strong>und</strong> n-Si <strong>Schichten</strong> besteht nur ein geringes optisches<br />

Verbesserungspotential dieser <strong>Schichten</strong> auf kurzer Zeitskala. Diese<br />

Thematik wurde im Rahmen dieser Arbeit nicht behandelt. Daher wird<br />

für die Berechnung des Kombinations-Limits eine unveränderte Dicke der<br />

dotierten Siliziumschichten von 15 nm (p-Si) bzw. 20 nm (n-Si) verwendet.<br />

Für das Ausblicks-Limit wird von einer Reduktion der Absorption in den<br />

dotierten <strong>Schichten</strong> ausgegangen, die einer Reduktion der Schichtdicke um<br />

jeweils 5 nm entspricht. Dazu könnte unter anderem das von Huang et al.<br />

vorgestellte Konzept dienen [191].<br />

• Erhöhte Absorption im intrinsischen Silizium: Der Absorptionskoeffizient<br />

von mikrokristallinem Silizium ist eng verknüpft mit den elektrischen<br />

Eigenschaften wie der offenen Klemmenspannung. Ausführliche<br />

Optimierungen haben zu dem in dieser Arbeit verwendeten Standard-<br />

Prozess für die µc-Si:H-Deposition geführt [33], der auch für die hier betrachteten<br />

Abschätzungen weiterhin als Gr<strong>und</strong>lage dienen soll. Daher wird<br />

im Folgenden eine Steigerung der Absorption im intrinsischen Silizium lediglich<br />

hinsichtlich einer Erhöhung der Absorberschichtdicke diskutiert.<br />

• Verbesserter Rückreflektor: Die parasitäre Absorption am Rückreflektor<br />

besitzt vermutlich das signifikanteste Verbesserungspotential. In<br />

Experimenten zum Einsatz einer 50 nm dicken SiO2-Zwischenschicht wurde<br />

eine deutliche QE-Steigerung realisiert (vergl. Abb. 6.7, S. 138). Ein<br />

Vergleich mit Rechnungen auf Basis von Deckman et al. zeigte, dass<br />

die Verwendung einer auf ein Drittel reduzierten Rückkontakt-ZnO/Ag-<br />

Absorption die experimentell realisierte QE-Steigerung in Rechnungen<br />

gut reproduziert (vergl. Abschn. 6.4.1, S. 137). Zur Lösung des elektrischen<br />

Kontaktierungsproblems könnten z.B. Punktkontaktierungsmethoden<br />

zum Einsatz kommen (vergl. z.B. [199]), welche vermutlich lediglich<br />

einen geringen Bruchteil der Rückkontaktfläche beanspruchen. Daher<br />

wird für das Kombinations-Limit eine Rückreflektorverbesserung auf<br />

( 1/3) · A Rück-ZnO/Ag verwendet. Für das Ausblicks-Limit wird dahingegen<br />

ähnlich der Arbeit von Vaněček et al. [122] ein dielektrischer Rückreflektor<br />

mit einer Reflektivität von 98 % betrachtet.

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