ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ

Περιεχόμενα
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 Ο Συνοπτική Θεωρία Αισθητήρων ............................................................ 12
1.1. Οι αισθητήρες σε συστήματα μετρήσεως .................................................................. 12
1.2. Η δομή ενός συστήματος μέτρησης .......................................................................... 13
1.3. Στατικά χαρακτηριστικά των αισθητήρων ................................................................ 15
1.4. Δυναμικά χαρακτηριστικά αισθητήρων .................................................................... 22
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 2 Ο Τεχνικές Δημιουργίας του Αισθητήρα & Χαρακτηρισμού Επιφάνειας 23
2.1. Τεχνικές Δημιουργίας των Αισθητήρων .................................................................... 23
2.1.1. Οπτική Λιθογραφία ................................................................................................. 23
2.1.2. Φυσική Εναπόθεση από Εξάχνωση (ebeam evaporation) ....................................... 24
2.1.3. Εναπόθεση νανοσωματιδίων σε κενό μέσω Ιοντοβολής (Sputtering) ..................... 26
2.2. Τεχνικές Χαρακτηρισμού Επιφάνειας........................................................................ 29
2.2.1. Το Μικροσκόπιο Ατομικής Δύναμης (AFM) .......................................................... 29
2.2.2. Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης ....................................................................... 31
2.2.4. Προφιλομετρία......................................................................................................... 35
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3 Ο Κατασκευή και Λειτουργία του Αισθητήρα .......................................... 38
3.1. Σχεδιασμός της μάσκας των ηλεκτροδίων ................................................................ 38
3.2. Λιθογραφία για τη δημιουργία των ηλεκτροδίων ...................................................... 39
3.3. Περιγραφή του συστήματος PVD (e-Gun) για εναπόθεση υμενίων Ti και Au και
διαδικασία εξάχνωσης ............................................................................................... 40
3.4. Λιθογραφία για τη δημιουργία περιοχών εναπόθεσης νανοσωματιδίων .................. 41
3.5. Εναπόθεση νανοσωματιδίων ..................................................................................... 42
3.6. Λειτουργία σημερινών αισθητήρων παραμόρφωσης ................................................ 43
3.6.1. Αισθητήρες παραμόρφωσης από μεταλλικά υμένια .............................................. 44
3.6.2. Αισθητήρες παραμόρφωσης από στοιχεία πιεζοαντίστασης ημιαγωγών .............. 45
9