ASPIRE INVENT ACHIEVE - Imec

ASPIRE
INVENT
ACHIEVE
JAARVERSLAG 2009

09
JAARVERSLAG

2009 was een
feestjaar voor
imec, het jaar
waarin we onze
25 ste verjaardag
vierden.

Sinds de oprichting op 16 januari 1984 is imec uitgegroeid tot een onderzoekscentrum met
wereldklasse. Dat hebben we te danken aan de volharding van onze stichters, het leiderschap
van Professor Baron Roger Van Overstraeten die trots zou terugkijken op de verwezenlijking
van zijn levensdroom, de blijvende steun van de Vlaamse overheid, de overheidsinstituten
en de Vlaamse universiteiten, maar vooral aan het enthousiasme van onze medewerkers.
De perfecte combinatie van mensen die jarenlange kennis en ervaring hebben opgebouwd
in imec en de continue instroom van nieuw talent van over de ganse wereld was, en is nog
steeds, een vereiste voor onderzoek van wereldklasse. Ook de continue steun van onze
industriële en academische partners is onmisbaar geweest voor onze evolutie en groei.
Samen zijn we er de voorbije 25 jaar in geslaagd om Vlaanderen op de wereldkaart van
micro- en nano-elektronica te zetten.
Maar onze groei beperkt zich niet tot Vlaanderen. In 2005 hebben we Holst Centre opgericht,
samen met de Nederlandse onderzoeksinstelling TNO en met de steun van de Nederlandse
en de Vlaamse overheid. Holst Centre is een open innovatie initiatief waarmee we de krachten
willen bundelen om samen nieuwe onderzoeksuitdagingen aan te gaan. Met meer dan 185
werknemers uit 25 verschillende landen, en al zo’n 20 partners is Holst Centre een succesverhaal.
Meer recent, in 2008, hebben we ook Imec Taiwan opgericht met de bedoeling de interactie met
de lokale bedrijven en onderzoeksinstellingen te vergemakkelijken. En we kijken vol vertrouwen
naar de toekomst, want open innovatie en globale samenwerking zijn dé sleutel tot vooruitgang.
3

Inhoudstafel
06
LUC VAN DEN HOVE
Imec: veel expertise, één visie
08
GILbERT DECLERCk
2009, een overgangsjaar
10
VISIE EN MISSIE
11
ACTIVITEITEN
12
ONDERZOEkSSTRATEGIE
14
IMEC IN CIJFERS
4
IMEC CORE CMOS
22
kURT RONSE
De grenzen van de lithografie opzoeken
24
HOOGTEPUNTEN
Imec core CMOS
IMEC CMORE
28
INGRID DE WOLF
Betrouwbaarheid: de toekomst voorspellen
30
HOOGTEPUNTEN
Imec CMORE
HUMAN++
34
kRIS VERSTREkEN
Bio-nano: klein maar krachtig
voor onze gezondheid
36
CHRIS VAN HOOF
Digitale geneeskunde
38
HOOGTEPUNTEN
Human++
IMEC ENERGIE
44
MARIANNE GERMAIN
Elektronica met power
46
JEF POORTMANS
Zonnecellen:
een duurzame technologie
48
HOOGTEPUNTEN
Imec energie

IMEC SLIMME SYSTEMEN
54
LIESbET VAN DER PERRE
Draadloze communicatie
kleurt groen
56
HOOGTEPUNTEN
Imec Slimme Systemen
SAMENWERkING
60
DIRk VANDERZANDE
Fundamenteel en toegepast
onderzoek: een kruisbestuiving
62
HOOGTEPUNTEN
IMOMEC: geassocieerd lab aan de UHasselt
64
PAUL LAGASSE
Vlaanderen’s troef:
multidisciplinaire samenwerking
66
HOOGTEPUNTEN
Geassocieerd lab aan de UGent
68
HERMAN MAES
Imec, partner voor opleiding,
ontwerp, productie & innovatie
70
HOOGTEPUNTEN
Imec opleiding en diensten
72
JO DECUYPER
Breng wetenschap tot leven,
jouw leven!
74
HOOGTEPUNTEN
RVO-Society & imec outreach
76
LUDO DEFERM
Nieuwe onderzoeksdomeinen
vragen een nieuwe business-strategie
78
HOOGTEPUNTEN
Business Development
FEITEN EN CIJFERS
80
WALTER FLUIT
Bouwen aan de toekomst
82
HOOGTEPUNTEN
Infrastructuur
84
JAARREkENING 2009
86
ORGANISATIE
87
ADRESSEN
5

Luc
Van den
hoVe,
Algemeen Directeur
en Chief Executive
Officer

IMEC: VEEL
ExPERTISE, ééN VISIE
In juli 2009 werd ik aangesteld als nieuwe CEO van
imec. Ik voel me vereerd door het vertrouwen dat in
mij werd gesteld, en ik prijs me gelukkig en dankbaar
om het gepassioneerd en getalenteerd managementteam
dat mij omringt. Maar bovenal wil ik alle bedrijven
en instituten die met imec samenwerken bedanken, voor
hun continue ondersteuning en hun waardevolle input.
Innovatieve organisaties zijn in continue beweging, imec
is daarop geen uitzondering. In 2009 hebben we onze
krachten gebundeld en ons voorbereid om de uitdagingen
van morgen aan te gaan. Technologische uitdagingen
natuurlijk, maar ook economische en organisatorische
uitdagingen. Ondanks de huidige economische recessie,
heeft imec vandaag een budget van 275 miljoen euro en
tellen we meer dan 1.750 medewerkers.
Dit jaarverslag, imec’s 25 ste , stelt een aantal sleutelpersonen
en teams aan u voor, hun visie, de onderzoeksrichting
die ze uitgaan, en de hoogtepunten die ze in
2009 realiseerden. De cijfers betreffen imec international,
bestaande uit imec België (IMEC vzw gesteund door
de Vlaamse Overheid), imec Nederland (Stichting IMEC
Nederland, deel van Holst Centre, gesteund door de
Nederlandse Overheid) en imec Taiwan (IMEC Taiwan
Co.).
2009 was een jaar van uitdagingen, maar ook een jaar van
spectaculaire verwezenlijkingen. Getuige daarvan zijn de
positieve feedback die we tijdens de vele meetings met
partners kregen, bij de evaluatie door de kernpartners, en
recent nog bij de evaluatie van ons zonnecelonderzoeksprogramma.
2009 was zeer duideljik het jaar waarin ons
zonnecelprogramma uit de startblokken schoot. Maar
ook in het Green Radio en Human++ programma behaalden
we schitterende resultaten. En in de cleanroom
zijn onze mensen erin geslaagd wereldtop cyclustijden
te behalen. Imec werd ook gecertificeerd met een zeer
belangrijk kwaliteitslabel!
Ik zou ook twee verwezenlijkingen uit 2009 in de verf
willen zetten omdat ze een illustratie zijn van imec’s
sterkte, en van welke richting we in de toekomst zullen
uitgaan.
Het eerste hoogtepunt is deel van imec’s onderzoek
naar transistorverkleining. Het illustreert de belangrijke
vooruitgang die we in 2009 met EUV-lithografie gerealiseerd
hebben. 2009 is het jaar waarin het geloof
van de industrie in de haalbaarheid van EUV sterk gegroeid
is, en onze resultaten onderbouwen dit. In 2009 zijn we
erin geslaagd om als eerste ter wereld met EUV-lithografie
een functioneel SRAM-(static random access memory)
circuit te maken in 22nm-chiptechnologie. Hiermee
tonen we dat we aan de top staan met ons onderzoek
en ontwikkeling naar de volgende generaties chiptechnologieën.
Het is een bewijs van de wetenschappelijke
en operationele uitmuntendheid van onze mensen, maar
ook van onze wereldklasse infrastructuur. Dit resultaat
staat natuurlijk niet op zichzelf, het is deel van een evolutie
waarvan we ook in 2010 nieuwe resultaten zullen
kunnen presenteren.
Een andere belangrijke verwezenlijking van 2009 was de
lancering van NERF, Neuroelectronics Research Flanders.
NERF bundelt de expertise van drie Vlaamse topinstituten:
nano-elektronica (imec), biotechnologie (Vlaams
Instituut voor Biotechnologie - VIB) en geneeskunde
INTERVIEW mET Luc VaN dEN hoVE
IMEC
(K.U.Leuven) op één plaats, imec. Door die multidisciplinaire
kennis samen te brengen wil NERF Vlaanderen
wereld wijd op de kaart zetten en internationaal toptalent
aantrekken om met behulp van nano-elektronica
fundamenteel onderzoek te doen naar de werking van
de hersenen.
Dat we ons engageren in dit soort van onderzoeksinitiatieven,
toont aan dat we naast een topinstelling in
onderzoek naar het verkleinen van chiptechnologie,
ook zijn uitgegroeid tot een centrum met wereldklasse
in meer toepassingsgericht onderzoek. Sinds een aantal
jaar hebben we onze expertise hierin uitgebouwd. We
kunnen dan ook uitstekende resultaten voorleggen in
zonnecelonderzoek, bio-elektronica, fotonica, draadloze
technologieën, laagvermogen technologieën en hoogvermogen
elektronica. Imec’s multidisciplinariteit, samen
met zijn hooggekwalificeerd personeel en wereldtop infrastructuur,
wereldwijde partnerships en excellent curriculum
in verkleining van chiptechnologieën, maakt van
ons een interessante partner voor bedrijven die onderzoek
en ontwikkeling willen doen in al die nieuwe expertisedomeinen.
Het is enorm inspirerend om deel uit te maken van
een bedrijf dat steeds op zoek is naar manieren om te
innoveren. In 2010 zullen we verdergaan met het implementeren
van onze innovatieve visie, en samen met
onze partners zullen we vernieuwende oplossingen blijven
ontwikkelen voor een beter leven in een duurzame
maatschappij. Want nano-elektronica zal een cruciale rol
spelen bij het ontwikkelen van nieuwe producten om de
maatschappelijke uitdagingen van de 21 ste eeuw aan te
gaan, zoals gezondheidszorg, milieu, …
7

GiLbert
decLerck,
Executive Officer en
Lid van de Raad van Bestuur

INTERVIEW mET GILbERT dEcLERck
IMEC
2009,
EEN OVER GANGS JAAR,
VOOR DE HALf GELEIDERINDuSTRIE, VOOR IMEC
EN OOk VOOR MIJ PERSOONLIJk
We ondervonden natuurlijk de gevolgen van
de economische crisis en de nasleep ervan.
De crisis heeft het halfgeleiderlandschap
veranderd door een aantal trends in de industrie
te versnellen, en andere te vertragen. Een opmerkelijke
verandering is de overgang naar fablite en assetlite
bedrijven, in evenwicht gehouden door fusies bij de
chipfabricatiebedrijven. Deze evolutie zal uiteindelijk
een positief effect hebben op imec, want samenwerking
in precompetitief onderzoek zal daardoor in de
toekomst alleen maar belangrijker worden.
De veranderingen binnen imec zijn een weerspiegeling
van de ontwikkelingen in de micro-elektronica-industrie.
Verkleining van de chipbouwstenen is nog steeds
dé motor van de chipindustrie. Maar die verkleining
heeft er ook voor gezorgd dat elektronica nu gebruikt
kan worden in een hele reeks van toepassingen die
tot voor kort nog buiten bereik waren. Zo kan de huidige
nano-elektronica interageren met het menselijk
lichaam. Een voorbeeld daarvan zijn imec’s micronagelchips
die zeer nauw contact kunnen maken met
her sen cellen en die de hersencellen kunnen stimuleren
en hun signalen kunnen uitlezen. Door die nieuwe
mogelijkheden stijgt de vraag naar heterogene mi cro -
systemen waarin technlogieën gecombineerd worden,
een onderzoeksdomein waarin imec een uitgebreide
expertise heeft opgebouwd.
2009 was ook het jaar waarin imec een nieuwe CEO
aanstelde. Ik wil Luc Van den hove van harte feliciteren
met zijn nieuwe positie en ik wens hem veel succes. Hij
is de juiste persoon om imec doorheen de komende
fase van groei en verandering te leiden. En imec is klaar
voor die verdere groei: de uitbreiding van de cleanroom
zal afgerond zijn tegen mid-2010 en de plannen
van een nieuw kantoorgebouw dat bijkomende onderzoekers
moet huisvesten, zijn al ver gevorderd.
Ik zie ook steeds meer samenwerking tussen bedrijven
en een groot deel van die samenwerking hebben we
naar imec kunnen kanaliseren.
Internationale samenwerking is natuurlijk de hoeksteen
van imec’s businessmodel en we hebben ook in 2009
een heel aantal nieuwe akkoorden met wereldwijde
partners ondertekend in verschillende domeinen.
Zo hebben we nieuw onderzoek naar imec geleid,
onderzoek naar de verkleining van chipbouwstenen,
naar technologieën voor draadloze communicatie,
biomedische elektronica en nieuwe generaties van
zonnecellen.
Er is ook de Europese samenwerking. Imec’s nano-
elektronica-onderzoek staat aan de top in Europa en het
is onze ambitie om deel uit te maken van de Europese
onderzoeksconsortia die de toekomst van de nano-
elektronica vorm geven. We zijn dan ook nauw betrokken
bij verschillende projecten van Europa’s 7 de
kader programma en we werken mee aan de voorbereidingen
voor het 8 ste kader programma.
Maar in die Europese context is cross-border funding
van essentieel belang, omdat het zorgt voor de noodzakelijke
financiële middelen voor samenwerking tussen
onderzoeksinstellingen en bedrijven uit verschillende
Europese landen en regio’s. We stellen vast dat
het thema op steeds meer agenda’s van meetings
aan bod komt. Dat stemt ons optimistisch over imec’s
Europese toekomst.
Ten slotte is er de samenwerking met lokale bedrijven,
een samenwerking die steeds zeer belangrijk is
geweest voor imec. We ondersteunen innovatieve
Vlaamse bedrijven bij hun proces- en productontwikkeling,
systeemontwerp, prototyping, en zelfs bij de
productie van kleine volumes chips.
Ik ben ervan overtuigd dat samenwerking in onderzoek
de essentiële schakel is die tot vernieuwende en stimulerende
doorbraken leidt, en dat dit ook in de toekomst
het succes van imec zal blijven.
9

VISIE EN mISSIE
IMEC
VISIE EN MISSIE
VISIE
Imec werkt aan de toekomst. Samen met onze
partners van over heel de wereld zullen we
een leidende rol spelen in de ontwikkeling van
nano-oplossingen. Hierdoor zullen mensen een
beter leven kunnen leiden in een duurzame
samenleving.
MISSIE
Imec verricht onderzoek dat tot de wereldtop
behoort in het domein van nano-elektronica.
Onze innovatieve kracht koppelen we aan onze
wereldwijde partnerships in ICT, gezondheidszorg
en energie. Zo ontwikkelen we technologische
oplossingen die relevant zijn voor de
industrie. In onze unieke hightech omgeving is
ons internationaal toptalent gedreven om de
bouwblokken te ontwikkelen voor een beter
leven in een duurzame maatschappij.
10
imec’s missie wordt ondersteund door
Vier trends in de eLektronica-industrie:
1. Het verkleinen van transistors zal ook de komende jaren nog een sterke motor van R&D in nano-elektronica
blijven. Imec beschikt over de infrastructuur en de expertise om zijn unieke toppositie in dit domein
te handhaven, en dat zowel op het vlak van logica- als geheugentechnologie. Imec bereidt zich ook voor
om mee over te stappen naar R&D op grotere siliciumschijven met een diameter van 450mm wanneer de
wereldmarkt in die richting evolueert.
2. Meer en meer evolueert de markt in de richting van heterogene systeemintegratie. Er worden steeds
meer functionaliteiten aan chips toegevoegd om micro- en nanosystemen te ontwikkelen met bijkomende
functies zoals sensoren, MEMS (micro-elektromechanische systemen), NEMS (nano-elektromechanische
systemen), … Die heterogene systemen zijn de motor van heel nieuwe industriële toepassingen
met een enorme groeicapaciteit. Ze kunnen toegepast worden in biomedische technologieën, systemen
voor draadloze communicatie, …
3. In de toekomst zal de industrie ook steeds meer op zoek gaan naar toepassingen waar de grootst mogelijke
functionaliteit gecombineerd wordt met de grootst mogelijke performantie (rekenkracht of geheugencapaciteit).
Zo zal een doorgedreven verbetering van de performantie en miniaturisatie ook nieuwe
mogelijkheden openen voor heterogene integratie, denk hier aan de convergentie tussen biologie en
nanosystemen. Imec heeft resoluut gekozen om ook deze route te volgen.
4. Ook het onderzoek naar hernieuwbare energie, en meer specifiek naar zonnecellen, heeft de laatste tijd
enorm aan belang gewonnen voor de elektronica-industrie. Imec heeft meer dan 25 jaar ervaring in zonnecelonderzoek;
we hebben van dit onderzoek een hoeksteen van onze strategie gemaakt.

ACTIVITEITEN
onderzoek en ontwikkeLinG
Imec combineert op een unieke manier fundamenteel onderzoek naar transistorverklei ning met toegepast
onderzoek naar een breed gamma toepassingsdomeinen. In dit jaarverslag stel len we een aantal imec-specialisten
voor in de verschillende onderzoeksdomeinen. Elk portret is vergezeld van een visie en de belangrijkste
hoogtepunten van het onderzoeksdomein in 2009.
Voor een volledige en gedetailleerde lijst van de onder zoeksonderwerpen kan u imec’s weten schappelijk
rapport raadplegen, te vinden achteraan bij dit jaarverslag.
opLeidinG
Imec slaat een brug tussen de academische en de industriële wereld. Het imec trainingscentrum biedt opleidingen
aan rond nano-elektronica en aanverwante domeinen. Het organiseert hoogstaande technische
cursussen voor imec-personeel en voor de industrie, universiteiten, en hogescholen. Daarnaast ondersteunt
imec ook doctoraatsstudenten. De hoogtepunten van het opleidingsprogramma worden verder toegelicht op
pagina 70 van dit jaarverslag.
samenwerkinG
Imec deelt zijn expertise als leidinggevende onderzoeksinstelling in nano-elektronica met industriële partners,
universiteiten en andere onderzoeksinstellingen.
De hoogtepunten van de samenwerkingsprogramma’s worden verder toegelicht op pagina 79 van dit jaarverslag.
acTIVITEITEN
IMEC
Kwaliteit en iSO 9001 certificaat
kwaliteit op imec is belangrijk: niet alleen de kwaliteit
van de onderzoeksresultaten, maar ook de manier
waarop die resultaten bereikt worden. Naast de
klassieke bewaking van de operationele processen
is er binnen de kwaliteitszorg ook aandacht voor
managementprocessen (kwaliteitsindicators, klantentevredenheid,
continue verbetering).
Sinds 1997 heeft imec België een ISO 9001 certificaat.
Sindsdien hebben hercertificatie-audits de volgehouden
inspanningen bevestigd die imec levert op
het gebied van kwaliteit. Ook de meest recente
hercertificatie-audit – in mei 2009 – was succesvol.
Imec’s ISO 9001 certificaat slaat op de activiteiten in
onderzoek, ontwikkeling, opleiding, advies, ontwerp,
in te gratie, karakterisering van processen, systemen
en software voor nano-elektronica en nanotechnologie.
De audits worden uitgevoerd door de
Belgische certificatie-organisatie kIWA Belgium NV
(www.kiwa.be).
11

oNdERzoEkSSTRaTEGIE
IMEC
ONDERZOEkSSTRATEGIE
ASPIRE INVENT
ACHIEVE
Imec’s onderzoeksstrategie is gebaseerd op
het zoeken naar oplossingen – met nanoelektronica
– voor de grote maatschappelijke
uitdagingen van het komende decennium. De
domeinen van deze uitdagingen zijn duurzame
energievoorziening, betere en efficiëntere gezondheidszorg
en alomtegenwoordige communicatie.
Belangrijk daarbij is de kruisbestuiving
tussen de verschillende onderzoeksdisciplines,
waarbij optimaal gebruik gemaakt wordt van
de aanwezige infrastructuur en competenties.
Onze onderzoeksstrategie is ook gebaseerd
op het groeipotentieel van de onderzoeksdomeinen,
en de differentiatie ten opzichte
van andere onderzoekscentra.
12
imec’s onderzoek is GeGroepeerd in Vijf businessLijnen:
De lijn cmos scaling (nano-elektronica gericht op miniaturisatie) bundelt het onderzoek rond transistorverkleining.
Het onderzoek richt zich op technologieën voor logische chips en geheugenchips zoals DRAM
(dynamic random access memory) en niet-vluchtige geheugens (bv. flash). Processen, materialen en transistorconcepten
voor de (sub-)22nm-chiptechnologie worden er onderzocht. Ook 3D-integratie wordt bestudeerd
met de bedoeling verdere miniaturisatie mogelijk te maken door in 3 dimensies te werken.
Bij CMOS-gebaseerde heterogene integratie (cmore) werkt imec aan de integratie van heterogene technologieën,
geavanceerde verpakkingen, silicium nanofotonica en vermogenelektronica. CMORE biedt ook een
dienst aan voor het ontwerpen en de prototyping van heterogene chips, en ook voor de productie van kleine
volumes van dergelijke chips.
De businesslijn human++ doet onderzoek naar innovatieve oplossingen in het domein van de gezondheidszorg.
Bij Human++ werken imec en Holst Centre aan technologieën voor draagbare en implanteerbare lichaamsnetwerken.
Het gaat onder andere over laagvermogen componenten, radio’s en sensoren. Een tweede onderwerp
zijn de zogenaamde life sciences, waar imec zoekt naar betere systemen voor diagnose en therapie.
Met de businesslijn enerGie zet imec in op oplossingen voor een groene opwekking en gebruik van
energie. Hier werkt imec aan zonneceltechnologie en vermogenelektronica.
De lijn sLimme systemen houdt zich bezig met efficiënte groene radio’s, grote-oppervlakte elektronica,
systemen in folie, draadloze autonome systemen, en systemen voor innovatieve visualisatie.
Binnen de businesslijnen HUMAN++ en SLIMME SYSTEMEN werkt imec samen met Holst Centre aan draadloze
autonome systemen, sensornetwerken, en systemen in folie.

imec core cmos
Lithografie
Logische DRAM (dynamic random access memory)
Interconnecties
human++
Draagbare en implanteerbare
lichaamsnetwerken (i.s.m. Holst Centre)
imec enerGie
Zonnecellen
imec sLimme systemen
Efficiënte groene radio’s
Systemen voor visualisatie
3D-integratie
flash-geheugens
imec cmos-Gebaseerde heteroGene inteGratie (cmore)
Siliciumgermanium MEMS
Siliciumfotonica
Systemen voor visualisatie
Vermogenstructuren en
gemengd-signaal technologie
Life sciences
Galliumnitride-vermogenelektronica en leds
Grote-oppervlakte elektronica en
systemen in folie (i.s.m. Holst Centre)
Toekomstige transistorarchitecturen
INSITE – samenbrengen van
technologie en systeemontwerp
Galliumnitride-vermogenelektronica en leds
Draadloze autonome systemen
(i.s.m. Holst Centre)
13

IMEC IN CIJfERS
14
36,5
is de gemiddelde
leeftijd van imec’s
personeel
185
medewerkers werkten eind 2009 op Holst
Centre, een open innovatie initiatief van imec
en de Nederlandse onderzoeksinstelling TNO,
dat in 2005 werd opgericht met steun van de
Nederlandse en de Vlaamse overheid

1.751
wetenschappelijke artikels
en bijdragen aan conferenties
werden in 2009 gepubliceerd,
vaak in samenwerking met
Vlaamse universiteiten
ImEc IN cIJFERS
IMEC
1.783
mensen werkten eind 2009 op imec,
daarvan zijn er 1.012 onderzoekers en
285 residenten uit de academische
en industriële wereld
15

16
194
doctoraatsstudenten
dragen met hun werk bij
tot imec’s langetermijn
onderzoek
62
nationaliteiten
zijn op imec
vertegenwoordigd

600
bedrijven wereldwijd
zijn partner van imec
ImEc IN cIJFERS
IMEC
31
spin-offs zijn sinds
imec’s oprichting in
1984 al opgestart
17

18
25
prijzen werden uitgereikt aan
imec onderzoekers voor hun
opmerkelijk onderzoek, poster,
wetenschappelijk artikel of
eindwerk
44,7
miljoen euro subsidies ontving imec
in 2009 van de Vlaamse overheid,
en 8 miljoen euro subsidies van de
Nederlandse overheid

175
universiteiten van over
de hele wereld werken
samen met imec
ImEc IN cIJFERS
IMEC
122
patenten werden in
2009 aangevraagd en
97 patenten werden
goedgekeurd
19

imec
core cmos
krachtige chips

kurt
ronse,
Directeur
Lithografieprogramma

Intelligente elektronica die interageert met mens en
omgeving, efficiënte gezondheidszorg, virtuele realiteit,
… allemaal interessante toepassingen waarvoor
zeer krachtige chiptechnologie nodig is. Daarom moeten
we steeds verder gaan in het verkleinen van de bouwstenen
van chips, de transistors. Want hoe meer transistors
op een chip, hoe krachtiger. Maar dat is niet zo eenvoudig.
Stilaan bereiken we de fysische grenzen van transistorverkleining.
We werken met structuren van atomaire
schaal, en krijgen te maken met kwantummechanische
effecten die de werking van transistors beïnvloeden. Bij
imec tasten we de grenzen van transistorverkleining af.
We zijn volop bezig met de ontwikkeling van de 22nmchiptechnologie
en kleiner, waarbij we zowel logische
chips als geheugenchips en chipinterconnecties (zoals
3D) bestuderen. We introduceren nieuwe materialen en
structuren, en onderzoeken innovatieve lithografietechnieken
zoals dubbele maskerlithografie en EUV- (extreem
ultraviolet) lithografie.
Lithografie is het proces waarmee een chipontwerp (het
patroon van een chip) op een siliciumschijf wordt gekopieerd.
Met optische lithografie wordt het chipontwerp
geprojecteerd op de siliciumschijf door licht doorheen
een masker te sturen. Op het masker staat het patroon
in transparante lijnen afgebeeld. Het licht valt doorheen
het masker op de siliciumschijf en reageert met de fotogevoelige
laklaag zodat het lijnenpatroon op de siliciumschijf
wordt gekopieerd.
Hoe kleiner de golflengte van het gebruikte licht, hoe
fijner de patronen en hoe kleiner de transistors van
de uiteindelijke chip. Tegenwoordig worden de meest ge -
avanceerde chips geproduceerd met 193nm immersie-
litho grafie. Maar die bereikt stilaan zijn limiet, en nieuwe
technieken, zoals EUV-lithografie, zijn nog niet klaar voor
industrieel gebruik. Bij imec zoeken we methodes om
met 193nm-lithografie toch nog kleinere transistors te
kunnen produceren.
We gaan bijvoorbeeld met dubbele maskers werken en
de siliciumschijf twee keer belichten, telkens met een ander
masker. Elk masker kopieert de helft van de lijnen en
het uiteindelijke patroon is veel fijner dan wat mogelijk is
met één masker. De techniek begint meer en meer geïntroduceerd
te geraken, afhankelijk van de toepassingen.
Bij Flash-geheugenchips zijn de ontwerpen redelijk
een voudig en wordt de techniek dus al toegepast, bij
logische chips zal dubbele maskerlithografie nog niet
voor onmiddellijk zijn.
Maar dubbele maskerlithografie is een duur proces,
omdat alle processtappen twee keer moeten gebeuren.
Om de kosten van dubbele maskerlithografie te beperken,
zoeken we bij imec naar chemische technieken
om de eerste fotoresistieve lak te bevriezen zodat de
tweede laklaag er onmiddellijk opgezet kan worden. Zo
kan één etsstap vermeden worden, en wordt het proces
goedkoper, en ook logistiek eenvoudiger.
Een andere veelbelovende techniek om 193nm lithografie
voor kleinere afmetingen te gebruiken, is door de vorm
van de lichtbron te optimaliseren voor het specifieke
maskerpatroon. We kunnen de vorm van de lichtbron
veranderen zodat we voor een welbepaald chipontwerp
de meest optimale lichtbron gebruiken.
Het grootste deel van onze aandacht gaat naar het
INTERVIEW mET kuRT RoNSE
IMEC CORE CMOS
DE GRENZEN VAN
LITHOGRAfIE OPZOEkEN
onderzoeken en uittesten van de mogelijkheden van
EUV-lithografie, een lithografietechniek die gebruik maakt
van extreem UV (13,5nm)-licht, en die in de toekomst
de productie van chips in 22nm-technologie en kleiner
moet mogelijk maken. We stellen vast dat de interesse in
en de focus op EUV-lithografie in stijgende lijn gaat. Dat
verheugt me, want op imec hebben we op dat domein
heel wat expertise en infrastructuur in huis. We beschikken
over ASML’s EUV-alfademotoestel en eind 2010 zal
de opvolger, het EUV-preproductietoestel (NXE:3100) in
onze cleanroom geïnstalleerd worden.
We hebben eerst de lichtbron van het toestel geoptimaliseerd,
want een stabiele lichtbron met voldoende hoog
vermogen is noodzakelijk om kostenefficiënte industriële
productie mogelijk te maken. We hebben ook onderzoek
gedaan naar geschikte fotoresistieve lakken, en we zijn
er in geslaagd om 27nm-patronen te produceren. Ook
voor 22nm- en 16nm-chiptechnologieën zullen we in de
toekomst geschikte lakken ontwikkelen, en zelfs 11nmchiptechnologie
is mogelijk.
We concentreren ons nu vooral op de optimalisatie van
de maskers voor EUV-lithografie, omdat we veel defecten
vaststellen op siliciumschijven belicht met EUV. Imec
speelt hier een voortrekkersrol, en de industrie volgt
nauwgezet welke oplossingen we voor dit probleem vinden,
omdat het bepalend zal zijn voor de leefbaarheid
van EUV-lithografie als industriële chipproductie techniek.
Ten slotte onderzoeken we ook alternatieve lithografieën,
zoals maskless e-beam en imprintlithografie. We
vergelijken die technieken op onze eigen toestellen en
analyseren de verschillen.
23

hooGTEpuNTEN
IMEC CORE CMOS
HOOGTEPuNTEN - De grenzen van de bestaande chiptechnologie komen steeds dichterbij
en verdere transistorverkleining stelt ons voor grote uitdagingen. Imec onderzoekt de
mogelijkheden van nieuwe materialen, nieuwe transistorarchitecturen
en nieuwe lithografietechnieken.
01
Een geheugencircuit in
22nm-chiptechnologie
met EUV-lithografie
In 2009 is imec er als eerste ter wereld in geslaagd om
met EUV-lithografie een functioneel SRAM-(static
random access memory) circuit te maken in 22-nanometer
chiptechnologie. Het circuit heeft een totale
afmeting van slechts 0,099 vierkante micrometer. Het
werd ontwikkeld door verschillende ultramoderne
technologieën te combineren. Zo werd voor het
eerst EUV-lithografie gebruikt om zowel de contacten
als de metaallaag te printen die de bouwstenen
(transistors) van de chip verbinden, en werd een zeer
geavanceerde 3D-architectuur gebruikt voor de transis
tors nl. FINFET’s. De testresultaten van imec’s nieuwe
22nm-geheugencircuit tonen een goede werking aan
en bevestigen daarmee dat EUV-lithografie een zeer
bruikbare techniek is om op een kosten efficiënte manier
ultrakleine chiptechnologie te ontwikkelen.
24
02
Optimalisatie
van de lichtbron voor
193nm lithografie
In 2009 is imec gestart met een onderzoeksproject naar
de optimalisatie van de vorm van de lichtbron op de
meest geavanceerde immersiescanner die vandaag de
dag beschikbaar is: ASML’s XT:1900i met een numerieke
apertuur van 1,35. De eerste optimalisatie hebben we
gerealiseerd met diffractieve optische elementen
(DOE) waarmee we de vorm van de lichtbron konden
aanpassen. Op die manier hebben we het contact en
de metaallagen van de 22nm-SRAM-layouts kunnen
verbeteren. We zijn ook gestart met het uittesten van
de mogelijkheden van de flexibele lichtbron.
03
Inspectie en reiniging
van maskers
voor EUV-lithografie
Imec is in 2009 gestart met het zoeken naar goede
instrumenten voor de inspectie van EUV-maskers.
Samen met Hamatech hebben we ook een overeenkomst
getekend om het eerste Hamatech Mask Track
Pro reinigingstoestel in onze cleanroom te installeren
en om samen reinigingsprocessen voor EUV-maskers
te ontwikkelen. Behalve contaminatie door stofdeeltjes,
willen we ook de mogelijkheid van lichtgeïnduceerde
organische contaminatie onderzoeken.

04
Imec zet een belangrijke
stap naar 3D-integratie van
DRAM op logische chips
Etna is een 3D-chip demonstrator die imec in 2009 samen
met zijn 3D-integratiepartners gefabriceerd heeft.
De chip integreert een commerciële DRAM-(dynamic
random access memory) chip bovenop een logische
chip. De logische chip is verdund tot 25µm en verbonden
met de DRAM-chip door through-silicon via’s
(TSV’s) en microbumps.
3D-gestapelde chips
(wafer-level packaging)
05
22nm-interconnectietechnologie
– een
significante stap vooruit
Tijdens Semicon West 2009, één van de belangrijkste
internationale beurzen rond chiptechnologie, presenteerde
imec zijn resultaten met betrekking tot isolatie-
en metallisatietechnologieën, en integratie. Zo hebben
we in 2009 belangrijke vooruitgang geboekt in de metallisatie
van 22nm-interconnecties, in betrouwbaarheidsanalyse
van koper/low-k interconnecties, en in
het beperken van schade door low-k integratie. Deze
resultaten zijn een belangrijke stap vooruit in het realiseren
van interconnecties met voldoende performantie
voor de technologiegeneraties van 22nm en kleiner.
25

imec
cmore
Chips met
sensationele
functies

inGrid
de woLf,
Groepsleider
Betrouwbaarheid
en Modellering

BETROuWBAARHEID:
DE TOEkOMST
VOORSPELLEN
Een belangrijke vereiste van micro-elektronica systemen
is dat ze niet enkel perfect moeten werken,
ze moeten perfect blijven werken. En dat onder
verschillende omstandigheden zoals bij hoge en lage
temperaturen, bij vochtigheid, na spanningspieken, na
een val, ... Ze moeten ‘betrouwbaar’ zijn.
Enkele jaren geleden was betrouwbaarheidsonderzoek
in de micro-elektronica relatief eenvoudig: de meeste
componenten kon men als onafhankelijke bouwstenen
zien, en door de betrouwbaarheid van alle componenten
afzonderlijk te testen, kreeg men zicht op de betrouwbaarheid
van het systeem. Test de chip, test de
verpakking, als beiden ok zijn, is de kans groot dat de verpakte
chip ook ok is. Falers ten gevolge van de invloed
van de verpakking op de chip waren minimaal. Voor het
testen van chip en van verpakking bestonden afzonderlijke,
goed gedefinieerde recepten die men kon volgen,
i.e. betrouwbaarheidsteststandaarden.
De laatste jaren is dit erg veranderd. Nieuwe technologieën
zoals het 3D-stapelen van verdunde siliciumchips,
MEMS (micro-elektromechanische systemen) op siliciumchips,
heterogene geïntegreerde systemen, … zijn allen
gesteund op integratie van componenten die men
niet langer kan zien als onafhankelijke bouwstenen wanneer
men betrouwbaarheid bestudeert. Ook de voortdurende
verkleining van de chipbouwstenen met het
gebruik van nieuwe materialen brengt bijkomende uitdagingen
met zich mee. De verpakking kan een invloed
hebben op de MEMS, of op de verdunde en daardoor
fragielere chips, of op de zachtere of poreuze materialen
die gebruikt worden in innovatieve chipprocessen.
Als verbindingen tussen de gestapelde chips in een 3Dstapel,
zoals kopernagels, falen, dan faalt het ganse 3Dsysteem.
Alles is met alles verbonden en men moet nu
een geïntegreerde betrouwbaarheidsvisie hebben, een
soort 3D-visie, waar wisselwerking tussen de verschillende
componenten belangrijk is. We moeten afstappen
van het bestuderen van de afzonderlijke componenten.
We moeten het systeem als een geheel bestuderen. De
oude, welbekende recepten (standaarden) om betrouwbaarheid
te testen werken daarbij niet meer optimaal.
Om dit op te lossen, wordt meer en meer gebruik gemaakt
van modellering van het gedrag van systemen.
Modellering laat een soort virtueel betrouwbaarheidsonderzoek
toe, dat de zwakste schakel in een systeem
kan aanwijzen en de beste systeemopbouw kan aangeven.
Men moet er zich wel van bewust blijven dat
dit een model blijft dat moet getoetst worden aan de
werkelijkheid. Ook materiaalonderzoek speelt een belangrijke
rol. Hoe betrouwbaar is het materiaal dat je
gebruikt? Het is niet omdat vanuit processing-standpunt
een bepaalde materiaalkeuze zich opdringt, dat dit vanuit
betrouwbaarheidsstandpunt ook de beste keuze is.
INTERVIEW mET INGRId dE WoLF
IMEC CMORE
Wereldwijd wordt gewerkt aan zeer innovatieve
MEMS. Toch is het marktaanbod wat MEMS betreft
eerder beperkt. Een deel van de reden hiervoor is dat
de meeste onderzoekers er niet aan denken dat bedrijven
met hun ideeën ooit ook een product willen
maken. Tussen onderzoek en productie ligt de “oepsno-reliability-realisation-gap”.
Als het dan uiteindelijk
zover komt dat een idee een product kan worden, dan
blijkt het te laat om betrouwbaarheid te gaan inbouwen,
en dan is alle investering voor niets geweest. Het
is dus heel belangrijk dat betrouwbaarheidsstudies heel
vroeg in de ontwikkeling van een nieuw systeem worden
meegenomen.
Deze toenemende integratie brengt ook nieuwe falingsmechanismen
met zich mee, en alleen als men de
onderliggende fysica daarvan kent, kan men voorspellen
of en wanneer zo’n mechanisme een systeemfaler
kan veroorzaken, hoe men dat kan testen, …. MEMS
bijvoorbeeld zijn bewegende micro- tot zelfs nano-
(NEMS) systemen. Die beweging brengt nieuwe mogelijke
falingsmechanismen met zich mee zoals kruip,
vermoeiing, stictie, breuk, ... Bovendien hebben MEMS
bepaalde specifieke omgevingscondities nodig die niet
nodig zijn bij puur elektronische systemen. Om dit
te bestuderen moeten nieuwe optische, thermische
en elektrische testmethodes opgezet en uitgevoerd
worden.
29

inGrid de woLf
BETROuWBAARHEID:
DE TOEkOMST VOORSPELLEN
Betrouwbaarheidstudies worden meer applicatiegericht.
Een kapotte versnellingsmeter in
een stappen teller is niet levensbelangrijk, maar
de betrouwbaarheid van een versnellingsmeter
die beslist over het openklappen van de airbags
in een auto is dat wel. Elke specifieke toepassing
van een specifieke component of een
specifiek systeem heeft een eigen betrouw-
baarheidsstudie nodig. We moeten daar door
veel flexibeler worden in het opbouwen van
onze testen en steeds nieuwe testen ontwikkelen.
De toenemende integratie vergt een goede
samenwerking van de betrouwbaarheidsspecialisten
met ontwerp-, processing-, materiaal-,
test-, en systeemspecialisten. Bovendien vergt
dit een steeds breder wordende kennis van de
verschillende toepassingsdomeinen.
Deze evolutie is duidelijk merkbaar in imec: we
werken meer en meer samen met de andere
onderzoeksgroepen. Wij werken in een erg
breed toepassingsgebied (heterogene integratie,
transistorverkleining, zonneceltechnologie,
biomedische elektronica, 3D-stapelen van
chips, …). Een van imec’s sterktes is juist dat we
al die expertises in huis hebben en dat we dus
multidisciplinaire teams kunnen vormen: experten
in elektronica en mechanica, scheikundigen,
fysici, modelleringspecialisten, … Alleen
op deze manier maken we kans een toekomstig
betrouwbaar systeem te maken.
30
HOOGTEPuNTEN - CMORE verzamelt imec’s activiteiten rond sterk geïntegreerde
chipsystemen met extra functionaliteiten naast rekenkracht. Micro-elektromechanische
systemen (MEMS), sensoren, hoogvermogenelektronica, fotonica en geavanceerde
interconnectie- en verpakkingstechnologieën spelen hier een belangrijke rol.
01
MEMS-testsystemen
en betrouwbaarheid
In 2009 heeft imec een verbeterd geautomatiseerd
systeem opgezet voor het testen van MEMS-betrouwbaarheid
op de volledige siliciumschijf. Het
systeem kan zowel optische als elektrische meettechnieken
gebruiken om het functioneren, de betrouwbaarheid
en de beweging van MEMS te testen
in verschillende omgevingen (temperatuur, druk, gassen).
Er werd ook een nieuwe opstelling gebouwd
en gedemonstreerd voor het testen van de gevoeligheid
van MEMS voor ESD (elektrostatische ontlading)
in verschillende omgevingen. Het systeem
kan in-situ de beweging van de MEMS tijdens de elektrostatische
ontlading monitoren.
02
Piëzo-elektrische
energie-oogster genereert
recordvermogen
Imec en Holst Centre hebben in 2009 op basis van
MEMS-technologie een piëzo-elektrische energieoogster
gemaakt die een recordvermogen van 85µW
genereert uit trillingsenergie. Om de robuustheid van
het instrumentje te verzekeren, werd daarbij gebruik
gemaakt van verpakkingstechnologie op het niveau
van de siliciumschijf. De verpakte MEMS-gebaseerde
energie-oogster genereert genoeg vermogen om een
sensorchip aan te drijven die de temperatuur regis-
treert en draadloos doorzendt.
Siliciumschijf met 3D-chips

03
Betrouwbaarheidsstudies
van 22nm-chiptechnologie
Een belangrijk resultaat in 2009 is de bevinding dat
E en wortel-E modellen te conservatief zijn om de
fysica van falers van back-end-of-line diëlektrica te
beschrijven. Ook de eerste veelbelovende gegevens
voor elektromigratie voor 30nm ½ pitch koperlijnen
werden bekomen. Via eindige elementenmodellering
kon succesvol de residuele stress en de gatengradiënt
in koperlijnen bestudeerd en geverifieerd worden.
Imec startte ook met experimenten voor het in-situ
bestuderen van elektromigratie en diëlektricum door -
slag door scanning elek tronenmicroscopie met nanoprobes.
Materiaal karateri satie van dunne diëlektrica
met behulp van nano-indentatie werd ook verder
geoptimaliseerd.
Imec’s ultralaag vermogen elektrostatische actuator
04
3D-betrouwbaarheid
In het 3D-programma kon imec samen met zijn partners
aantonen dat intermetallische CuSn-interconnecties
een zeer betrouwbare performantie hebben. Er werd
ook aangetoond dat in-situ temperatuur monitoring
tijdens elektromigratietesten belangrijke bijkomende informatie
geeft. Eindige elementenmodellering werd o.a.
gebruikt om de vervorming van koper interconnecties te
verklaren en om delaminatie van de interface tussen koper
en organische isolatie te bestuderen en voorkomen.
Thermische modellen werden gemaakt om de lokale
temperatuur in 3D-systemen te voorspellen. De correctheid
van deze modellen werd succesvol getoetst aan
experimentele resultaten in een vernieuwd thermisch
testsysteem. Verder werden met de partners verschillende
metrologiesystemen bestudeerd voor mogelijke
toepassing in het 3D-programma.
Imec en Holst Centre’s piëzo-elektrische energie-oogster op een draadloze temperatuursensor
hooGTEpuNTEN
IMEC CMORE
05
Energie-efficiënte microactuator
voor in-vivo
biomedische toepassingen
Imec heeft in 2009 een waterdichte ultralaag vermogen
micro-actuator ontwikkeld. Deze actuator is uitermate
geschikt voor gebruik in in-vivo biomedische toepassingen,
en meer algemeen voor alle toepassingen die
een langdurige autonomie combineren met kleine batterijen.
Imec’s prototype heeft een geïntegreerde micronaald
die door de actuator aangestuurd wordt. De
actuator combineert een groot bereik (±50µm) met
voldoende kracht (±195µN) om bijvoorbeeld neuroprobes
in-vivo te positioneren.
Imec’s micro-actuator is gefabriceerd in MEMS-technologie,
en realiseert microbewegingen door middel
van een rupsbeweging: een sequentie van samentrekken,
ontspannen, en aandrijven. Tevens kan de microactuator
een voorwerp met zeer hoge precisie positioneren.
31

human++
Pioniers in efficiënte
gezondheidszorg

IMEC
JAARVERSLAG 2009

kris
Verstreken,
Directeur Life Sciences,
Human++

BIO-NANO:
kLEIN MAAR kRACHTIG VOOR ONZE GEZONDHEID
De ontwikkeling van therapieën voor de ziektes
van de 21 ste eeuw zoals kankers, hart- en
vaatziektes en de vergrijzing van de bevolking
kosten massa’s geld aan de maatschappij. Onze samenleving
staat voor de uitdaging om een betere kwaliteit
en een betere toegankelijkheid van zorg te bieden, en
dit aan een lagere kostprijs. Als imec willen we daarop
inspelen door technologieën te ontwikkelen om ziektes
in een vroeger stadium op te sporen, of instrumenten
die het onderzoek naar ziektes ondersteunen. We
kunnen ook de farmaceutische industrie instrumenten
verschaffen om efficiënter medicijnen te ontwikkelen,
bijvoorbeeld om medicijnen vroeger te kunnen selecteren.
Om een duidelijke meerwaarde te bieden is het noodzakelijk
dat we niet te dicht bij de markt aanleunen.
Daarom leggen we de nadruk op meer fundamenteel
onderzoek dat toch op termijn industrieel en maatschappelijk
relevant is. We vormen zo een tussenschakel
tussen onderzoek aan universiteiten en industriële
ontwikkelingen, net zoals we dat voor chiptechnologie
met succes hebben gedaan. Universitaire laboratoria
zijn kleinschalig, flexibel en niet gestandaardiseerd,
terwijl industriële laboratoria weinig flexibel zijn, zeer
gestandaardiseerd en uitermate geschikt voor massaproductie.
Imec zet daarom een flexibel onderzoekslaboratorium
op met een industriële infrastructuur.
Zo’n commercieel onderzoekslaboratorium geeft niet
alleen het lopende onderzoek bij imec een boost, het
is ook noodzakelijk om de nieuwe technologieën die
we ontwikkelen te testen met het oog op industriële
toepassingen. Het stelt ons in staat om aan de industrie
te tonen dat onze nieuwe technologieën de commercieel
beschikbare instrumenten overstijgen.
Imec ontwikkelt lab-op-chip systemen en biosensortechnologie.
Speciaal ontwikkelde coatings vormen
de tussenschakel tussen elektronica en biologie. Nanopartikels
kunnen specifiek aan bepaalde cellen binden
en gebruikt worden voor de diagnose van specifieke
ziektes. Een stap verder is de behandeling van ziektes,
bijvoorbeeld door nanopartikels te gebruiken om de
gebonden zieke cellen te vernietigen. Of door die nanopartikels
te coaten of te vullen met medicijnen en
die dan in de bloedbaan te brengen, of via fagocytose
door de cellen te laten opnemen, …
Plasmonische golfgeleiders zijn ultrasmalle baantjes
die licht transporteren. Ze zouden de elektrische
baantjes op een chip kunnen vervangen. Daar kunnen
we zeer interessante toepassingen voor bedenken,
bijvoorbeeld in fundamenteel hersenonderzoek. Zo
zouden we plasmonische golfgeleiders kunnen gebruiken
om welbepaalde hersencellen heel eenvoudig met
licht te stimuleren en uit te lezen. Op die manier ko-
INTERVIEW mET kRIS VERSTREkEN
HUMAN++
men we een stap dichter bij de natuurlijke chemische
communicatie tussen hersencellen (met neurotransmitters).
Maar dat is nog verre toekomstmuziek. Vandaag
de dag gebeurt het onderzoek naar de communicatie
tussen hersencellen met behulp van elektrische
stimulatie. Imec ontwikkelt micronagelchips waarop
neuronen kunnen groeien. Zo willen we een alternatief
bieden voor de commercieel beschikbare methodes
die ofwel weinig nauwkeurig, ofwel zeer arbeidsintensief
zijn. We hopen uiteindelijk de communicatie van
de miljoenen neuronen in ons brein te leren begrijpen
zodat er therapieën kunnen ontwikkeld worden voor
hersenziektes als Alzheimer en Parkinson, of zelfs om
hersenverbindingen te kunnen herstellen na bijvoorbeeld
een hersenbloeding.
Diepe hersenstimulatie wordt vandaag al gebruikt om
ziektes zoals Parkinson, obsessies en depressies te behandelen.
Maar de huidige technologie stelt ons niet
in staat om stimulatie af te stemmen op de werkelijke
nood. Imec ontwikkelt gesofisticeerde elektrodes die
zeer nauw contact kunnen maken met de hersencellen.
Uiteindelijk willen we kunnen luisteren naar de hersensignalen,
en heel nauwkeurig en alleen wanneer het
nodig is, gaan stimuleren. Zo sluiten we de cirkel: enkel
therapie wanneer nodig biedt een hoger comfort voor
de patiënt en zorgt voor een kostenbesparing in de gezondheidszorg.
35

chris
Van hoof,
Directeur Geïntegreerde
Systemen, Human++

DIGITALE
GENEESkuNDE
De hoop groeit dat micro-elektronica ons zal
helpen om gezondheidszorg in de toekomst
toegankelijker te maken. Dat we met behulp
van micro-elektronica meer mensen sneller zullen kunnen
behandelen dan we vandaag de dag kunnen, aan
een lagere kostprijs per persoon, en voor een breder
gamma aan ziektes. Biomedische elektronica zou ons
zelfs in staat moeten stellen om aan preventieve gezondheidszorg
te doen.
Ik ben ervan overtuigd dat micro-elektronica die hoop
zal waarmaken. Ten eerste omdat we er steeds meer in
slagen om technologieën te ontwikkelen die aangepast
zijn aan het menselijk lichaam: ultraklein, ultraflexibel
en intelligent. Ten tweede omdat de technologieën die
we ontwikkelen bijdragen aan een gezonder leven. Ten
slotte ook omdat we met chiptechnologie kostenefficiënte
technologieën kunnen ontwikkelen, die geschikt
zijn voor massaproductie.
In imec en Holst Centre ontwikkelen we lichaamsomgevingsnetwerken
met microsensoren die je comfortabel
meedraagt op je lichaam of in je kleding en
die continu bepaalde lichaamsparameters monitoren,
zoals je hartslag, hersenactiviteit, spieractiviteit, … De
sensoren sturen die gegevens draadloos door naar een
computer of smart phone waar ze verwerkt worden.
Lichaamsomgevingsnetwerken winnen stilaan vertrou-
wen in de gezondheidssector en de wellnessindustrie.
Maar het is niet eenvoudig om nieuwe technologieën
te introduceren in de gezondheidssector. Vandaar dat
we bij imec en Holst Centre een groot belang hechten
aan het ontwikkelen van prototypes voor onze technologieën.
Zo kunnen we de industrie overtuigen van
de relevantie en rentabiliteit van onze technologieën
voor massaproductietoepassingen. Prototypes zijn ook
erg belangrijk omdat ze in ziekenhuizen en aan universiteiten
gebruikt en getest kunnen worden. Op die manier
kunnen we onze technologieën valideren.
Wat zijn de technologische uitdagingen voor lichaamsomgevingsnetwerken?
Het moeten geïntegreerde systemen
zijn, die zo klein en licht en comfortabel mogelijk
zijn. Ze moeten ook extreem betrouwbaar zijn,
eenvoudig te gebruiken, en autonoom kunnen functioneren
met een minimum aan onderhoud. Bij imec en
Holst Centre hebben we op verschillende domeinen
al heel wat relevante doorbraken gerealiseerd, gaande
van sensortechnologie, verpakking (flexibel, rekbaar),
draadloze communicatie en energietechnologie (bv.
batterijen, energie-oogsters).
Ook het ontwerp van die heterogene geïntegreerde
systemen, en de optimalisatie van hun energieverbruik
is zeer belangrijk. Waar we vroeger alle subsystemen
zouden optimaliseren en die dan combineren in een
INTERVIEW mET chRIS VaN hooF
HUMAN++
verpakking, optimaliseren we vandaag het ontwerp van
het heterogene geïntegreerde systeem als geheel. Op
die manier kunnen we veel verder gaan in de optimalisatie.
We willen bijvoorbeeld een draadloze sensor
die alleen maar relevante informatie verzendt (bijvoorbeeld
analyse van de hartslag). Daarvoor hebben
we intelligentie aan boord van de sensor nodig, om de
relevante data te berekenen en te extraheren. Maar we
hebben ook een radio nodig die aan- en uitgeschakeld
kan worden en een minimaal energieverbruik heeft.
Zo’n geïntegreerd systeem zorgt dus voor een enorme
energiebesparing in vergelijking met een systeem
waarin sensor, radio en intelligentie afzonderlijk worden
geoptimaliseerd.
Een ander toepassingsdomein waar we bij imec en
Holst Centre aan werken, zijn de intelligente implantaten:
elektronica die binnenin het lichaam werkt.
Ondanks de onmiskenbare voordelen van zo’n implanteerbare
technologie, blijven commerciële toepassingen
voorlopig nog toekomstmuziek. De binnenkant
van het menselijk lichaam is dan ook een zeer uitdagende
omgeving. Als je daarbij de strikte regulering en
de langdurige goedkeuringsprocedures in beschouwing
neemt, dan is de voorzichtigheid van de industrie begrijpelijk.
37

hooGTEpuNTEN
HUMAN++
HOOGTEPuNTEN - Imec en Holst Centre, een open innovatie initiatief van imec en TNO,
willen bijdragen aan een betaalbare en betrouwbare gezondheidszorg. Human++ focust
op heterogene slimme systemen voor snelle diagnose en therapie van ziektes (bv. lab-opchip
systemen, nanopartikels voor gerichte behandeling), technologieën voor intelligente
implantaten, en draadloze sensornetwerken die continu gezondheidsparameters
registreren en interpreteren.
01
Imec’s ontwerpstrategie voor hersenprobes
effent het pad voor diepe hersenstimulatie
met multi-elektrode neuroprobes
Imec ontwikkelde in 2009 een nieuwe ontwerp strategie en gebruikte die in een
prototype multi-elektrode probe voor diepe hersenstimulatie.
Voor zeer nauwkeurige hersenstimulatie zijn elektro des nodig die even
klein zijn als de hersencellen. Zo’n elektrodes kunnen gemaakt worden
door een combinatie van chiptechnologie, goede ontwerp methodes
voor dergelijke heterogene systemen en geavanceerde elektronische
signaalverwerking. Imec’s nieuwe ontwerp- en model leerstrategie
maakt het mogelijk om geavanceerde hersenimplantaten te ontwikkelen
met zeer kleine elektrodes (µm schaal) met verschillende
typologieën, die gelijktijdig elek trisch kunnen stimuleren
en meten.
38
Nanopartikels van verschillende grootte en vorm,
uit edelmetaal en metaaloxide, in oplossing
Multi-elektrode probe voor registratie
en stimulatie van hersensignalen

02
Begrijp je brein
- NERF: toponderzoek
in Vlaanderen
Het Neuroelectronics Research Flanders of NERF werd
in 2009 opgericht. Het is een uniek onderzoeksinitiatief
van imec, VIB en K.U.Leuven dat topwetenschappers samenbrengt
om de werking van het brein te ontrafelen,
gebruik makend van hoge resolutie nano-elektronica.
Omdat dit een totaal nieuw onderzoeksdomein is, vergt
het het actief samenbrengen van verschillende disciplines
om tot doorbraken te komen: de expertise in nanoelektronica
(imec), biotechnologie (VIB) en geneeskunde
(K.U.Leuven). Het samenbrengen van die kennis op één
plaats zet Vlaanderen wereldwijd op de kaart: NERF
wordt het eerste multidisciplinair onderzoeksinitiatief
ter wereld dat de interactie tussen elektronica en hersencellen
zo gedetailleerd zal bestuderen.
Chips zullen gebruikt worden om de signalen van de hersencellen
uit te lezen en de code waarmee ze onderling
communiceren te kraken. Eens de code gekraakt, kunnen
we de chips en de neuronen echt boodschappen laten
uitwisselen. Zo hopen we dieper inzicht te krijgen in het
functioneren van het menselijk brein. Op lange termijn
moet het onderzoek toelaten om nieuwe therapieën te
ontwikkelen voor hersenziekten en -beschadiging.
03
Doorbraak in lab-op-chip
voor vroege detectie en
therapie van kanker
Imec en het IMM (Institut für Mikrotechnik Mainz),
een van de belangrijkste Europese onderzoekscentra in
microfluidica, hebben in 2009 samen met hun partners
in het FP6 MASCOT-project een lab-op-chip systeem
ontwikkeld dat een belangrijke doorbraak betekent in
de detectie van borstkanker en haar therapieopvolging.
Het nieuwe prototype is het eerste lab-op-chip
systeem dat verschillende complexe staalnametechnieken
en meervoudige detectie combineert. Alle
modules voor staalname, staalverwerking, en detectie
werden in 2009 gefinaliseerd en zullen klinisch worden
gevalideerd tijdens een studie naar de effecten van
borstkankertherapie in Oslo.
Microfluïdische
chip met biosensor
39

hooGTEpuNTEN
HUMAN++
40
04
Comfortabele slaaptesten
met draadloze sensorsystemen
In 2009 werd het draadloos slaapanalysesysteem dat imec en Holst Centre hebben ontwikkeld
klinisch gevalideerd. Het prototypesysteem baant de weg voor slaapanalysetesten in de eigen
woonomgeving, buiten het ziekenhuis. Voor de klinische validatie werd het systeem vergeleken
met een commercieel beschikbaar referentiesysteem. De validatietesten vonden plaats in het
slaaplaboratorium van het Universitair Ziekenhuis van Charleroi.
Imec en Holst Centre’s systeem is lichtgewicht, draagbaar en beperkt in grootte. Het bevat 3 kleine
sensoren (20x60x8mm 3 ) die elk twee ultralaag vermogen biopotentiële chips bevatten die signalen
uitlezen, versterken en de ruis wegfilteren, en een draadloze zender die de gegevens doorstuurt
naar een PC. Het sensorsysteem verbruikt slechts 5mA, waardoor het een autonomie van 12 uur kan
garanderen, dat is nodig voor slaapmonitoring.
Met de klinische validatie werd aangetoond dat draadloze systemen een alternatief kunnen bieden
voor de huidige monitoringsystemen. Het toont ook dat imec en Holst Centre’s prototype klaar is
voor productontwikkeling.

05
Imec ontwikkelt slimme
medische implantaten
Imec’s 3D-hersenprobe voor in-vivo toepassingen
In 2009 stelde imec een nieuw prototype van een 3D-neuro probe voor.
De probe kan gebruikt worden in hersenimplantaten om de elektrische
signalen van de hersenen te meten en te interpreteren, ze kan ook gebruikt
worden voor elektrische stimulatie van hersencellen, bijvoorbeeld voor
de behandeling van hersenaandoeningen zoals epilepsie.
Imec’s nieuwe 3D-hersenprobe is sterk geïntegreerd en heeft een heel
dunne basis waardoor ze geïmplanteerd kan worden onder de schedel,
en samen met de hersenen bewegen. Daardoor kan de probe gebruikt
worden tijdens een langere periode. Imec’s nieuwe probe beschikt ook
over veel meer elektroden per probenaald in vergelijking met huidige
neuroprobes, en is bovendien uitgerust met elektronische dieptecontrole
die de elektroden activeert die het beste contact met de neuronen
maken. Imec’s probe werkt daardoor veel nauwkeuriger. Medische
implantaten moeten ook een grote autonomie hebben, zeer betrouw -
baar zijn, en zo weinig mogelijk hinderen. Imec ontwikkelt daarom
geïntegreerde elektronische systemen op basis van standaard siliciumchips.
Zo kunnen we heel kleine systemen met een hoge functionaliteit
ontwikkelen, en tegelijkertijd een lage productiekost garanderen.
06
Een halssnoer voor
continue hartmonitoring
Imec en Holst Centre hebben in 2009 een prototype
van een halssnoer voor ECG (elektrocardiogram) monitoring
ontwikkeld. De innovatieve technologie maakt
langdurige monitoring van het hartritme tijdens de
normale dagelijkse activiteiten van de patiënt mogelijk.
Het ECG-halssnoer bevat imec’s ultralaag vermogen
biopotentiële uitleeschip die met behulp van gespecialiseerde
algoritmes het hartritme analy seert. Het
systeem bevat ook een tweede ultralaag vermogen chip
die onmiddellijk de hartslag meet. Een derde laag vermogen
chip verzendt de ECG-gegevens draadloos naar
een PC (tot op 10m afstand). Doordat de technologie zo
weinig vermogen gebruikt, garandeert het systeem een
autonomie van 7 dagen.
41

imec
enerGie
Een toekomst
met power

marianne
Germain,
Manager Industrieel
Affiliatieprogramma
Galliumnitride

ELEkTRONICA
MET POWER
Als we ook onze kinderen en kleinkinderen een
goed leven willen garanderen, dan moeten we
onze aarde op een duurzame manier beheren
en zuinig omspringen met de aanwezige grondstoffen
zoals water en fossiele brandstoffen. De productie
van hernieuwbare energie en energiezuinige toestellen
is een topprioriteit geworden, en bij imec willen we
hieraan een bijdrage leveren met de ontwikkeling van
goedkopere en efficiëntere zonnecellen, maar ook met
onze expertise in hoogvermogenelektronica.
Hoogvermogenelektronica wordt ondermeer gebruikt
in vermogenomzetters, voor het omzetten van stroom
op hoogspanningsleidingen naar stroom voor het laagspanningselektriciteitsnet,
voor computeradapters, in
allerhande huishoudtoestellen, in verlichting, voor het
omzetten van de gelijkstroom die zonnecellen genereren
in wisselstroom voor het elektriciteitsnet, voor
elektrische voertuigen, … Met de toename van zonnecellen,
windmolenparken en elektrische wagens, en de
opkomst van intelligente elektriciteitsnetwerken, zal
het gebruik van vermogenomzetters in de toekomst
alleen maar toenemen. Maar de huidige hoogvermogencomponenten,
gebaseerd op silicium, bereiken stilaan
hun limiet. Om de efficiëntie van de vermogenomzetters
te verbeteren, zijn nieuwe materialen nodig. In
een ideale vermogenomzetter mag er geen verlies van
energie optreden bij de conversie van energie. En ook
de kostprijs van de componenten, de betrouwbaarheid,
en de grootte (zo klein mogelijk) zijn belangrijk. En natuurlijk
moeten de omzetters kunnen werken bij hoge
spanning en hoge temperatuur.
Imec’s onderzoek naar hoogvermogenelektronica
focust zich op galliumnitride (GaN), een III-nitride -
ma teriaal dat uiterst geschikt is om silicium te ver -
vangen. GaN is een halfgeleider met een grote
bandgap en is daardoor bij hoge spanning robuuster
dan silicium: het heeft een elektrische doorslag -
spanning die 10 keer hoger is dan die van silicium.
GaN bezit ook andere belangrijke voordelen. Zo
heeft het ex ce llente transportcapaciteiten, en het
kan gebruikt worden bij hogere frequenties waardoor
de circuits nog verder kunnen verkleinen (door
over te schakelen op hogere frequenties zou de
grootte van de passieve componenten kunnen ver -
kleinen).
Imec heeft 600V-klasse componenten ontwikkeld met
GaN in plaats van met silicium, en zo het energieverlies
met een grootteorde verminderd. Theoretisch kunnen
we nog 2 grootteordes winnen. Als we daarin slagen, dan
hebben we efficiënte GaN-componenten ontwikkeld
voor hoge spanning, hoogvermogen en hoge temperatuur.
Maar we staan nog voor een aantal belangrijke uitdagingen
vooraleer galliumnitride gebruikt kan worden
voor massaproductie van nieuwe generaties vermogenomzetters.
Zo kan de productiekost verminderd worden door
bijvoorbeeld productieprocessen op grote siliciumschijven
te ontwikkelen. Imec onderzoekt hoe GaN
gedeponeerd kan worden op zo’n schijven. We zijn er
INTERVIEW mET maRIaNNE GERmaIN
IMEC ENERGIE
in 2009 samen met onze partner in geslaagd om galliumnitride
op een 200mm siliciumschijf te deponeren.
Als een van de weinige centra ter wereld hebben we
expertise in het controleren van de stress die optreedt
wanneer galliumnitride wordt gedeponeerd op silicium.
We zoeken ook naar processen voor galliumnitride die
compatibel zijn met de conventionele siliciumchip -
processen. Doordat de industriële chipproductie is
overgeschakeld naar 300mm-siliciumschijven, zijn er
heel wat 150mm- en 200mm-chipfabrieken op zoek
naar nieuwe kansen. Als we dus een productieproces
voor galliumnitride kunnen ontwikkelen dat compatibel
is met die fabrieken, dan zal dat de overgang van
onze galliumnitridetechnologie naar de industrie bespoedigen.
De klassieke gloeilampen verdwijnen uit de winkelrekken
omdat ze te veel energie verbruiken en niet meer
voldoen aan de wettelijke normen. Vooral fluorescente
lampen nemen tegenwoordig hun plaats in. De nieuwe
generatie verlichting, de ledverlichting, is nóg efficiënter,
maar een factor 100 te duur om nu al algemeen
verspreid te zijn. Bij imec willen we onze processen
voor galliumnitride op schijven met grote oppervlakte
aanwenden om ledverlichting goedkoper te maken.
En er is ook nog ruimte om de lichtefficiëntie van
leds (de hoeveelheid licht per energie-eenheid) te
verbeteren.
45

jef
poortmans,
Directeur van het
Zonnecelonderzoeksprogramma

ZONNECELLEN:
EEN DuuRZAME
TECHNOLOGIE
Imec’s zonnecelonderzoek is de basis van imec’s huidige
energiestrategie. Duurzaamheid staat binnen ons
onderzoek centraal: we zoeken naar technologieën
om steeds goedkopere en efficiëntere zonnecellen te
ontwikkelen. Dat gaat van zonnecellen uit silicium (het
overgrote deel van de huidige commerciële zonnecellen),
over printbare zonnecellen (die nog niet op de markt
zijn, maar die een goedkoop alternatief voor de huidige
zonnecellen kunnen worden), tot zeer efficiënte zonnecelstapels
(die gebruikt kunnen worden in ruimtetoepassingen
zoals satellieten of in aardse concentratorsystemen).
De zonnecelmarkt is in volle expansie, en zonnecellen
zullen in de toekomst een steeds belangrijker gedeelte
van de elektriciteit genereren. Hierbij worden scenario’s
ontwikkeld gaande van een paar % van de Europese elektriciteitsproductie
tot zelfs meer dan 10% in 2020. De focus
van de zonnecelindustrie zal daardoor verschuiven
van een zonnecel die elektriciteit genereert, naar een
totaalconcept voor de klant: een zo goedkoop mogelijke
zonnecelmodule die een zo hoog mogelijke omzettingsefficiëntie
combineert met een zo hoog mogelijke
energieopbrengst, en die bijvoorbeeld een geminiaturiseerde
inverteerder bevat in combinatie met lokale energieopslag,
waardoor ze kan instaan voor de stabiliteit van
het elektriciteitsnet en het design en de betrouwbaarheid
van de inverteerder kan geoptimaliseerd worden. Op
de module kunnen via maximum power point tracking
per cel de effecten van beschaduwing geminimaliseerd
worden, … Doordat we bij imec veel relevante expertise
op al die domeinen aan boord hebben, zijn we zeer goed
geplaatst om een belangrijke bijdrage te leveren aan die
‘intelligente’ zonnecelmodule van de toekomst. We zijn
al 25 jaar actief in zonnecelonderzoek; maar hebben
daar naast als nano-elektronica-onderzoekscentrum ook
heel wat bruikbare expertise opgebouwd rond nieuwe
materialen voor hoogvermogenelektronica, en we kunnen
ook heel wat nanotechnologiekennis nuttig aanwenden
voor de integratie van lokale energieopslag, het
ontwikkelen van inverteerders met gereduceerde afmetingen,
… We combineren dit allemaal in één systeemvisie
waarmee we naar industriële partners kunnen trekken,
net zoals we dat met succes in de micro-elektronica
hebben gedaan.
Voor een duurzame technologie in volle groei is ook
een duurzaam businessmodel onontbeer lijk. De zonne -
celindustrie heeft vandaag een zekere maturiteit bereikt
en de traditionele manier van samen werken op basis van
exclusieve bilaterale overeen komsten zou een rem kunnen
vormen op de versnelde technologie ontwik keling en
de transfer van lab naar fab. Om de innovatie vooruit te
stuwen, moet de zonnecelindustrie op zoek naar nieuwe
businessmodellen voor samenwerking in onderzoek en
ontwikkeling. Imec nam hierin in 2009 het initiatief met
de lancering van een Industrieel Affiliatieprogramma
(IIAP) rond siliciumzonneceltechnologieën. Net zoals
in imec’s gevestigde IIAP’s naar transistorverkleining,
hebben we een generische onderzoeksbasis gedefi -
nieerd, in dit geval rond de ontwikkeling van duurzame
technologieën voor de toekomstige siliciumzonnecel-
INTERVIEW mET JEF pooRTmaNS
IMEC ENERGIE
len. Bedrijven kunnen intekenen op het programma en
samen precompetitief onderzoek doen om de kost
van de elektriciteitsproductie door siliciumzonnecellen
te verminderen. Om dit te bereiken, zoeken
we manieren om het siliciumverbruik bij de productie
van zonnecellen te verminderen en tegelijkertijd de
omzettingsefficiëntie van de zonnecellen op te drijven.
Door bedrijven samen te brengen rond een programma
kunnen we voldoende kritische massa creëren
en ontstaat er een breed ecosysteem met zonnecelfabrikanten,
materiaalleveranciers, toestelleveranciers
en energiebedrijven. Die kruisbestuiving moet het
onder zoek voor uitstuwen. Het samenwerkingsmodel
gaat uiteraard gepaard met een correct model rond
intellectuele eigendom, zodat de belangen van de verschillende
partners gerespecteerd worden. En uiteraard
moeten de afzonderlijke partners buiten het generische
onder zoeks programma nog de moge lijkheid hebben
om hun eigen unieke intellectuele fingerprint te
realiseren. Deze manier van samen werken, die we bij
imec al 25 jaar toepassen in ons onderzoek naar de
verkleining van transistors, is tot nu toe onbekend in
de zonnecelindustrie. Maar we stellen vast dat ons
initiatief veel interesse opwekt, niet alleen bij industriële
spelers, maar ook bij publieke instanties. We plukken
nu de vruchten van onze jarenlange ervaring in open
innovatie, van onze multidisciplinariteit, en natuurlijk
van de sporen die we verdiend hebben in ons onderzoek
naar nieuwe zonneceltechnologieën.
47

hooGTEpuNTEN
IMEC ENERGIE
HOOGTEPuNTEN - Imec’s zonnecelonderzoek focust op het verhogen van de
om zettings efficiëntie en het verlagen van de prijs van siliciumzonnecellen. Imec
onderzoekt ook plooibare organische zonnecellen en hoogefficiënte zonnecellen
op basis van III-V materialen (o.a. voor ruimtetoepassingen). Imec onderzoekt
ook de mogelijkheden van GaN voor hoogvermogenelektronica en voor energieefficiënte
en goedkope ledverlichting.
01
Industrieel
affiliatieprogramma
galliumnitride
In 2009 heeft imec een nieuw industrieel affiliatieprogramma
(IIAP) rond galliumnitride gelanceerd. In dit
programma wil imec samen met partners zoeken naar
betere GaN-technologieën voor vermogenomzetting
en ledverlichting.
Voor vermogenelektronica wil het IIAP hoogspanning-,
hoogvermogenschakelaars met laag energieverlies ont -
wikkelen. Mogelijke toepassingen daarvan zijn hoogvermogen
schakelaars voor zonnecelconverteerders,
motoraandrijving, hybride elektrische voertuigen of
schakelende voedingen. Een belangrijke doelstelling
is de kostprijs van GaN-processen verminderen door
GaN te deponeren op grote siliciumschijven.
Het programma omvat ook de ontwikkeling van
hoogefficiënte hoogvermogen leds. De onderzoeksfocus
ligt hierbij op de verbetering van de externe en
interne kwantumefficiëntie, om hoogvermogenleds
mogelijk te maken.
48
02
Imec ontwikkelt
een grote siliciumzonnecel
met een omzettingsefficiëntie
van 18,4% en
met contacten in koper
Op de Europese zonnecelconferentie in Hamburg presenteerde
imec een grote-oppervlakte siliciumzonnecel
(125cm 2 ) met een omzettingsefficiëntie van 18,4%.
Nog belangrijker dan de efficiëntie zelf is dat deze
zonnecel werd ontwikkeld met een ondiepe emitter
die de omzettingsefficiëntie verhoogt, en met
geavanceerde kopermetallisatie voor de contacten
aan de voorkant van de cel. Het gebruik van koper in
plaats van zilver draagt bij tot de duurzaamheid van
het proces en maakt ook verdere kostenreductie mogelijk.
Dat dit resultaat behaald werd op een grote
zonnecel bewijst bovendien de industriële rentabiliteit
van het proces. Het is een nieuwe succesvolle
stap naar steeds goedkopere en efficiëntere zonnecellen.
Onze uiteindelijke ambitie is om zonnecellen
te maken met een dikte van slechts 40µm en een
efficiëntie boven 20%.
SiN/AlGaN/GaN field effect transistor

03
Imec ondertekent
belangrijke samenwerkingsovereenkomsten
In 2009 ondertekenden de Duitse zonnecelproducent
Schott Solar, Total en GDF-Suez, twee belangrijke energiebedrijven,
en dochteronderneming Photovoltech,
de Belgische zonnecelfabrikant, een samenwerkingsovereenkomst
met imec om gezamenlijk onderzoek
te verrichten om het verbruik van de basisgrondstof
van zonnecellen – silicium – te verminderen. Tegelijkertijd
zullen ze de efficiëntie van siliciumzonnecellen
trachten te verhogen. Het onderzoek gebeurt in het
kader van imec’s industrieel onderzoeksprogramma
rond nieuwe generaties van kristallijn siliciumzonnecellen.
Ook materiaal- en toestelleveranciers zoals
MEMC Electronic Materials Inc., Leybold Optics Dresden
GmbH, Roth & Rau AG, en Mallinckrodt Baker B.V.
werken samen binnen dit programma. De belangrijkste
doelstelling van het multipartner-onderzoeksprogramma
is de kost van zonne-energie substantieel verminderen.
Imec werkt ook op bilaterale basis samen
met andere belangrijke spelers zoals BP Solar en de
Japanse zonnecelproducent Kaneka.
49

50
Imec’s mechanische zonnecelstapels
van galliumarsenide en germanium
04
Beloftevolle mechanische
multi-junctie zonnecelstapels
van galliumarsenide
en germanium
Imec presenteerde in 2009 ook een mechanisch gestapelde
galliumarsenide/germanium multi-junctie zonnecel.
Het is de eerste prototype zonnecel gemaakt
met imec’s nieuwe technologie voor mechanisch gestapelde
multi-junctie zonnecellen met potentieel
een zeer hoge omzettingsefficiëntie tot meer dan
40%. Imec ontwikkelde daarvoor eerst dunne-film
III-V en germaniumcellen om die daarna mechanisch
te stapelen. Zo’n mechanische stapels zijn complexe
structuren, maar ze vormen een manier om de omzettingsefficiëntie
en de opbrengst van hoogefficiënte
zonnecelstapels verder te verhogen.
05
Innovatieve transistorarchitectuur
voor GaN
op silicium
Op de IEDM-conferentie van 2009 heeft imec een
vernieuwende, eenvoudige en robuuste architectuur
voor hoogvermogen schakelende versterkers met GaN
op silicium voorgesteld. Dit soort schakelaars staat in
normale toestand uit omwille van veiligheidsredenen.
Imec’s nieuwe transistorarchitectuur heeft een hoge
doorslagspanning van 980V, een uitstekende uniformiteit,
en een lage lekstroom; essentiële parameters om
de vermogenverliezen in hoogvermogenschakelaars te
reduceren.

06
Polymeerzonnecellen met
een omzettingsefficiëntie
boven 5%
Conventionele polymeerzonnecellen worden geproduceerd
via een spincoatingtechniek, een snelle en
goedkope manier om nieuwe actieve lagen voor zonnecellen
te testen. Imec kon in 2009 het spincoatingproces
en de gebruikte elektrodes optimaliseren en
verhoogde daarmee de omzettingsefficiëntie van dit
soort zonnecellen tot 5,4% door aanpassing van commercieel
beschikbare inkten.
Imec’s flexibele organische zonnecellen (5x5cm 2 )
hooGTEpuNTEN
IMEC ENERGIE
51

imec
sLimme
systemen
Een flexibele, interactieve wereld

Liesbet
Van der
perre,
Programmadirecteur
Draadloze Communicatie

DRAADLOZE
COMMuNICATIE
kLEuRT GROEN
We stellen steeds hogere eisen aan de mogelijkheden
van draadloze communicatie.
Mobiele telefoons worden smart phones,
we willen altijd en overal bereikbaar zijn en gelijk wanneer
informatie kunnen opvragen. We willen ook mobiele
toestellen die steeds meer functies kunnen vervullen.
Steeds meer gebruikers verwachten een steeds
hogere kwaliteit, steeds grotere geheugens, steeds
mooiere schermen (bijvoorbeeld high-definition tv),
steeds kleinere en lichtere toestellen en steeds hogere
verwerkingscapaciteiten. Tegelijkertijd willen we dat
de batterij van deze draadloze toestellen minder snel
moet opgeladen worden, waardoor zuinig energieverbruik
cruciaal wordt. De huidige mobiele toestellen
zijn energievreters. Dat is niet alleen moeilijk te verantwoorden
in een maatschappij waarin duurzaamheid
centraal staat. Het zorgt ook voor een beperkte
au tonomie van de toestellen en grote batterijen,
aspecten die in consumentenelektronica het gebruikers
comfort beïnvloeden. Maar in draadloze draagbare
toestellen voor geneeskundige toepassingen, bijvoorbeeld
voor implantaten, of kleine toestelletjes die de
hartslag of de hersenactiviteit opvolgen, zijn autonomie
en een klein volume essentieel. De nieuwe generatie
van mobiele toestellen moet dus energiezuiniger,
en hun batterijen moeten kleiner, of zelfs vervangen
worden door toestelletjes die omgevingsenergie kunnen
omzetten in stroom, de zogenaamde energieoogsters.
Die energie-oogsters zorgen ervoor dat
mobiele toestellen volledig autonoom worden. Ten
slotte zien we ook de trend naar flexibelere mobiele
toestellen met meer intelligentie. We willen altijd en
overal optimaal kunnen communiceren. Het spectrum
voor draadloze communicatie zit overvol en dus moeten
we daar flexibeler mee kunnen omgaan. Draadloze
terminals moeten meer en meer intelligent worden
en automatisch kunnen overschakelen naar de meest
geschikte communicatiestandaard, afhankelijk van omgeving,
locatie, beschikbare bandbreedte en vraag van
de gebruiker.
Imec ontwikkelt technologieën voor de volgende
generatie draadloze communicatietoestellen. Naast
de basisvereisten waaraan consumentenelektronica
moet voldoen, namelijk zo klein, zo goedkoop en zo
eenvoudig mogelijk, zoeken we naar oplossingen voor
de drie bovenstaande uitdagingsdomeinen. We zoeken
naar manieren om de verwerkingscapaciteit van
de mobiele toestellen te verhogen. We ontwikkelen
technologieën die gekenmerkt zijn door een ultralaag
energieverbruik en die tegelijkertijd zo klein mogelijk
zijn. En we ontwikkelen flexibele en intelligente radio’s
INTERVIEW mET LIESbET VaN dER pERRE
IMEC SLIMME SYSTEMEN
die, afhankelijk van de omgevingsomstandigheden en
de gebruikersnoden, communiceren via de meest optimale
draadloze standaard.
Meer recent zijn we nog een extra uitdaging aangegaan:
we willen ook de elektromagnetische straling
die draadloze toestellen uitzenden gaan beperken.
Vandaag wordt er veel energie en elektromagnetische
straling verspild. Hoe kunnen we mobiele toestellen
ontwikkelen waarvan de straling beperkt wordt daar
waar ze niet nodig is, zonder dat die toestellen meer
energie gaan verbruiken en zonder dat ze inboeten
aan performantie? Imec wil mee zoeken naar oplossingen,
door energieverbruik en elektromagnetische
straling van mobiele toestellen samen aan te pakken.
We moeten technologieën ontwikkelen om draadloze
communicatie steeds over korte-afstand verbindingen
te laten gebeuren. Zo kan een groot deel van de straling
en tegelijkertijd ook het energieverbruik vermeden
worden. Als we dat combineren met een technologie
die altijd naar 60GHz overschakelt als dat mogelijk is,
en als we daaraan ook het cognitieve aspect van onze
draadloze technologie koppelen, dan kunnen we zowel
energieverbruik als elektromagnetische straling
beperken tot het noodzakelijke. En dat zal de kwaliteit
van draadloze communicatie ten goede komen.
55

hooGTEpuNTEN
IMEC SLIMME SYSTEMEN
HOOGTEPuNTEN - Imec ontwikkelt slimme radiosystemen voor de mobiele telefoon
van de toekomst: flexibele radiochips die verschillende draadloze communicatie -
stan daarden ondersteunen, 60GHz-radiochips voor draadloze overdracht van heel grote
hoeveel heden data, draadloze autonome systemen, geavanceerde multimediasystemen
die levensechte ervaringen mogelijk maken, … Imec bekijkt ook de mogelijkheden van
organische elektronica voor slimme systemen: intelligente kledij, RfID-labels, oprolbare
beeldschermen, organische geheugens, plastic signalisatie en verlichting, ...
01
Imec verbetert flexibele
radiochiptechnologie
De toekomstige mobiele toestellen waarmee we altijd en overal met elkaar kunnen communiceren zullen
ondersteund worden door flexibele radiochips die verschillende communicatiestandaarden ondersteunen en
automatisch overschakelen op de meest geschikte standaard. Imec ontwikkelt digitale radiotechnologieën waarin de
analoge bouwblokken van draadloze communicatiesystemen vervangen worden door digitale alternatieven. Imec wil
uiteindelijk komen tot een volledig flexibele digitale radio. Digitale radiochips zijn niet alleen flexibel, ze hebben ook
het voordeel dat ze verder verkleind kunnen worden, wat niet altijd mogelijk is in analoge technologieën. Daardoor zijn
ze ook goedkoper te produceren, kunnen er meer functionaliteiten op een chip geïntegreerd worden, en verbruiken
ze minder vermogen dan analoge radiochips.
In 2009 presenteerde imec een herconfigureerbare zenderontvangerchip in 40nm digitale chiptechnologie met stateof-the-art
industriële performantie. De radiochip kan werken tegen een laag vermogenverbruik omdat zijn architectuur
maximaal profiteert van de snelheidsvoordelen van de verkleining van chiptechnologie. Imec ontwikkelt ook
innovatieve analoog/digitaal omzetters (ADC), zoals een RF-ADC in 40nm-chiptechnologie, en een architectuur die de
weg baant naar een volledig digitale radio: als we de ADC aan de antenne kunnen koppelen, dan kan alle signaalverwerking
gedigitaliseerd worden.
56
Wafer met organische RfID’s die bijvoorbeeld kunnen gebruikt worden in
verpakkingen, of als identificatie labels, bijvoorbeeld voor het traceren van producten
02
Record
voor RFID-tags
Imec, Holst Centre en TNO werken aan organische
RFID-tags (Radio Frequency Identification Tags). Deze
zijn een eerste stap om werkelijk intelligente verpakkingen
te maken. Ze kunnen in winkels op verpakkingen
van producten worden aangebracht. Wanneer je dan
het product selecteert en voorbij de intelligente kassa
met RFID-lezer passeert, wordt het kassaticket automatisch
gemaakt.
Op de recente ISSCC 2010 conferentie hebben we een
organische RFID-chip voorgesteld gebaseerd op een
dubbele poort. Deze heeft een record verwerkingssnelheid
en werkt aan de laagste spanning ooit gerapporteerd.
De 64-bit transponder van de chip verwerkt
gegevens aan 4,3kb/s, een verdubbeling tegenover
onze RFID-chip van vorig jaar. Bovendien werkt deze
chip aan lagere spanning (tot 10V), wat hem geschikt
maakt voor een capacitieve en inductieve koppeling
met een uitleesstation.
flexibele multistandaard zenderontvangerchip in 40nm-chiptechnologie

Testbord van imec en Holst Centre’s wekkerchip
03
Wekkerchip zorgt voor
energiezuinige draadloze
communicatie
De huidige systemen voor draadloze communicatie op
basis van batterijen, zoals Bluetooth of WLAN, verbruiken
heel wat energie, ook op tijdstippen dat de radio
geen gegevens moet doorsturen of ontvangen. Dat is
een van de oorzaken waarom de batterij van je gsm zo
snel leeg is. Als oplossing onderzoeken imec en Holst
Centre technologieën voor draadloze communicatie
met ultralaag vermogen.
In 2009 ontwikkelden imec en Holst Centre een ultra laag
vermogen wekkerchip die een draadloze communicatiechip
aan- of uitschakelt wanneer ze gegevens moet
ontvangen of verzenden, zodat die enkel hoeft te werken
wanneer dit nodig is. De nieuwe wekkerchip werkt
op 2,4GHz/915MHz en verbruikt slechts 51µW vermogen
bij continu gebruik, een recordprestatie. Met deze chip
komen elektronische systemen die zonder batterij werken
en hun energie uit de omgeving halen, een stapje
dichterbij. De chip is bijvoorbeeld interessant voor
draadloze sensornetwerken in gezondheidszorg, intelligente
implantaten, grootbereik-RFID’s, draadloze sensoren
voor logistieke toepassingen, slimme gebouwen, ...
04
Tweede generatie van
imec’s ADRES processor
architectuur
ADRES (architecture for dynamically reconfigurable
embedded systems) is imec’s innovatieve processor
architectuur voor draadloze communicatie- en multimediatoepassingen
voor toekomstige mobiele toestellen
zoals herconfigureerbare radio’s. Een XML-template
maakt het mogelijk om een ADRES-processor te ontwerpen
aangepast aan de toepassing waarvoor ze
gebruikt moet worden. Een ADRES-processor wordt
geprogrammeerd in een high-level programmeertaal
(C) met behulp van imec’s DRESC-vertaalprogramma.
Dit garandeert een korte time-to-market voor ADREStoepassingen.
Imec ontwikkelde in 2009 de tweede generatie van
ADRES. Deze is tot 2 keer performanter, verbruikt de
helft van het vermogen, en ondersteunt multithreading.
Deze ADRES-processoren zijn geschikt als bouwblokken
voor toekomstige 4G-toestellen. Bedrijven
kunnen ADRES in licentie krijgen.
Imec’s 45nm 60GHz-Rf front-end chip
05
Imec ontwikkelt goedkope
oplossingen voor draadloze
high-definition (HD) tv
Om een doorbraak van draadloze HD-tv en andere toepassingen
waarbij veel data doorgestuurd moeten worden
mogelijk te maken, hebben we nood aan voldoende
bandbreedte. Die is nog beschikbaar rond 60GHz. Maar
de huidige radiochips die bij hoge frequenties werken
verbruiken te veel energie en zijn zeer duur. Imec wil
met zijn 60GHz-onderzoek kleine, sterk geïntegreerde,
goedkope, energiezuinige oplossingen ontwikkelen voor
toekomstige consumententoepassingen die op de mm-
golf frequentie opereren. Het uiteindelijke doel is om
60GHz-radio’s te ontwikkelen die volledig uit 45nm digitale
chiptechnologie bestaan. In 2009 ontwikkelde
imec een aantal 60GHz-bouwblokken in digitale 45nm
chiptechnologie. Imec toonde ook multi-gigabit per seconde
draadloze communicatie aan met zijn prototype
60GHz-module die imec’s antenne en antenne-interface
combineert met 45nm RF front-end chips, en de signalen
van meerdere antennes verwerkt om bundelsturing
te bereiken. Via innovatieve methodes voor deze bundeling
wordt de kwaliteit van het signaal drastisch verbeterd.
Dit is een manier om de lage performantie van het
signaal ten opzichte van de ruis op te lossen, een typisch
probleem voor digitale 60GHz-radio’s.
57

samen-
werkinG
feiten en
cijfers

dirk
Vanderzande,
Professor aan de universiteit Hasselt
en Vice Directeur IMOMEC

Doordat ik zowel aan de Universiteit Hasselt als
bij IMOMEC, imec’s geassocieerd laboratorium
aan de UHasselt actief ben, heb ik een
goed zicht op het hele onderzoeksspectrum, gaande
van fundamenteel langetermijnonderzoek, tot meer
toepassingsgericht onderzoek en ontwikkeling (R&D).
Nog niet zo lang geleden werden fundamenteel onderzoek
en R&D als onverenigbaar beschouwd: ze vonden
plaats aan verschillende laboratoria, op verschillende
plaatsen, en door verschillende mensen die niet met
elkaar samenwerkten. Men was ervan overtuigd dat je
met R&D niet mocht raken aan fundamentele onderzoeksvragen,
en dat fundamenteel onderzoek niet tot
innovatieve oplossingen kon leiden.
Imec heeft dat idee radicaal veranderd. Aan de universiteitslabs
en bij IMOMEC doen we nu fundamenteel
onderzoek via doctoraatsthesissen, maar doen we ook
toepassingsgericht R&D, en ook het hele spectrum
daartussenin. We zoeken naar mogelijkheden om resultaten
uit fundamenteel onderzoek te gebruiken in
R&D en vice versa. We hebben geleerd dat het samenbrengen
van fundamentele onderzoekers met mensen
die werken aan oplossingen en toepassingen kan
leiden tot interessante ideeën, soms zelfs tot doorbraken.
Ik beschouw het als een voorrecht om dat te
mogen beleven.
Ook de overheid heeft ons begrepen en is gevolgd. Er
wordt nu van ons verwacht dat we nadenken over de
industriële valorisatie van onze ideeën, en in ruil daarvoor
ontvangen we subsidies voor ons fundamenteel
onderzoek. Op die manier kunnen we langetermijndoelstellingen
nastreven, en tegelijkertijd zoeken naar
oplossingen voor problemen die zich vandaag de dag
voordoen. We waarderen die openheid en de kansen
die we krijgen van de overheid.
Maar tegelijkertijd wil ik ook mijn bezorgdheid over de
overheidssubsidiëring uitdrukken. We moeten vaststellen
dat, als gevolg van de economische crisis, de
druk toeneemt om met kleinere budgetten te werken,
budgetten die niet altijd in overeenstemming zijn met
de ambitieuze doelstellingen die Vlaanderen zichzelf
oplegt. Vandaag maken onze onderzoekers die ambities
nog steeds waar, door hun uitstekende opleiding,
enthousiasme en creativiteit. Onze onderzoekers verrichten
uitstekend werk. Maar we moeten ervoor zorgen
dat we dat werk en hun resultaten niet in gevaar
brengen.
In de industrie zien we steeds meer bedrijven die
hun eigen R&D opgeven en kiezen voor gezamenlijke
R&D. En dat is nu juist waar imec sterk in is. Naar het
voorbeeld van imec zijn er in Vlaanderen ook andere
INTERVIEW mET dIRk VaNdERzaNdE
GEASSOCIEERD LAB AAN DE UHASSELT
fuNDAMENTEEL EN TOEGEPAST ONDERZOEk:
EEN kRuISBESTuIVING
samenwerkingsinitiatieven opgestart die mikken op
toponderzoek en topresultaten. Eén daarvan in SIM
(Strategisch Initiatief rond Materialen), een samenwerkingsinitiatief
dat deels gesteund wordt door de
overheid, en dat de bestaande expertise rond materiaalkunde
wil samenbrengen om zo doorbraken in
dit domein te realiseren. Materiaalkunde is IMOMEC’s
sterke kant; onze resultaten in het domein van materialen
ondersteunen het werk dat op imec gebeurt,
bijvoorbeeld in de race naar sub-22nm chiptechnologieën
of het onderzoek rond organische elektronica en
zonneceltechnologieën.
Met de oprichting van spin-offs willen we ons onderzoek
valoriseren naar de regio. In 2009 hebben we een
opmerkelijke spin-off opgericht, die niet van binnenuit
groeide, van een laboratoriumidee naar een toepassing,
maar omgekeerd. Vanuit de samenwerking met
een ondernemer, het zeefdrukbedrijf Artist Screen,
dat geïnteresseerd was in de mogelijkheden van printen
van elektroluminiscente materialen. Uit de zakelijke
kennis van Artist Screen en de materialenkennis
van IMOMEC is Lumoza gegroeid.
61

hooGTEpuNTEN
GEASSOCIEERD LAB AAN DE UHASSELT
HOOGTEPuNTEN - IMOMEC is imec’s geassocieerd laboratorium aan de universiteit Hasselt.
IMOMEC heeft een uitgebreide expertise in het onderzoek naar nieuwe materiaalsystemen
voor gebruik in micro-elektronica, opto-elektronica, bio-elektronica en nanotechologie.
De focus van het onderzoek ligt op plastic elektronica, materialen met brede bandgap,
metaaloxide nanomaterialen, biosensoren en moleculaire elektronica.
01
Nature paper – organische
zonnecellen ontrafeld
Uitgaande van zeer praktische vragen over hoe organische
zonnecellen werken hebben we de onderliggende
mechanismen van de werking van organische zonnecellen
ontrafeld. Het resultaat is dat we nu weten welke eigenschappen
een polymeer moet hebben om zonlicht
optimaal om te zetten in elektrische energie. Door die
kennis slaagden we erin om de laatste jaren de efficientie
van polymeerzonnecellen telkens met 1 procent,
tot tegenwoordig 4-6%, te doen stijgen. Om polymeerzonne
cellen commercieel rendabel te maken wordt een
minimum efficiëntie van 10% vooropgesteld.
Dit onderzoek wordt wereldwijd erkend. De publicatie
ervan in het prestigieuze tijdschrift Nature Materials
is een mooi voorbeeld van een doorbraak die we
te danken hebben aan de kruisbestuiving tussen
R&D en fundamenteel onderzoek.
62
Imec’s organische zonnecellen op glas (3x3cm 2 ) bestaande uit
verschillende actieve materialen, gedeponeerd vanuit gasfase

02
DNA- en immunosensoren
op basis van diamant
Geleidende nanokristallijne diamantfilms zijn zeer geschikt
om gebruikt te worden in markervrije biosensoren
om proteïnes en DNA-fragmenten direct te detecteren
en te karakteriseren. In 2009 heeft IMOMEC een
methode ontwikkeld om patronen aan te brengen in
synthetische diamantlagen op een glassubstraat. Op
die manier zijn we erin geslaagd om een reeks van zeer
kleine (

pauL
LaGasse,
Professor imec-geassocieerd lab
uGent

VLAANDEREN’S TROEf:
MuLTIDISCIPLINAIRE
SAMENWERkING
De weg die de chipindustrie de voorbije 25 jaar
heeft afgelegd, gedreven door de Wet van
Moore (het aantal transistors op een computerchip
verdubbelt elke 18 maanden), is immens succesvol
gebleken. Intelligent ingenieurschap, onderzoek
van wereldklasse, en multidisciplinaire samenwerking,
zijn essentieel geweest in het bereiken van dat succes.
Andere sectoren zijn niet met dezelfde snelheid geevolueerd.
Vanuit de grote uitdagingen waar onze
maatschappij vandaag voor staat dringen nieuwe door -
braken zich op. Denk maar aan de nood aan veilige en
duurzame mobiliteit, of het organiseren van een kostenefficiënte
gezondheidszorg voor een vergrijzende
en groeiende bevolking. En ook de energiesector staat
voor de enorme uitdaging om kostenefficiënte systemen
voor duurzame energieproductie en lager energieverbruik
te realiseren.
Al deze uitdagingen hebben één gemeenschappelijke
noemer: ze zijn extreem complex en vragen oplos -
singen die in grote volumes, kostenefficiënt en duurzaam
geproduceerd kunnen worden. Een voor de hand
liggende oplossing is om de expertise en het groeimodel
van de elektronica-industrie, met meer dan 40 jaar
ervaring in het ontwikkelen van juist dat soort oplossingen,
toe te passen in die nieuwe sectoren zoals
gezondheidszorg, energie en mobiliteit.
Onze Vlaamse onderzoekers en ingenieurs krijgen nú
de kans om het verschil te maken. Onze opleidingen
zijn van zeer hoge kwaliteit, en we beschikken over
intelligente, veelzijdige en goed opgeleide mensen.
We hebben kenniscentra en onderzoeksinstituten die
tot de allerbeste ter wereld behoren. We hebben natuurlijk
onze universiteiten, en we hebben imec, dat
focust op nano-elektronica, VIB (Vlaams Instituut voor
Biotechnologie), dat een wereldreputatie heeft in
bio technologie, IBBT (Interdisciplinair Instituut voor
Breedband Technologie), dat werkt op telecom en
softwaretechnologie en ten slotte ook SIM (Strate -
gisch Initiatief Materialen), Vlaanderens’ jongste sa men -
wer kings initiatief dat expertise in materiaalkunde bijeenbrengt.
We beschikken dus over een unieke onderzoeksomgeving
in het hart van Europa. We kunnen het verschil
maken als we die omgeving gebruiken en ervoor zorgen
dat experts uit alle verschillende disciplines en
centra gaan samenwerken.
INTERVIEW mET pauL LaGaSSE
GEASSOCIEERD LAB AAN DE UGENT
Imec toont al 25 jaar hoe dat gerealiseerd kan worden.
Het begon als een samenwerkingsinitiatief in microelektronica,
waarbij experts uit verschillende disciplines
en verschillende laboratoria (waaronder ook het micro-
elektronica-laboratorium van de Universiteit Gent)
gingen samenwerken. Van in het begin was het imec’s
ambitie een wereldspeler te worden en voor de
industrie relevante oplossingen aan te bieden. Later
ontwikkelde imec een samenwerkingsmodel om
bedrijven de mogelijkheid te geven gezamenlijk
precompe titief innovatief onderzoek te doen waarbij
resultaten, risico en kosten gedeeld worden.
Daar houdt het niet op: meer recent is imec ook
begonnen zijn expertise te gebruiken in andere
domeinen, bijvoorbeeld in gezondheidszorg en ener -
gie. Een bijzonder voorbeeld daarvan is het NERF-
initiatief, een samenwerking met VIB en K.U.Leuven.
De ambitie van NERF is om de werking van de hersenen
te ontrafelen. Dit onderzoek zou op termijn
kunnen leiden tot relevante oplossingen voor hersen -
ziektes.
65

hooGTEpuNTEN
GEASSOCIEERD LAB AAN DE UGENT
HOOGTEPuNTEN - Imec’s geassocieerd lab aan de universiteit Gent omvat activiteiten
in drie domeinen: fotonica, microsysteemtechnologie en communicatietechnologie.
In fotonica realiseerde het lab in 2009 een aantal belangrijke doorbraken met
betrekking to silicium-gebaseerde fotonische chips voor hoge snelheid ICT.
Een ander domein waarmee het geassocieerd lab regelmatig in de belangstelling staat
is de ontwikkeling van rekbare, wasbare, biocompatibele elektronica die bijvoorbeeld
in kleding geïntegreerd kan worden.
Imec vindt nieuwe flexible oplossingen uit voor de energie van de toekomst
66
01
Ultradunne inbedding
van chips voor draagbare
elektronica
In 2009 presenteerden imec en zijn geassocieerd laboratorium
aan de UGent een nieuw proces voor 3D-integratie dat flexibele
elektronische systemen met een dikte van minder dan 60
micro meter toelaat. De nieuwe ultradunne chipverpakkingstechnologie
(UTCP) maakt het mogelijk om volledige elektronische
systemen te integreren in een conventioneel goedkoop
flexibel substraat. Het baant de weg naar goedkope discrete
draagbare elektronica voor bijvoorbeeld welzijns- en gezondheidsmonitoring.
Eerst wordt de chip verdund tot 25 micrometer en ingebed
in een flexibele ultradunne verpakking. Vervolgens wordt het
geheel ingebed in een standaard tweelagig flexibel printbord
(PCB). Na het inbedden kunnen andere componenten bovenop
en onderaan de chip gemonteerd worden, om uiteindelijk tot
een zeer hoge densiteit van integratie te komen.

Vouwbare en rekbare functionerende 7x8 ledmatrix
02
Belangrijke doorbraak
voor optische
communicatie
Imec en zijn geassocieerd lab aan de UGent ontwikkelden
in 2009 ook een ultrakleine en snelle optische
RAM (random access memory) met een record laag
energieverbruik, elektrisch aangestuurd en gefabriceerd
op een siliciumchip. Dit resultaat opent meteen deuren
voor een optisch pakketschakelsysteem met een drastisch
verminderd energieverbruik voor hoge snelheid
optische telecommunicatiesystemen. De ontdekking
baant de weg om het schakelen in optische vezelnetwerken
of optische interconnecties volledig optisch te
laten verlopen en om zodoende niet langer te moeten
rekenen op opto-elektronische oplossingen. Deze
resultaten werden gepubliceerd in Nature Photonics
(editie januari 2010).
03
Toegang tot tien gigabit
per seconde internet
voor iedereen
Imec’s geassocieerd lab aan de UGent is ook actief in
het ontwerpen van hoge snelheid elektronica voor
de toekomstige optische netwerken, de zogenaamde
PON’s (passieve optische netwerken), die de bekabeling
voor telefoonlijnen of kabeltelevisie moeten vervangen
en gigabit-per-seconde (Gbps) breedband aan
huis moeten brengen.
In 2009 ontwierp imec’s geassocieerd lab aan de UGent
een burstmode 10Gbps chipset voor de nieuwe generatie
PON’s. Het netwerk werd succesvol gedemonstreerd
binnen het FP6 IST project PIEMAN van de
Europese Unie, het kan tot 100km ver rijken en tot
16.384 gebruikers voorzien van 10Gbps aan huis.
04
Nieuwe
krachten van licht
blootgelegd
In de april 2009-editie van het prestigieuze tijdschrift
Nature Photonics publiceerden onderzoekers van
imec’s geassocieerd lab aan de UGent en imec een
belangrijke doorbraak in hun on derzoek naar krachtwerking
op basis van licht. Ze konden met een experimentele
proefopstelling lichtkrachten aantonen die
zowel afstotend als aantrekkend kunnen werken, afhankelijk
van de ruimtelijke verdeling van het gebruikte
licht. De afstotende kracht was nog nooit eerder aangetoond
en maakt dat dit experiment een belangrijk
fundamenteel wetenschappelijk karakter heeft. Behalve
het fundamenteel belang van de resultaten, heeft
dit experiment ook belangrijke gevolgen voor snellere
telecommunicatie en informatieverwerking. Het gebruik
van lichtkrachten op een chip vormt immers een
mogelijke manier om efficiënt lichtsignalen te schakelen
op een optische chip. Zo’n krachtige optische chips
zijn nodig om optische signalen te routeren door het
wereldwijde glasvezelnetwerk dat de basis vormt van
het internet. Het schakelen van optische signalen op
een chip is één van de grootste uitdagingen bij de ontwikkeling
van die optische chips en hiervoor kan de
nieuwe techniek een oplossing bieden.
67

herman
maes,
Senior Vice President
Industrialisatie en Opleiding

Imec’s expertise wordt hoog gewaardeerd in de huidige
chipgemeenschap, waar chiptechnologie en ontwerp -
methodes snel evolueren, waar cycli steeds korter
worden, en waar de nood aan het ontwerpen van complexe
heterogene systemen toeneemt.
Doordat de huidige chipindustrie op zo’n enorme
schaal werkt, hebben universiteiten en startende
bedrijven met hun beperkte budgetten niet langer zomaar
toegang tot de meest geavanceerde ontwerptools
en technologieën. Bij imec helpen we die kloof te overbruggen.
Behalve binnen onze eigen programma’s en projecten
stellen we onze expertise ook beschikbaar als dienst aan
universiteiten, hogescholen en bedrijven.
Daarnaast biedt imec’s opleidingscentrum een evenwichtig
portfolio en breed spectrum van geavanceerde
opleidingsprogramma’s, complementair aan het aanbod
van de universiteiten. We stemmen ons aanbod continu
af op de recentste ontwikkelingen, zodat we de laatste
chipontwerpmethodes en technologieën kunnen aanle-
ren. We vullen ons traditionele aanbod ook steeds meer
aan met weblearning.
Met onze ASIC-dienst (Application-Specific Integrated
Circuit) bieden we prototyping en productie van kleine
volumes van chips aan. We hebben daarvoor overeenkomsten
met de belangrijkste chipfabrikanten. Op die
manier kunnen we deelnemen in multiproject wafer
runs (MPW) die ontwerpen van verschillende klanten
(universiteiten of bedrijven) op één enkel masker combineren.
Dit is een kostenefficiënte manier om lage
volumes chips aan hoge kwaliteit te produceren. Onze
ASIC-dienst omvat ook een place&route dienst, en we
streven naar een first-time-right fabricatie, door de
ontwerpen van onze klanten te controleren met zeer
geavanceerde hulpmiddelen, vooraleer ze te produceren
via de MPW-runs.
Voor zeer gespecialiseerde en tijdrovende ontwerpen
kunnen klanten ook een beroep doen op imec’s ontwerpdienst.
Onze ontwerpdienst bestaat uit een team
van hooggekwalificeerde chipontwerpers die met behulp
van de meest geavanceerde EDA-ontwerptools
INTERVIEW mET hERmaN maES
IMEC OPLEIDING EN DIENSTEN
IMEC, PARTNER VOOR
OPLEIDING, ONTWERP,
PRODuCTIE & INNOVATIE
ultrakleine chiponderdelen en complexe heterogene
systemen ontwerpen op maat van de klant. Vaak doen
we dit in samenwerking met de lokale ontwerpbedrijven.
Mini@sic is een ASIC-dienst waar we nog een stap
verder gaan. Deze dienst wordt meegefinancierd vanuit
Euro practice, een project van het 7 de kaderprogramma van
de Europese Unie. Mini@sic geeft aan Europese universiteiten
en onderzoeksinstellingen de mogelijkheid om
een nog kleiner blokje van een wafer in te vullen voor
hun geavanceerde ontwerpen of prototypes, waardoor
de kost lager en betaalbaar wordt.
We willen ook innovatie in onze thuisregio Vlaanderen
stimuleren. Eén manier om dat te doen is door het opzetten
van consortia en netwerken rond belangrijke
ICT-thema’s. Zo hebben we bijvoorbeeld succes volle
netwerken gelanceerd rond multimedia, draad loze
communicatie, en ontwerp en integratie van heterogene
systemen. Zo’n netwerken bevorderen kennis -
overdracht, samenwerking, en op lange termijn ook
technologietransfer van imec naar de lokale industrie en
onderzoekscentra.
69

hooGTEpuNTEN
IMEC OPLEIDING EN DIENSTEN
HOOGTEPuNTEN - De eenheid Opleiding en Diensten heeft een tweevoudige missie.
Enerzijds het organiseren en coördineren van een brede waaier aan diensten en
opleidingsprogramma’s in chip ontwerp. Anderzijds het introduceren en transfereren
van imec’s expertise naar de lokale Vlaamse industrie.
01
Mini@sic designs
In 2009 werden 545 prototypechips geproduceerd
in het kader van Mini@sic. Daarvan waren er 305 afkomstig
van Europese universiteiten, 87 van Europese
onderzoeksinstellingen, en 153 van niet-Europese
universiteiten en onderzoeksinstellingen.
Door het mini@sic-principe, en met de financiële
hulp van de EU (Europractice IC4) kan de prijs van een
prototypechip in 0,18µm-technologie beperkt worden
tot 2.000 euro en voor een prototypechip in 90nmtechnologie
tot 7.000 euro.
02
MEMS-ontwerp
In 2009 werden de eerste 13 ontwerpen met MEMS
(micro-elektromechanische systemen) ingediend voor
prototyping.
70
03
Opleiding: een aantal
hoogtepunten uit het
opleidingsprogramma
- Analysetechnieken – een gedetailleerd overzicht van
de verschillende analysetechnieken op basis van elektronenmicroscopie
(Scanning Electron Microscopy,
EPMA, Transmission Electron Microscopy, AES, XPS),
ionen (RBS and SIMS), en atomaire krachten.
- De essentie van analoog ontwerpen: over geschakelde
capaciteitsfilters, vervorming in elementaire transistor
circuits, continue tijdsfilters, comparatoren
Imec’s opleidingscentrum heeft twee online uitwisselingsplatformen.
Eén is voor imec medewerkers, het
tweede –www.mtc-online.be – richt zich op een breder
publiek. Deze website bevat opleidingsmateriaal voor
Vlaamse hogescholen en universiteiten, voor regionale
groepen en technologieprojecten, voor Europese projecten
en voor het Xilinx-universiteitsprogramma.
Imec’s opleidingscentrum biedt ook e-learning aan via
videostreaming. Momenteel staan er 500 seminaries
en opleidingen online en zijn er 100 uur weblearning
beschikbaar. Een deel van dit materiaal is ook vertaald
in het Chinees en overgezet naar een Chinese website.

6inch wafer met meervoudige projecten geproduceerd door
On Semiconductor onder 0.5µm-technologie voor Europractice
04
Een aantal evenementen
en samenwerkingsprojecten met de Vlaamse industrie
- Zonnecel demoavond – Tijdens dit evenement stelde imec zijn zonnecelonderzoek en de impact daarvan voor
aan de Vlaamse industrie. De avond bood ook de mogelijkheid om met collega’s te netwerken en informatie uit
te wisselen.
- Biomedische elektronica demoavond – Dit evenement gaf een overzicht van imec’s onderzoek naar bio medische
elektronica, met interactieve sessies rond 20 technologiedemonstrators, gaande van lab-op-chip tot een systeem
voor monitoring van slaappatronen.
- Draadloze gemeenschap – Imec, in samenwerking met IBBT (Interdisciplinair Instituut voor Breedband Techno -
logie) coördineert een netwerk van bedrijven, onderzoekscentra en universiteiten die publiek toegankelijke
technische informatie over draadloze communicatie delen en bediscussiëren (www.wireless-community.be).
- Electronic Design & Manufacturing (EDM) programma – Imec en Sirris (Vlaams onderzoekscentrum voor de
technologische industrie) bieden een onafhankelijk kennis- en netwerkforum aan aan de Vlaamse industrie.
Doelstelling is om, in samenwerking met industriële EDM-partners, ontwerp- en kwalificatierichtlijnen en
afstemmingshulpmiddelen te ontwikkelen en ter beschikking te stellen.
05
ASIC-productie en ontwerpdienst
Imec biedt technische ondersteuning aan meer dan 550 Europese universiteiten en 100 onderzoeksinstellingen met de
steun van het Europractice IC4-project van het 7 de kaderprogramma van de Europese Unie. Daarnaast werden in 2009
ook ongeveer 550 ontwerpen ingediend voor MPW-runs.
71

jo
decuyper,
Directeur
RVO-Society
VZW

BRENG WETENSCHAP TOT LEVEN,
JOuW LEVEN!
RVO-Society wil jonge mensen in contact
brengen met wetenschap en technologie. We
doen dit door de echte wereld naar de klas
te brengen. We willen op die manier kinderen en
jongeren de kans geven om hun talenten te ontdekken
en te ontwikkelen. Want door te ontdekken bieden
we hen de mogelijkheid om juiste keuzes te maken.
We leren hen om technische uitdagingen met veel enthousiasme
aan te gaan, en belangrijke vaardig heden
te ontwikkelen voor hun latere professionele en
privé leven.
RVO-Society werd opgericht in 2000 in herinnering
aan imec’s oprichter Professor Baron Roger Van
Overstraeten. We hebben sindsdien die nauwe band
met imec bewaard. We zijn gehuisvest in imec, en
we ontvangen ter plaatse leerlingen en leerkrachten
die zo ook kennismaken met imec. Omdat onze visie
–wetenschap en technologie naar jongeren brengen–
zo breed is, hebben we ervoor gekozen om ons te
concentreren op die onderwerpen die ook op imec
worden bestudeerd: micro- en nanotechnologie.
We zijn een team van 10 enthousiaste mensen. Een
visionair en toegewijd team, maar toch een klein team.
Als we een verschil willen maken, dan kunnen we dat
alleen doen door het onderwijs op school te beïnvloeden:
de inhoud, en ook de manier waarop het wordt
onderwezen. Dus toen de vorige Vlaamse regering de
plannen voor technologieonderwijs in de 21 ste eeuw
uitwerkte, hebben we daar samen met imec aan meegewerkt.
We hebben die plannen mee vorm gegeven,
gebaseerd op het idee dat jongeren in staat moeten
zijn om technologie te begrijpen en te gebruiken, en
dat technologieonderwijs moet kaderen in het groter
geheel van wetenschapsonderwijs.
Maar we hebben niet alleen de plannen mee ontworpen.
We hebben ook geholpen om die plannen te implementeren.
De truc is om iedereen te betrekken: de
jongeren, de leerkrachten, en ook de directie. We doen
dat door educatieve pakketten –experimenteerkoffers–
te ontwikkelen. We doen alle moeite om die koffers
zo gebruiksvriendelijk mogelijk te maken en om de
laatste didactische inzichten te implementeren. Maar
om die experimenteerkoffer in de klassen te krijgen
moeten we ook de leerkrachten enthousiast maken,
ook die leerkrachten die meestal geen formele technologieopleiding
gekregen hebben. Daarom bieden
we de koffers aan in combinatie met een opleiding
INTERVIEW mET Jo dEcuypER
RVO-SOCIETY
voor de leerkrachten. Zo kunnen we de leerkrachten
aanleren hoe ze ermee aan de slag kunnen. We geven
hen de tijd om dingen uit te testen en om naar
ons te komen met hun vragen en feedback. Als de
kinderen en de leerkrachten enthousiast zijn, dan is
de kans groot dat zij positieve feedback geven aan de
schooldirectie. Zo overtuigen we ook de directie om
technologie op de agenda van de school te plaatsen.
Voor RVO-Society zijn jongeren onvoorstelbaar kostbaar.
We willen hen helpen om hun talenten, hun
innerlijke schat, te ontdekken en te ontwikkelen.
We willen hen niet noodzakelijk in een ingenieursopleiding
duwen, maar we willen hen helpen om
sterkere, gelukkigere en creatievere mensen te wor -
den. Dat doen we door technologie naar de klas te
brengen, want technologie is een manier om jongeren
actief en individueel te engageren en te enthousiasmeren.
73

hooGTEpuNTEN
RVO-SOCIETY & IMEC OUTREACH
HOOGTEPuNTEN - Wetenschappelijke geletterdheid en wetenschappelijke betrokkenheid
zijn essentieel om veel van de maatschappelijke uitdagingen waar we vandaag voor staan
op te lossen. RVO-Society en imec’s outreach groep willen daarom de band tussen de
wetenschappelijke gemeenschap en de samenleving aanhalen door projecten op
te zetten met scholen, door interdisciplinaire samenwerking, door rondleidingen, …
01
Zonnige groeten
uit Olin College
In februari 2009 ondertekenden imec, RVO-Society en
Franklin W. Olin College of Engineering (Boston, VS) een
intentieverklaring om te gaan samenwerken. Olin College
is een ingenieursschool die probeert om een nieuw soort
ingenieurs te vormen. Dat doen ze door behalve technische
en wetenschappelijke excellentie ook creativiteit,
teamwerk en ondernemerschap zeer sterk te stimuleren.
De onderwijsmethode is gebaseerd op ondervinding:
leren hoe iets werkt en daarmee fascinatie en interesse
opwekken. Actief leren vanuit multidisciplinaire projecten,
met aandacht voor kunst, humane wetenschappen
en ondernemerschap. En zo een context bieden voor een
hoogwaardige technische opleiding die essentieel is om
een goed ingenieur te worden.
In 2009 verwelkomde imec, in het kader van de samenwerking
met Olin College, 3 studenten voor een zomerstage.
De studenten ontwierpen en ontwikkelden samen
met studenten industrieel design van HOWEST (Hoge -
school West-Vlaanderen) een educatieve demonstrator
voor zonnecellen. De demonstrator toont op een heel
eenvoudige mechanische manier de werking van het
foto voltaïsch effect: hoe zonne-energie wordt omgezet
in stroom. De demonstrator staat opgesteld in imec’s
expo, waar bezoekers kunnen kennismaken met imec’s
onderzoek.
74
02
Dorp
op school
Dorp op school is een project van RVO-Society, imec,
en CEGO (Centrum voor Ervaringsgericht Onderwijs)
om ondernemerschap en technologie tot in de school
te brengen. Eén klas neemt het initiatief om een model
van een dorp te bouwen. De kinderen werken zelf het
concept van het dorp uit. Hoe zal het dorp eruit zien?
Dan plannen ze, maken een budget op, en zoeken
naar partners (andere klassen, leerkrachten, ouders,
bedrijven) om hun project te realiseren. Daarna gaan
ze bouwen, daarvoor moeten ze onderhandelen, compromissen
sluiten, inzichten ontwikkelen, veranderingen
beheren, … Op het einde moeten de kinderen hun
project voorstellen.
Dorp op school engageert jongeren op een individuele
manier en stimuleert creativiteit in verschillende
domeinen. Jongeren leren belangrijke vaardigheden
zoals samenwerking, compromissen sluiten, presenteren,
plannen, …
Impressie van de NANO-tentoonstelling
van de Leuvense kunstacademie (SLAC)
03
Cera
Award
De Cera Awards zijn een initiatief van de financiële instelling
Cera en RVO-Society. Doel is om ingenieursstudenten
te stimuleren hun expertise te gebruiken
ten voordele van een non-profit organisatie. Joost
Roels en Pieterjan De Putter, twee ingenieursstudenten
elektromechanica aan de technische hogeschool
Groep T ontvingen de Cera Award in 2009, voor hun
ontwerp van een veilig en gebruiksvriendelijk systeem
om rolstoelen in voertuigen te bevestigen.

04
Peter en de Wolf
In samenwerking met de Koninklijke Muziekkapel van
de Belgische Marine organiseerde RVO-Society in 2009
een project rond Sergei Prokofiev’s Peter en de Wolf.
We ontwikkelden een introductiepakket over het verhaal,
waarbij we de nadruk legden op de technologie
van geluid. Met een paar eenvoudige bouwstenen
kunnen de kinderen bijvoorbeeld luidsprekers voor
hun mp3-speler maken. Als apotheose van het project
gaan de kinderen naar de schouwbrug voor een live
opvoering van Peter en de Wolf.
07
Imec outreach projecten
05
2010 – 10 jaar
RVO-Society
In 2010 vieren we onze 10 de verjaardag met een heel
aantal activiteiten in de scholen, maar ook erbuiten.
We willen ook ouders en jonge mensen mobiliseren.
We willen hen overtuigen van het belang van technologie
en wetenschap, van de waarde ervan in het leven
van hun kinderen, en de mogelijkheden van technologie
en wetenschap voor wanneer hun kinderen later
op zoek gaan naar een job.
- Imec nocturnes: Iedereen die geïnteresseerd is in wat er op imec gebeurt, kan zich één keer per maand inschrijven
voor een avondbezoek aan imec. Tijdens dit bezoek stellen we imec voor op een heel open en toegankelijke
manier, en we vertellen over het onderzoek dat imec doet en wat het belang daarvan is voor ieder van ons.
- Samenwerking met HOWEST (Hogeschool West-Vlaanderen): Studenten van HOWEST doen stage op imec
en ontwerpen demonstrators die een mogelijke toepassing van imec’s technologie voorstellen.
- NANO-tentoonstelling: We inspireerden studenten van de Leuvense Kunstacademie (SLAC) bij het maken van
een tentoonstelling die de wereld van nanotechnologie toont door de ogen van jongeren.
06
RVO-Society en
corporate responsibility
Heb je als bedrijf een programma rond sociale verantwoordelijkheid
dat gericht is op jongeren en onderwijs?
Dan kan RVO-society een mogelijke partner zijn.
Met onze expertise helpen we u om een waardevol
onderwijsproject te implementeren.
75

Ludo
deferm,
Executive
Vice President
Business
Development

INTERVIEW mET Ludo dEFERm
BUSINESS DEVELOPMENT
NIEuWE ONDERZOEkS DOMEINEN VRAGEN
EEN NIEuWE
BuSINESS-STRATEGIE
Imec is sinds zijn oprichting 25 jaar geleden uitgegroeid
tot een R&D wereldspeler op het gebied
van ICT (infor matie- en communicatietechnologie).
We hebben onze sterke reputatie uitgebouwd door
onze unieke infrastructuur, onze jarenlange expertise,
onze top onderzoekers, en natuurlijk ook door de samen -
werking met belangrijke industriële partners. De laatste
jaren is er een belangrijke verschuiving geweest in de
micro-elektronica industrie waarbij consolidatie is op -
getreden tussen industriële spelers en waarbij verschillende
bedrijven van businessmodel zijn veranderd: een
deel bedrijven hebben investeringen in eigen fabs stop -
gezet en zijn fablite geworden en andere bedrijven
heb ben gekozen voor een fabless model. Door ons programma-aanbod
uit te breiden en ook interessant te
maken voor deze bedrijven, zijn onze samen werkingen
in chiptechnologie verder versterkt.
De voorbije 10 jaar zijn we ook onze onderzoeksactiviteiten
gaan verbreden naar nieuwe domeinen zoals gezondheidszorg,
en hebben we bijkomende programma’s
opgestart met betrekking tot energie. Maar de bekendheid
die we in ICT verworven hebben, straalt niet vanzelfsprekend
af op die nieuwe domeinen. Als we daar op
wereldschaal iets willen betekenen, moeten we naar buiten
komen met uitstekende resultaten in biomedische
elektronica en energietechnologie. Bovendien moeten
we onze externe communicatie aanpassen aan de
nieuwe markten. Deze communicatie moet op continue
basis wetenschappelijk onderbouwde resultaten naar de
markt brengen, en moet tegelijkertijd de wetenschappers
stretchen en stimuleren om de lat steeds hoger te
leggen.
Ons doel is ook om R&D-samenwerkingsverbanden af
te sluiten met medische, farmaceutische en energiebedrijven.
Om dit op een efficiënte manier te realiseren,
moeten we onze samenwerkingsmodellen afstemmen
op hun noden en meer inzicht krijgen in de strategie
van die bedrijven. Wat energie- of medische bedrijven
verwachten van imec kan sterk verschillen van wat ICTbedrijven
bij imec zoeken. Voor onderzoek naar chiptechnologieën
is de aanwezigheid van een uitgebreide,
dure en state-of-the-art infrastructuur een zeer grote
differentiator. In de gezondheidssector of de energiesector
is de juiste infrastructuur nog steeds belangrijk,
maar weegt ze minder door om het verschil te maken
met anderen, omdat het nodige investeringsbudget voor
die infrastructuur aanzienlijk lager is. Onze grootste differentiator
zal een combinatie moeten zijn van opgebouwde
kennis, uitstekende onderzoeksresultaten en
patenten. Daarmee moeten we het verschil maken ten
opzichte van andere R&D-spelers en kunnen we bedrijven
die op wereldschaal actief zijn overtuigen om met
ons samen te werken.
Verder is het begrip open innovatie ook nieuw voor bedrijven
uit de life sciences en energiesector. We moeten
kijken hoe we ons open innovatiemodel, dat tegenwoordig
wereldwijd aanvaard is als een goede manier voor
kostenefficiënte R&D in de chipindustrie, kunnen vertalen
naar een model dat interessant is voor sectoren waar
het delen van IP niet standaard wordt toegepast.
Doordat IP-bescherming belangrijker is voor de bedrijven
in die sectoren en/of doordat ons onderzoek naar
biomedische elektronica en energietechnologie dichter
aanleunt bij industriële toepassingen en producten,
wordt ook de imec-strategie met betrekking tot IP en
patenten steeds belangrijker.
Naast onze klassieke programmabenadering willen wij
ook meer en meer een rol kunnen spelen als solution
provider voor bedrijven, zodat we onze expertise en
ons netwerk ook kunnen inschakelen om specifieke
oplossingen te ontwikkelen voor middellangetermijn-
noden van bedrijven. Ook ten gevolge van deze uit -
breiding is de aanwezigheid van een goede patentportefeuille
een troef. Het is daarom ook imec’s strategie
om onze patentportefeuille verder te verstevigen en
nauw te la ten aansluiten met imec’s businesslijnen en
programma’s. In die nieuwe domeinen en ten gevolge
van ons uitgebreid aanbod aan de markt moeten we een
77

Ludo deferm
NIEuWE ONDERZOEkS DOMEINEN
VRAGEN EEN NIEuWE BuSINESS-STRATEGIE
combinatie van brede en diepgaande patenten nastreven,
met voldoende economische impact.
Behalve een programmabenadering en het inzetten van
onze expertise voor bedrijven zijn ook imec’s spin-off
activiteiten belangrijk voor imec, omdat ze naast oplei-
ding en samenwerking met Vlaamse bedrijven zorgen
voor een directe economische return naar Vlaanderen.
De huidige economische situatie maakt het voor startups
in de pre-seed fase niet eenvoudig om het nodige
kapitaal te vinden. Investeringen van risicokapitaal worden
zeer kritisch bekeken: budgetten worden 3 keer
omgedraaid alvorens te worden geïnvesteerd, er wordt
meer en meer verwacht van start-ups, en investeerders
schrikken meer en meer terug van de ICT-sector. Door
de combinatie van deze factoren wordt het entrepeneurship
ook niet aangewakkerd, zodat een aantal startup
ideeën in de kast blijven liggen of moeilijk opgestart
geraken. Imec heeft duidelijk het initiatief genomen om
bewustwording rond start-ups te verhogen. Het zou
zeer welkom zijn om een bijkomende omkadering te krijgen
voor start-ups in de pre-seed fase. Imec trekt samen
met andere Vlaamse actoren aan de kar voor het opzetten
van een nieuwe incubatie-organisatie in Vlaanderen.
Dit zou een soort agentschap kunnen worden, verbonden
aan een fonds, dat gebruik kan maken van expertise
in alle kenniscentra en dat zou open staan voor pre-seed
financiering van technologie-georiënteerde start-ups
die nog niet ver genoeg staan om VC’s en Business
Angels te overtuigen om te investeren in hun bedrijf.
Zo willen we een betere omkadering realiseren en de
oprichting stimuleren van start-ups die economisch
waardevol zijn en nog niet altijd een duidelijke financiële
return on investment kunnen aantonen.
78

HOOGTEPuNTEN - Door de krachten te bundelen kunnen we het hoofd bieden aan de
enorme technologische uitdagingen en de stijgende onderzoeks- en ontwikkelingskosten.
Imec werkt samen met bedrijven, onderzoeksinstituten en universiteiten van over heel
de wereld. Via verschillende samenwerkingsformules hebben partners toegang tot imec’s
expertise in vooruitstrevende technologie.
01
Internationale
interesse voor imec’s
onderzoek naar zonneceltechnologieën
De lancering in 2009 van imec’s industrieel samenwerkingsprogramma
voor onderzoek naar nieuwe
generaties van kristallijne siliciumzonnecellen kende
een vliegende start. Belangrijke internationale energiebedrijven
zoals GDF-Suez en Total, zonnecelproducenten
Schott Solar en Photovoltech, en toestel- en
materiaalleveranciers waaronder MEMC Electronic
Materials Inc., Leybold Optics Dresden GmbH, Roth &
Rau AG, en Mallinckrodt Baker B.V. traden toe tot het
programma. Daarmee bevestigen deze bedrijven hun
vertrouwen in imec als expertisecentrum in zonneceltechnologieën.
Imec ondertekende ook bilaterale
samenwerkingsakkoorden, ondermeer met Kaneka
Corporation, de belangrijkste fabrikant van chemische
producten en zonnecellen in Japan, en met BP Solar.
Die bilaterale overeenkomsten zijn complementair aan
imec’s industrieel affiliatieprogramma. Imec heeft al
meer dan 25 jaar ervaring in zonnecelonderzoek en die
expertise blijkt nu zeer succesvol om ons zonnecelonderzoek
op grotere schaal te commercialiseren.
02
Imec viert zijn 25-jarig
bestaan met bedrijfsleiders
van internationale
topbedrijven
Voor zijn 25-jarig bestaan organiseerde imec een academisch
colloquium. Sprekers uit binnen- en buitenland
gaven hun visie op de maatschappelijke, wetenschappelijke,
technologische en industriële veranderingen van
de 21 ste eeuw. Ook op de feesteditie van het jaarlijkse
imec Technology Forum (ITF), een forum waarop internationale
marktleiders en industriële experts samen
discussiëren over innovatie in nano-elektronica, verwelkomde
imec bedrijfsleiders van internationale top
ICT-bedrijven, die hun waardering uitdrukten voor de
resultaten die imec heeft bereikt in de voorbije 25 jaar.
Prins filip bezoekt ITf
hooGTEpuNTEN
BUSINESS DEVELOPMENT
03
Pepric en Lumoza
zien het licht
Pepric nv ging in april 2009 officieel van start. Het
nieuwe bedrijf ontwikkelt systemen voor moleculaire
beeldvorming op basis van magnetische nanodeeltjes.
Door nanodeeltjes die selectief aan een bepaalde molecule
in het lichaam gebonden zijn (doelmolecule) te
visualiseren, kunnen de biologische processen waarin
de doelmolecule betrokken is rechtstreeks gevolgd
worden. Zo kan bijvoorbeeld het effect van bepaalde
medicijnen op processen in het lichaam onmiddellijk
waargenomen worden. Pepric wil deze technologie
ontwikkelen en commercialiseren voor farmaceutische
toepassingen zoals de ontwikkeling van medicijnen en
preklinische studies.
In 2009 startte ook Lumoza op, een nieuwe spin-off van
het Instituut voor Materiaalonderzoek (IMO) van
UHasselt, imec, en het Limburgse zeefdrukbedrijf
Artist Screen. Lumoza brengt printbare elektroluminiscente
technologie naar de markt om lichtgevende
en computer animaties flinterdun te drukken. Lumoza
richt zich in eerste instantie tot de reclame- en verpakkingssector,
die beiden voortdurend op zoek zijn naar
nieuwig heden, maar ook meer duurzame toepassingen,
bijvoorbeeld in de bouwsector, behoren tot de mogelijkheden.
79

waLter
fLuit,
Senior Vice President
Veiligheid, Gebouwen
en kwaliteit

INTERVIEW mET WaLTER FLuIT
INFRASTRUCTUUR
BOuWEN
AAN DE TOEkOMST
Sinds zijn oprichting 25 jaar geleden is imec uitgegroeid
tot een instituut dat de vergelijking aankan
met elk ander onderzoeksinstituut wereldwijd.
Onze onderzoekers en partners beschikken met
24.400m² kantoorruimtes, laboratoria, trainingslokalen
en technische ondersteunende ruimtes over alle infrastructuur
en toestellen die ze nodig hebben voor hun
vernieuwend onderzoek. Het uithangbord van onze
infrastructuur zijn onze twee cleanrooms die semiindustrieel
werken, 24 uur per dag en 7 dagen per week.
In de 300mm cleanroom (waar gewerkt wordt met
siliciumschijven van 300mm diameter) werken onderzoekers
aan het steeds verder verkleinen van de
bouwstenen van chips. Hier worden tegenwoordig
chiptechnologieën ontwikkeld van de 22nm-generatie
en kleiner. Zo zijn we er in 2009 als eerste ter wereld
in geslaagd met EUV-lithografie een werkende 22nm-
SRAM cel te maken.
In de 200mm cleanroom (waar gewerkt wordt met siliciumschijven
van 200mm) gebeurt het onderzoek naar
heterogene integratie, of het integreren van nieuwe
functies op chips, bijvoorbeeld sensoren, actuatoren,
MEMS en NEMS (micro- en nano-elektromechanische
systemen). De 200mm cleanroom wordt ook gebruikt
voor imec’s CMORE-service. Dat is een dienst die we
aanbieden aan bedrijven voor prototyping en productie
van kleine volumes heterogene geïntegreerde
systemen.
Omdat in beide cleanrooms geen ruimte meer is voor
nieuwe toestellen werd in februari 2009 gestart met
de uitbreiding van onze 300mm cleanroom. De uitbreiding
met 1.200m² zal plaats te maken voor nieuwe
toestellen, maar is ook nodig om imec voor te bereiden
op een mogelijke overgang naar onderzoek op
siliciumschijven van 450mm. Tegelijkertijd komt er ook
1.600m² bij voor nieuwe laboratoria voor onderzoek
naar zonnecellen, biomedische elektronica en voor
het lange-termijn hersenonderzoek binnen het NERFinitiatief.
De werkzaamheden aan de cleanroom zullen
in het midden van 2010 afgerond zijn, en de eerste
nieuwe toestellen worden verwacht in mei 2010.
Tegen eind 2010 zal ASML’s nieuwe preproductie
EUV-lithografietoestel geïnstalleerd worden in de uitgebreide
cleanroom.
Als je imec bezoekt zal de vernieuwde inkomhal
onmid dellijk opvallen, een aangename lichte ruimte,
waarin bezoekers zich welkom voelen en waarin ze een
voorsmaakje krijgen van imec’s ambities in de verschillende
onderzoeksdomeinen.
Maar daarmee is het nog niet afgelopen. We hebben
nog meer uitbreidingsplannen. In 2009 werd een internationale
architectuurwedstrijd uitgeschreven voor
de bouw van een nieuw kantoorgebouw. Een jury,
waarin ondermeer ook de stad Leuven, de Vlaamse
overheid en de Vlaamse bouwmeester zetelden, heeft
uit de ingediende dossiers het ontwerp van het
archi tec ten bureau Baumschlager-Eberle, geselec teerd.
Het nieuwe kantoorgebouw moet plaats maken voor
450 extra bureau’s en zal ook een auditorium en lichte
labo ratoria omvatten. De definitieve beslissing over
de bouw van dit kantoorgebouw zal mid-2010 ge -
nomen worden.
De uitbreiding van imec past in een masterplan voor
de toekomst van imec en de nabijgelegen wetenschapscampus
van K.U.Leuven. Dit masterplan garan -
deert ons dat onze onderzoeksfaciliteiten kunnen
blijven groeien in overeenstemming met onze ambitie
om wereldwijd te excelleren.
81

hooGTEpuNTEN
INFRASTRUCTUUR
HOOGTEPuNTEN - Imec biedt aan zijn medewerkers en partners alle nodige infrastructuur
en materiaal om geavanceerd onderzoek te kunnen uitvoeren. Zo creëert imec de best
mogelijke onderzoeksomgeving waarin onderzoekers zich kunnen concentreren op de
essentie: wetenschappelijk onderzoek.
01
Cleanroom voor
siliciumschijven van 300mm
Essentieel voor ons vernieuwend onderzoek naar de verdere
verkleining van chiptechnologie is het onderzoek
naar nieuwe materialen. Daarom hebben we in 2009 geinvesteerd
in geavanceerde gasdepositietoestellen voor
metalen en III-V materialen (fysische en chemische gasdepositie)
en een depositietoestel voor het rechtstreeks
plateren van edelmetalen. We hebben ook verschillende
droogetskamers verbeterd.
82
- Balzaalconcept
- 3.200m 2 klasse 1.000 met 2.200m 2 op een
trillingsvrije vloer
- Siliciumpilootlijn voor (sub)-32nm processen op
siliciumschijven van 300mm
- Semi-industriële werking: 24/24 en 7/7 procesmonitoring,
korte cyclustijd
- unieke lithografiecluster met ASML-toestellen
- Geavanceerde toestellen en preproductie-
toestellen
02
Cleanroom voor
siliciumschijven van 200mm
In 2009 hebben we in de 200mm cleanroom alle processen
voor heterogene integratie samengebracht, zoals
processen voor vasthechten, schuren, plateren van dikke
koper lagen, diep etsen in silicium, lithografie en het oplijnen
tussen back-end en front-end. In 2010 zal de focus liggen
op het samenbrengen van de assemblageprocessen:
chips aan elkaar vasthechten, vasthechten van chips aan siliciumschijven
en siliciumschijven aan elkaar vasthechten.
In 2009 hebben we ook geïnvesteerd in toestellen voor
ons onderzoek naar galliumnitride op silicium, tech nologieën
voor hoogvermogenelektronica en leds. In 2010
willen we een nieuw depositietoestel installeren voor
metaalorganische chemische despositie van gallium -
nitridelagen op 200mm siliciumschijven.
- Verschillende werkruimtes
- 5.200m 2 met 1.750m 2 klasse 1
- Siliciumpilootlijn voor 130nm-chipprocessen met
MEMS-procesmodules op 200mm silicium schijven
- Processen op silicium en III-V materialen,
organische materialen, silicium-germanium, …
- Geavanceerde processen voor 3D-onderzoek
- Processen voor thermofotovoltaïsche cellen en
hoogefficiënte zonnecelstapels
- Semi-industriële werking: 24/24 en 7/7 procesmonitoring,
korte cyclustijd

Een processtap in imec’s O-lijn
03
Imec’s unieke expertise
en toestellen voor galliumnitrideprocessing
Voor ons onderzoek naar galliumnitridecomponenten
beschikken we over de meest geavanceerde GaN-epiwafers
die we in onze cleanroom fabriceren. We hebben
ook unieke toestellen voor de monitoring van in-situ
groei van GaN op silicium, een uitgebreid instrumentarium
voor materiaalkarakterisatie, en systemen voor
performantieanalyse om materialen te evalueren.
UltramOderne labOratOria
- Labo voor chipontwerp
- Labo voor microsystemen
- Labo voor ultrazuivere procestechnologie
- Labo voor het karakteristatie van materialen
en systemen
- Labo voor fysisch-chemische analyses
- Labo voor geautomatiseerde metingen
van circuits en systemen
- Labo voor organische elektronica
- Labo voor verpakkingstechnologieën,
met testapparatuur
- Labo voor betrouwbaarheidstesten
- Labo voor radiofrequentietechnologieën
- Labo voor de ontwikkeling van biosensors
- Labo voor de ontwikkeling van neuro-
elektronische systemen
04
Proceslijn
voor organische
zonnecellen
Imec heeft in 2009 een geïntegreerde proceslijn voor organische
zonnecellen geïnstalleerd, de O-lijn. Deze productielijn
is uitgerust met alle processtappen die nodig
zijn voor de fabricatie en karakterisatie van de meest
geavanceerde organische zonnecellen op basis van polymeren
of opgedampte kleine organische moleculen.
Ze moet imec de mogelijkheid geven om in de komende
jaren grotere organische zonnecellen en -modules te ontwikkelen,
tot 15x15cm², en dient als prepilootomgeving
voor de ontwikkeling van een volledig geautomatiseerd
productieproces voor organische zonnecellen.
Daarnaast heeft imec in 2009 ook zijn pilootlijn voor
siliciumzonnecellen verder uitgebreid.
83

JaaRREkENING 2009
IMEC
01
bALANS 2009
actiVa
VASTE ACTIVA 189.814.609
materiële vaste activa 178.809.579
Terreinen en gebouwen 58.039.108
Installaties, machines en uitrusting 94.226.153
Meubilair en rollend materieel 792.815
Leasing en soortgelijke rechten
Activa in aanbouw 25.751.501
Financiële vaste activa 11.005.030
Ondernemingen waarop
vermogensmutatie is toegepast 5.067.769
Andere ondernemingen 5.937.261
Deelnemingen, aandelen en deelbewijzen 5.143.054
Vorderingen 794.207
VLOTTENDE ACTIVA 109.319.498
Vorderingen op ten hoogste één jaar 77.138.154
Handelsvorderingen 73.271.096
Overige vorderingen 3.867.058
Geldbeleggingen 15.081.013
Overige beleggingen 15.081.013
Liquide middelen 12.958.331
overlopende rekeningen 4.142.001
totaaL der actiVa 299.134.107
84
passiVa
in euro
EIGEN VERMOGEN 146.132.133
Geconsolideerde reserves 115.210.370
Negatieve consolidatieverschillen 596.193
omrekeningsverschillen -51.741
kapitaalsubsidies 30.377.311
VOORZIENINGEN EN UITGESTELDE bELASTINGEN 5.305.192
Voorzieningen voor risico’s en kosten 5.305.192
Grote herstellingen en onderhoudswerken 2.500.000
Overige risico’s en kosten 2.805.192
SCHULDEN 147.696.782
Schulden op meer dan één jaar 34.405.220
Leasingschulden
Kredietinstellingen 34.405.220
Handelsschulden
Schulden op ten hoogste één jaar 87.834.801
Schulden op meer dan één jaar die binnen het jaar vallen
Financiële schulden - kredietinstellingen 4.315.596
Handelsschulden 33.234.282
Leveranciers 33.234.282
Ontvangen vooruitbetalingen op bestellingen 10.461.619
Schulden m.b.t. belastingen, bezoldigingen en sociale lasten 16.766.987
Belastingen 2.616.425
Bezoldigingen en sociale lasten 14.150.561
Overige schulden 23.056.317
overlopende rekeningen 25.456.762
totaaL der passiVa 299.134.107

02
RESULTATENREkENING 2009 in euro
bEDRIJFSOPbRENGSTEN 274.750.181
Externe inkomsten voor onderzoek 212.129.712
diverse inkomsten (doorbelasting kosten, inbreng in natura, congressen, …) 9.914.323
Toelage Vlaamse Gewest 44.730.000
Subsidie Nederlandse overheid 7.976.146
bEDRIJFSkOSTEN -262.416.954
handelsgoederen, grond- en hulpstoffen 44.324.470
diensten en diverse goederen 53.384.736
bezoldigingen, sociale lasten en pensioenen 98.795.816
afschrijvingen, waardeverminderingen en provisies 64.891.161
andere bedrijfskosten 1.020.772
bEDRIJFSRESULTAAT 12.333.227
kosten van schulden -1.820.182
andere financiële kosten en opbrengsten 1.588.927
uitzonderlijke kosten en opbrengsten 726.717
belastingen -121.868
WINST VAN HET bOEkJAAR 12.706.821
C. INVESTERINGEN 38.123.527
85

oRGaNISaTIE
IMEC
ORGANISATIE
01
RAAD VAN bESTUUR*
bESTUURDERS
A. De Proft - VOORZITTER
A. Oosterlinck - ONDERVOORZITTER
G. Van Acker, B. Boone, P. Schelkens,
K. Maex, L. Moens, P. Stoffels, T. Leysen,
G. Declerck
SECRETARIS
A. Vinck
UITGENODIGD
L. Van den hove
J. Cornelis, A. Soete
02
AUDITCOMITé*
bESTUURDERS
A. Oosterlinck - VOORZITTER
A. De Proft, G. Van Acker, B. Boone
UITGENODIGD
L. Van den hove, A. Vinck, A. Soete
03
REMUNERATIECOMITé*
bESTUURDERS
A. De Proft - VOORZITTER
A. Oosterlinck, G. Van Acker, L. Moens
UITGENODIGD
L. Van den hove, H. De Neve
* status 1 ste kwartaal 2010
86
04
ExECUTIVE bOARD*
L. Van den hove - ALGEMEEN DIRECTEuR & CEO
L. Deferm - ExECuTIVE VICE PRESIDENT
H. De Neve - ExECuTIVE VICE PRESIDENT
A. Vinck - ExECuTIVE VICE PRESIDENT & CHIEf fINANCIAL OffICER
G. Declerck - ExECuTIVE OffICER & LID VAN DE RAAD VAN BESTuuR
VAN IMEC INTERNATIONAL - uITGENODIGD
05
DIRECTIETEAM*
S. Biesemans - VICE PRESIDENT PROCESTECHNOLOGIE
R. Cartuyvels - VICE PRESIDENT PROCESTECHNOLOGIE
J. De Boeck - SENIOR VICE PRESIDENT SLIMME SYSTEMEN EN
ENERGIETECHNOLOGIE
R. De Keersmaecker - SENIOR VICE PRESIDENT STRATEGISCHE
RELATIES & CEO IMEC TAIWAN CO.
H. De Neve - ExECuTIVE VICE PRESIDENT HuMAN RESOuRCES
L. Deferm - ExECuTIVE VICE PRESIDENT BuSINESS DEVELOPMENT
W. Fluit - SENIOR VICE PRESIDENT VEILIGHEID, GEBOuWEN EN
kWALITEIT
B. Gyselinckx - GENERAL MANAGER IMEC NEDERLAND
P. Lagasse - PROfESSOR IMEC’S GEASSOCIEERD LAB AAN DE uGENT
R. Lauwereins - VICE PRESIDENT SLIMME SYSTEMEN TECHNOLOGIE
OffICE
H. Lebon - VICE PRESIDENT fAB & PROCESSTAP R&D
H. Maes - SENIOR VICE PRESIDENT INDuSTRIALISATIE & OPLEIDING
R. Mertens - SENIOR VICE PRESIDENT uNIVERSITEITSRELATIES
L. Van den hove - ALGEMEEN DIRECTEuR & CEO
J. Van Helleputte - SENIOR VICE PRESIDENT STRATEGISCHE
ONTWIkkELING
P. Vandeloo - VICE PRESIDENT ICT
A. Vinck - ExECuTIVE VICE PRESIDENT & CHIEf fINANCIAL OffICER
06
SENIOR FELLOWS*
G. Borghs, H. De Man, R. Mertens
07
FELLOWS*
F. Catthoor, G. Groeseneken, P. Heremans,
M. Heyns, W. Vandervorst
08
WETENSCHAPPELIJkE ADVIESRAAD*
E.H.L. Aarts - PHILIPS RESEARCH (NEDERLAND)
I. Bolsens - xILINx (VERENIGDE STATEN)
J.W. Brands - BARCO (BELGIË)
A. Cremonesi - STMICROELECTRONICS (fRANkRIJk)
T. Doyle - PHILIPS RESEARCH (NEDERLAND)
P. Gargini - INTEL CORP. (VERENIGDE STATEN)
R. Khosla - NATIONAL SCIENCE fOuNDATION (VERENIGDE STATEN)
L. Kindt - Lk INVESTMENT (BELGIË)
J.-T. Kong - SAMSuNG (kOREA)
J.-T. Moon - SAMSuNG (kOREA)
M. Ogura - MATSuSHITA ELECTRIC INDuSTRIAL CO (JAPAN)
J. O’Reilly - CRANfIELD uNIVERSITY (VERENIGD kONINkRIJk)
R. Pauwels - BIOCARTIS (ZWITSERLAND)
J. Plummer - STANfORD uNIVERSITY (VERENIGDE STATEN)
C. Quaeyhaegens - uMICORE ELECTRO-OPTIC MATERIALS (BELGIË)
J. Schmitz - NxP-TSMC RESEARCH CENTER (BELGIË)
G. Smeyers - kLA-TENCOR (BELGIË)
J. Stork - TExAS INSTRuMENTS (VERENIGDE STATEN)
T. Van Landegem - ALCATEL-LuCENT BELL (BELGIË)
J. Winnerl - INfINEON TECHNOLOGIES (DuITSLAND)

ADRESSEN
01
IMEC
kapeldreef 75
B-3001 Leuven
België
Tel.: +32 16 28 18 80
katrien.Marent@imec.be
02
IMEC NEDERLAND - HOLST CENTRE
High Tech Campus 31
5656 AE Eindhoven
Nederland
Tel.: +31 40 277 4000
Philippe.Mattelaer@imec-nl.nl
discLaimer
De inhoud van dit jaarverslag is uitsluitend bedoeld als persoonlijke informatie
van de lezer ervan, met uitsluiting van elke interpretatie.
Imec streeft ernaar dat de informatie die hierin opgenomen is, zorgvuldig,
correct en volledig is doch geeft geen enkele garantie met betrekking tot de
nauwkeurigheid, de juistheid en/of de volledigheid van de informatie ervan.
De informatie verstrekt in huidig jaarverslag wordt verstrekt ‘AS IS’ en houdt geen
enkele garantie, hetzij uitdrukkelijk, hetzij stilzwijgend, in en zulks in de meest
brede zin. De informatie kan daarenboven geenszins beschouwd worden als een
advies of een aanbeveling vanuit imec. Nog meer in het bijzonder kan geen van
de informatie hierin gebruikt worden voor investeringsdoeleinden in de meest
brede zin van het woord.
Eventuele verwachtingen en/of projecties omtrent toekomstige ge beur tenissen
die imec in dit jaarverslag zou opgenomen hebben, zijn gebaseerd op de huidige
03
IMEC kANTOOR VS
960 Saratoga Ave, Suite 206
CA 95129 San Jose
California
uS
Tel.: +1 408 551-4502
Raffaella.Borzi@imec.be
04
IMEC TAIWAN
A6, 1f, No 1, Li-Hsin 1st Rd.
Hsinchu Science Park
Hsinchu City 300
Taiwan
Tel.: +886 3 578 1115
Peter.Lemmens@imec.be
inzichten en veronderstellingen van het management van imec met betrekking
tot bekende en onbekende risico’s en onzekerheden. De feitelijke resultaten,
prestaties of andere omstandigheden kunnen in meer dan geringe mate afwijken
van de uitgesproken verwachtingen als gevolg van wijzigingen in onder meer,
doch hiertoe niet beperkt, (i) de algemene economische omstandigheden in de
sector waarin imec zich begeeft, (ii) de omstandigheden op o.a. de financiële
markten en sectoren en/of in opkomende en/of nieuwe markten en sectoren,
(iii) de wet en regelgevingen en (iv) het beleid van overheden en/of regelgevende
toezichthouders.
Imec, evenals haar bestuurders, management, werknemers en aangestelden in de
meest brede zin als mogelijk, verwerpen enige aansprakelijkheid voor eventueel
voorkomende schade, verlies, kosten of uitgaven die een gevolg zouden zijn van
of zouden tot stand komen naar aanleiding van het gebruik van dit jaarverslag en/
of de informatie erin verstrekt.
adRESSEN
IMEC
05
IMEC kANTOOR CHINA
Suite 4011 Block C
18 Huangyang Road
Pudong
201206 Shanghai
P.R. China
Tel.: +86 21 61652747
Gao.Teng@imec.be
06
IMEC kANTOOR JAPAN
c/o Embassy of Belgium
5-4 Nibancho, Chiyoda-ku
Tokyo 102-0084
Japan
Tel.: +81 3 5210 5882 / Akihiko.Ishitani@imec.be
Tel.: +81 80 5180 1081 / Mitsugu.Yoneyama@imec.be
Voor zover in deze uitgave verwijzingen worden opgenomen naar eender welke
soort van uitgaven of websites van derden, zijn deze louter ten informatieve
titel hierin verstrekt en valt de aansprakelijkheid voor de inhoud ervan onder de
exclusieve verantwoordelijkheid van de eigenaar en/of verantwoordelijke van
deze voormelde uitgaven en/of websites.
Imec is een geregistreerd trademark voor de activiteiten van imec International
(stichting van openbaar nut volgens Belgisch recht, geregistreerd in België met
ondernemingsnummer 0817 807 097), imec België (IMEC vzw gesteund door de
Vlaamse Overheid en geregistreerd in België met ondernemingsnummer 0425
260 668), imec Nederland (Stichting IMEC Nederland, deel van Holst Centre dat
gesteund wordt door de Nederlandse Overheid en gekend is in de Nederlandse
kamer van koophandel onder het nummer 17179812) en imec Taiwan (IMEC Taiwan
Co., geregistreerd in Taiwan onder het business licentienummer 28112596).
87

Colofon
Dit jaarverslag is beschikbaar in het Nederlands en
het Engels. Meer gedetailleerde informatie over
imec’s onderzoeksactiviteiten is opgenomen in het
scientific report. Dit rapport, evenals het algemeen
jaarverslag, is beschikbaar in elektronische versie
op imec’s website www.imec.be en op bijgevoegde
cd-rom.
DEZE RAPPORTEN kUNNEN
AANGEVRAAGD WORDEN bIJ:
Imec
Inge Struys
Corporate Communications
Kapeldreef 75
B-3001 Leuven
Tel.: +32 16 28 89 80
Fax: +32 16 28 16 37
E-mail: Inge.Struys@imec.be
VERANTWOORDELIJkE UITGEVER
Prof. Luc Van den hove
Algemeen Directeur & CEO
REDACTIE
Hanne Degans, Jan Provoost
ExTERNAL COMMUNICATIONS DIRECTOR
Katrien Marent
GRAFISCHE VORMGEVING EN OPMAAk
Kunstmaan
FOTOGRAFIE
Fred Loosen, Jan Pollers
EINDREALISATIE
Hanne Degans, Jan Provoost, Olfa Marzouk
Alle rechten voorbehouden. Niets uit deze uitgave
mag worden verveelvoudigd, opgeslagen in een ge -
automatiseerd gegevensbestand, of openbaar gemaakt,
in enige vorm of op enige wijze, hetzij elektronisch,
mechanisch, door fotokopieën, opnamen
of enig andere manier, zonder schriftelijke toestemming
van de uitgever.
Contactpersoon: Katrien Marent, Tel.: +32 16 28 18 80

ASPIRE
INVENT
ACHIEVE
www.imec.be