Universidad de Carabobo Autoridades

Y. López y L. Scarioni / Revista Ingeniería UC , Vol. 23, No. 3, diciembre 2016, 290-296 293
Tabla 2: Condiciones de deposición de las películas delgadas
de CuO.
Espesor Presión Corriente Velocidad de Evap
(nm) (Torr)×10 −6 (A) (nm/s)
20 2,25 8 0,047
50 1,89 7 0,066
80 1,89 8 0,074
100 2,25 8 0,087
Tabla 5: Propiedades ópticas de las películas de Cu 2 O
fabricadas por oxidación térmica a 100 ◦ C por 180 minutos.
Sustrato Espesor (nm) n k
5 20 2,41 0,83
6 40 2,37 0,60
7 60 2,25 0,43
8 80 2,17 0,31
9 100 2,00 0,10
Tabla 3: Valores obtenidos de los índices de refracción de los
sustratos de vidrio utilizados en cada deposición.
Sustratos n
1 1,50
2 1,49
3 1,52
4 1,49
5 1,51
6 1,50
7 1,51
8 1,50
9 1,51
10 1,47
11 1,52
12 1,50
13 1,47
14 1,52
Tabla 4: Propiedades ópticas de las películas de CuO
fabricadas por evaporación térmica por calentamiento
resistivo.
Tabla 6: Propiedades ópticas de las películas de CuO
fabricadas por oxidación térmica a 200 ◦ C por 180 minutos.
Sustrato Espesor (nm) n k
10 20 3,38 0,90
11 40 3,21 0,84
12 60 3,10 0,74
13 80 3,00 0,61
14 100 2,98 0,57
et al [3] en la región visible para películas de
CuO, por lo que se presume que se trata del
mismo óxido. En el caso de películas obtenidas
térmicamente a 100 ◦ C por 180 minutos, puede
observarse cómo la parte real e imaginaria del
índice de refracción toma valores menores que los
determinados para las películas fabricadas a 200 ◦
y próximos a los reportados para el Cu 2 O [3].
Sustrato Espesor (nm) n k
1 20 3,28 0,76
2 50 3,11 0,63
3 80 3,03 0,58
4 100 3,01 0,55
como también de los sustratos utilizados en cada
deposición, los cuales en promedio se aproximan
al valor reportado en la literatura para el vidrio [6].
Las partes real e imaginaria de los índice de
refracción (n f y k f ) obtenidos para las películas
fabricadas por evaporación y oxidación térmica a
200 ◦ C por 180 minutos, son similares entre sí y se
aproximan a los reportados por Papadimitropoulos
Figura 2: Variación de la parte real (n f ) e imaginaria (k f ) del
índice de refracción con respecto al espesor de las películas
fabricadas de Cu 2 O y CuO.
La Figura 2 muestra la dependencia de la parte
Revista Ingeniería UC, ISSN: 1316–6832, Facultad de Ingeniería, Universidad de Carabobo.