HGC606A/2003 ID intern unic: 295071 Версия на ... - VERTIC

galiu-aluminiu, fosfura de indiu etc.).
C002 Răşini fotosensibile (resist) şi "substraturi" acoperite cu răşini fotosensibile supuse controlului,
după cum urmează:
a) răşini fotosensibile (resist) pozitive pentru litografierea semiconductoarelor special ajustate
(optimizate) pentru a fi folosite la lungimi de undă sub 350 nm;
b) toate răşinile fotosensibile (resist), pentru folosire cu fascicule de electroni sau de ioni, cu o
sensibilitate de 0,01 microcoulomb/mm 2 sau mai bună;
c) toate răşinile fotosensibile (resist), pentru folosire cu raze X, cu o sensibilitate de 2,5 mJ/mm 2
sau mai bună;
d) toate răşinile fotosensibile (resist) optimizate pentru tehnologiile de formare a imaginilor pe
suprafaţă, inclusiv răşini fotosensibile siliate.
Notă tehnică:
Procedeele de siliere sînt definite ca procese care cuprind oxidarea suprafeţei răşinii fotosensibile în
scopul măririi performanţei pentru developarea umedă sau uscată.
3C003 Compuşi anorgano-organici, după cum urmează:
a) compuşi metalo-organici ai aluminiului, galiului sau indiului, avînd o puritate pentru metalul de
bază mai mare de 99,999%;
b) compuşi arsen-organici, antimoniu-organici şi fosfor-organici, avînd o puritate pentru elementul
de bază anorganic mai mare de 99,999%,
Notă: 3C003 supune controlului numai compuşii al căror element metalic, parţial metalic sau
nemetalic, este legal direct cu carbonul de partea organică a moleculei.
3C004 Hidruri de fosfor, arseniu sau antimoniu, avînd o puritate mai mare de 99,999%, chiar
diluate cu gaze inerte sau hidrogen.
Notă 3C004 nu supune controlului hidrurile care conţin 20% concentraţie molura sau mai mult, gaze
inerte sau hidrogen.
3D SOFTWARE
3D001 "Software" special conceput pentru "dezvoltarea" sau "producţia" echipamentelor supuse
controlului prin 3A001.b. la 3A002.g. sau 3B;
3D002 "Software" special conceput pentru "utilizarea" echipamentelor cu "control prin program
memorat" supuse controlului prin 3B;
3D003 "Software" pentru proiectarea asistată de calculator (CAD) pentru dispozitive
semiconductoare sau circuite integrate avînd oricare din următoarele caracteristici:
a. Reguli de proiectare sau de verificare a circuitelor.
b. Simularea circuitelor montate fizic; sau
c. Simulatoare de prelucrare litografică pentru proiectare.
Notă tehnică:
Un simulator de prelucrare litografică este un pachet "software " folosit în baza de proiectare pentru
definirea secvenţei etapelor de litografiere, erodare şi de depunere pentru transferarea formelor de
mască în formele topografice specifice în materialele conductoare, dielectrice sau semiconductoare.
Notă: 3D003 nu supune controlului "software"-ul special conceput pentru intrări schematice,
similare logică, amplasare si rutare, verificare de strat sînt banda de generare a modelului.
N.B. Bibliotecile, datele asociate sau atributele pentru proiectarea dispozitivelor semiconductoare
sau a circuitelor integrate sînt considerate ca tehnologie.
3D101 "Software" special conceput pentru "utilizarea" echipamentelor supuse controlului prin
3A101.b.
3E TEHNOLOGIE
3E001 "Tehnologie", în conformitate cu Nota Generală privind Tehnologia, pentru "dezvoltarea"
sau "producţia" de echipamente sau de materiale supuse controlului prin 3A, 3B sau 3C;
Notă: 3E001 nu supune controlului "tehnologia" pentru "dezvoltarea" sau "producţia" de: