Lichtstreuende Oberflächen, Schichten und Schichtsysteme zur ...

4 Materialeigenschaften von ZnO:Al
Abbildung 4.1: AFM-Aufnahmen (10 × 10 µm 2 ) von typischen Oberflächentopographien
nach dem Ätzen (a) und schematische Verteilung der Oberflächentopographien
in einer Matrix der Parameter Substrat-Temperatur und Targetdotiermenge.
Die Parameterbereiche, in dem die verschiedenen Oberflächentopographie-
Typen erwartet werden, ist durch unterschiedliche Symbolform und im Hintergrund
farblich markiert.
und weniger durch den Ätzschritt selbst bestimmt [48]. In Abhängigkeit der
Targetdotiermenge und der Substrat-Temperatur bildet sich beim Ätzen eine
von drei verschiedenen Oberflächentopographien aus. Die AFM-Aufnahmen in
Abb. 4.1(a) zeigen exemplarisch jeweils einen typischen Vertreter. Wie später
herausgearbeitet wird, unterscheiden sich die Film-Typen auch in weiteren
Eigenschaften, so dass die Einteilung bereits an dieser Stelle sinnvoll ist.
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