ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Κεφάλαιο 3 Ο Κατασκευή και λειτουργιά του αισθητήρα<br />
6. Μετά από αναμονή ενός λεπτού (ώστε να απομακρυνθεί το πρώτο λεπτό στρώμα<br />
επάνω από τον στόχο που μπορεί να έχει ακαθαρσίες) ανοίγουμε το κλείστρο και<br />
ξεκινά η εναπόθεση. Κατά την εναπόθεση είχε μεγάλη σημασία να διατηρείται ο<br />
ρυθμός εναπόθεσης σταθερός.<br />
7. Τα δείγματα βυθίζονται σε ακετόνη και με την βοήθεια των υπερήχων<br />
απομακρύνουμε το resist της προηγούμενης λιθογραφίας από της επιφάνεια του<br />
υποστρώματος. (Lift Off).<br />
Οι εναποθέσεις που πραγματοποιήθηκαν για την δημιουργία των αισθητήρων έγιναν<br />
με όλες τις παραμέτρους σταθερές εκτός αυτής του χρόνου και της την ροής Αργού (6 έως<br />
32 λεπτά εναπόθεσης και με ρυθμό 0.20, 0.40, 0.60, και 0.80 Ang/s).<br />
Εικόνα 3.5 Σχηματική αναπαράσταση ηλεκτροδίων μετά από εναπόθεση νανοσωματιδίων<br />
3.6 Λειτουργία σημερινών αισθητήρων παραμόρφωσης<br />
Οι κυριότερες κατηγορίες αισθητήρων μέτρησης παραμόρφωσης μέσω της μεταβολής<br />
της ηλεκτρικής αντίστασης που χρησιμοποιούνται ευρέως σήμερα είναι οι εξής:<br />
43
Change language