ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ

More documents

Recommendations

Info

Κεφάλαιο 2 Ο Τεχνικές δημιουργίας του αισθητήρα & χαρακτηρισμού επιφάνειας Συνοπτικά αναφέρονται οι τρείς τρόποι λειτουργία του AFM: 1. Μικροσκοπία Ατομικής Δύναμης με συνεχή επαφή (Contact Mode) Χρησιμοποιείται κυρίως σε σκληρά και ανθεκτικά δείγματα. Οι ακίδες σε αυτή την περίπτωση είναι φτιαγμένες συνήθως από Silicon Nitride, με ακτίνα καμπυλότητας
Κεφάλαιο 2 Ο Τεχνικές δημιουργίας του αισθητήρα & χαρακτηρισμού επιφάνειας εξέταση δείγματος και της προσπίπτουσας δέσμης ηλεκτρονίων σε αυτό. Το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης αποτελείται κυρίως από το σύστημα παραγωγής δέσμης ηλεκτρονίων, το σύστημα κατεύθυνσης της δέσμης, το θάλαμο που τοποθετείται το δείγμα, την αντλία κενού και το σύστημα ανιχνευτών και παρουσίασης. Τα ηλεκτρόνια παράγονται από ένα σύρμα βολφραμίου (κάθοδος) και επιταχύνονται προς την άνοδο, στην οποία εφαρμόζεται ένα δυναμικό 1-30KV. Η άνοδος δημιουργεί ισχυρές ελκτικές δυνάμεις στα ηλεκτρόνια, με αποτέλεσμα να τα επιταχύνει και να τα κατευθύνει. Η παραγόμενη δέσμη ηλεκτρονίων έχει τυπικά ενέργεια από μερικές εκατοντάδες eV μέχρι περίπου 50KeV και εστιάζεται από ένα σύστημα φακών εστίασης, οι οποίοι είναι συνδεδεμένοι με κατάλληλα διαφράγματα. Αμέσως μετά, αυτή η εστιασμένη δέσμη περνά μέσα από ζεύγη πηνίων σάρωσης, τα οποία την εκτρέπουν οριζόντια και κάθετα έτσι ώστε να σαρώνουν μια τετραγωνική περιοχή της επιφάνειας του δείγματος. Τα πηνία αυτά είναι τοποθετημένα σε δύο ζεύγη γύρω από τη δέσμη, με το ένα ζεύγος να ελέγχει την κίνηση της δέσμης στην κατεύθυνση Χ και το άλλο την κίνησή της στην κατεύθυνση Υ. Ένα χρονικά μεταβαλλόμενο ρεύμα καθορίζει το μαγνητικό πεδίο και άρα την εκτροπή της δέσμης ώστε αυτή να στέλνεται στο σωστό σημείο. Τα ίδια τα πηνία ελέγχονται με την γεννήτρια σάρωσης, η οποία με τη σειρά της συνδέεται με τον έλεγχο μεγέθυνσης και την οθόνη. Η δέσμη των ηλεκτρονίων προσπίπτει στο δείγμα και το είδος της εκπεμπόμενης ακτινοβολίας από την επιφάνεια του δείγματος εξαρτάται από την αλληλεπίδραση των πρωτογενών ηλεκτρονίων και των ατόμων του υλικού, και μπορεί να είναι και δευτερογενή ηλεκτρόνια, οπισθοσκεδαζόμενα ηλεκτρόνια, ηλεκτρόνια Auger ή Ακτίνες-Χ. Το βάθος πεδίου του SEM και η διακριτική του ικανότητα είναι πολύ μεγαλύτερα σε σχέση με το οπτικό μικροσκόπιο. Το SEM, μπορεί να φτάσει σε μεγεθύνσεις της τάξης x10000-30000. Επίσης τα δοκίμια δε χρειάζεται να έχουν τόσο καλή επιπεδότητα όσο στο οπτικό μικροσκόπιο, έτσι μετά από κοπή, λείανση και χημική προσβολή είναι δυνατόν να παρατηρηθούν στο ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης. Η χημική προσβολή είναι απαραίτητη έτσι ώστε να είναι πιο έντονη η τοπογραφία της επιφάνειας και η ένταση του σήματος που προέρχεται από τα δευτερογενή ηλεκτρόνια να είναι αυξημένη. 32
Page 1 and 2: ΕΘΝΙΚΟ ΜΕΤΣΟΒΙΟ ΠΟ
Page 3 and 4: Copyright © Δημήτριος Π.
Page 5 and 6: o Τον Δρ. Κ. Γιαννακό
Page 7 and 8: και ομοιόμορφη κατ
Page 9 and 10: We used silicon substrate with 1μm
Page 11 and 12: 3.6.3. Αισθητήρες παρ
Page 13 and 14: ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 Ο Συνοπτ
Page 25 and 26: Κεφάλαιο 2 Ο Τεχνικ
Page 31: Κεφάλαιο 2 Ο Τεχνικ
Page 39 and 40: Κεφάλαιο 3 Ο Κατασκ
Page 53 and 54: Κεφάλαιο 4 Ο Δημιου
Page 65 and 66: Κεφάλαιο 5 Ο Αποτελ
Page 77 and 78: Βιβλιογραφία Βιβλι
Page 79: Βιβλιογραφία 25. Kretsh

ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?