FÍSICA DA MATÉRIA CONDENSADA - Sociedade Brasileira de Física

SEM A/ 16 : 30/61f .
DIFUSEO DE ESTANHO EM ARSENETO DE GAUD
POR PROCESSAMENTO TERMICO RÁPIDO
CrisLiana S. Hernandez CDFA - 1FOV - UNICAMP). Jacobus V. Swart C DSTF
- FEE - UNICAMP)
A difusáo do - dopardes em somicond um dos processos utilizados em
microelstrdnica para e fabricacHo do circuitos integrados. Estamos
estudando difusao do Estanho CSn) em Areento de Gallo (GaAs) por
processamento tirneco rapido para a obLenç3o do camadas tipo n rasas. As
dirusaos sio realizadas utlllzando uma omuls8o liquida do S.O.G.
C"spin-on-siris") dopada com Retenho quo • solidificada na superricio do
semicondutor formando um films colido que como fonte paro a
difusao. Eata • realizada on, um forno de aquecimento rapido CRTP) com
uma Laica de subida do temp do 60 .C/s. A caracteriza çEo dosses
camada sera por medidas de Efeito Hall e CY-elatroqufmico. Os primeiros
resultados mosLraraun que tanto a difusao quanto a nao dogradaçSo da
superfido dependem diretamente da qualidade o composioSo do filma quo
serve como Conto para a difuslo.
Apoio : CPgD-TELEBRAS. FAPESP
591 5/16:3U/61 f' J 1 INE»D ENTRE -s wum Sl -DIMENSIONAIS
Bernardo Roemer Almeida Neves; José Francisco de Sespaio;jAlfredo Contilo de Oliveira e,
Resina Pinto de Carvalho (DF = ICE; - UFMG)
Os resultados de axperimemtoa envolvendo tunelamento de carga. através de barreiras
gerelmecte analisado•supondo-se regras de seleçio . baseadae na coneervacio de energia ■
somouton linear. 3 luz destes regras o tsnelamento antra dois sistemas bi-dimensionai ■ deve
me manifestar caro picos estremAsente ■atreitos nas curvas earaeteríaticas IsV.
Reste trabalho apresentaremos cure lstless experimentai ■ de ano cor
dois poços quinticos. cresctdas por MSE. Os resultados sio analisados en tersos dam poet
çies'dos oivele . quinticos mos pólos • das regra, de ■ leçio aeine mencionados.
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1 PROPRIEDADES ELEIRICAS E ESTRUTURAIS DO CONTATO OHLICO AvZn/p-Ca.Sb. A
N.^a,. me^, i. de Oliveira, P.S. Pisani e J.Ç. Calaeraoi. (Departamento de Fiaiea, Univer
ãidade Fedérara-1ao Garlwj, L^, -Clraoeo,_
6.^. t r•lbão • R. Landers. (Instituto dé
Fietca, Universidade Estadual de amp se a .
Foras eerodedo. contatos amiew obtidos pela deposiçio do filmes Au/Zn/Au (espessuras
var(iveis) cobra substratos de p-CaSb. As amostras forma sub metidas a tratamento
tirmico convencional (m forno resistivo) a a tretmento tirmico ripido (m um
forno de lampedas halogénicas de tungetinio) para campareçao doa resultados obtidas cem
os dois 'tipos da imente. Tiveram estio suas reslatinciea específicas de contato
medidas pelo mitodo de quatro pones.. As microestruturas das interfaces foram anall.adae
uaamdo Espectroscopia de Elitrous Auger • Difraçao de Raios-Y.
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