ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Κεφάλαιο 3 Ο Κατασκευή και λειτουργιά του αισθητήρα<br />
Σχήμα 3.1 Τετράδα ηλεκτροδίων με αποστάσεις ηλεκτροδίων 2, 5, 10, 30 μm<br />
Σχήμα 3.2 Μεγέθυνση σε ζεύγος ηλεκτροδίων με απόσταση 30μm<br />
3.2 Λιθογραφία για τη δημιουργία των ηλεκτροδίων<br />
Στο εργαστήριο εκτελέστηκε λιθογραφία αρνητικού τόνου για την τον σχηματισμό<br />
των ηλεκτροδίων κάθε αισθητήρα ως εξής:<br />
• Καθαρισμός υποστρώματος για λίγα λεπτά στους υπέρηχους έχοντας βυθιστεί σε<br />
ακετόνη<br />
• Καθαρισμός από την ακετόνη σε προπανόλη και στην συνέχεια σε διπλά απιονισμένο<br />
νερό, κατόπιν το υπόστρωμα στεγνώνεται με πίεση αζώτου.<br />
• Τοποθέτηση υποστρώματος στον spin coater, έλεγχος με δοκιμαστική περιστροφή για<br />
την σταθερότητα του δείγματος. Ακολουθεί η εναπόθεση ρητίνης αρνητικού τόνου<br />
(όσο χρειαστεί για να καλυφτεί όλη η επιφάνεια) και η περιστροφή στις 5000<br />
στρ/λεπτό για ένα λεπτό.<br />
• Ανόπτηση του υποστρώματος για 90 δευτερόλεπτα στους 110°C<br />
• Ευθυγράμμιση της μάσκας πάνω από το δείγμα και στη συνέχεια δημιουργία κενού<br />
για την επαφή της μάσκας στο δείγμα.<br />
39
Change language