GTÜ FBE Lisansüstü Programlar ve Tez Özetleri
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Malzeme Bilimi Mühendisliği ABD Lisans Programı<br />
Materials Science and Engineering Master of Science<br />
<strong>Tez</strong> Başlığı<br />
Thesis Title<br />
ZİRKONYUM OKSİT KATKILI TIO2/SIO2 İNCE FİLMİNİN ÜRETİM VE<br />
KARAKTERİZASYONU<br />
Öğrenci Adı / Student’s Name Aslı SÖNMEZ<br />
THE FABRICATION AND CHARATERIZATION OF ZIRCONIUM OXIDE<br />
DOPED TIO2/SIO2 THIN FILM<br />
<strong>Tez</strong> Danışmanı / Thesis Supervisor<br />
Doç. Dr. Ahmet Yavuz ORAL<br />
Eş-Danışman / Co-Advisor<br />
ÖZET<br />
Bu çalışmada, TiO2 <strong>ve</strong> SiO2 içeren ince filmlere oranı değişen ZrO2 katkısının etkisi<br />
incelenerek yeni ince filmler üretilmesi <strong>ve</strong> bu filmlerin karakterize edilmesi<br />
amaçlanmıştır. Prizma çiftleyicide karakterizasyonun yapılabilmesi için ince<br />
filmlerin dalga kılavuzu özelliği göstermesi gereklidir. Bu yüzden ince filmler, daha<br />
küçük kırınım indisine sahip mikroskop camı üzerine kaplanarak ölçüm yapılmıştır.<br />
Yöntem olarak, maliyeti uygun olan sol-jel daldırarak kaplama yöntemi seçilmiştir.<br />
Üretilen ince filmlerin mikroyapıları, taramalı elektron mikroskobu (SEM) <strong>ve</strong> enerji<br />
dağılımlı spektroskopi (EDS) ile incelenmiştir. Kristal yapının karakterize edilmesi<br />
amacıyla X-ışınları kırınım cihazı (XRD) kullanılmıştır. Son olarak, prizma çiftleyici<br />
(prism coupler) ile kırılma indisleri <strong>ve</strong> film kalınlıkları, yüksek hassasiyetli olarak<br />
ölçülmüş <strong>ve</strong> sonuçları yorumlanmıştır.<br />
ABSTRACT<br />
The purpose in this study is to in<strong>ve</strong>stigate and to characterize thin films that include<br />
TiO2 and SiO2 in varying proportions and doped with ZrO2. Thin films must be<br />
exhibiting the wa<strong>ve</strong>guide properties to be characterized by a prism coupler.<br />
Therefore, thin films were coated on microscope slides because of their smaller<br />
refracti<strong>ve</strong> indexes than thin films. Relati<strong>ve</strong>ly less expensi<strong>ve</strong> sol-gel dip coating<br />
method was chosen. Fabricated thin film microstructures were in<strong>ve</strong>stigated by<br />
scanning electron microscope (SEM) and energy diffraction spectroscopy (EDS). To<br />
characterize crystal structure, X-Ray diffraction (XRD) was used. Finally, refracti<strong>ve</strong><br />
index and thickness were measured by prism coupler with high sensitivity and<br />
results were interpreted.<br />
Anahtar Kelimeler / Key-words İnce film, daldırarak kaplama, sol-jel, SiO2, TiO2, ZrO2, fotokatalitik<br />
etki, dalga kılavuzu<br />
<strong>Tez</strong> Numarası /Thesis Number 364084<br />
204
Change language