ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Κεφάλαιο 2 Ο Τεχνικές δημιουργίας του αισθητήρα & χαρακτηρισμού επιφάνειας<br />
<strong>ΚΕΦΑΛΑΙΟ</strong> 2 Ο<br />
ΤΕΧΝΙΚΕΣ ΔΗΜΙΟΥΡΓΙΑΣ TOY ΑΙΣΘΗΤΗΡA<br />
&<br />
ΧΑΡΑΚΤΗΡΙΣΜΟΥ ΕΠΙΦΑΝΕΙΑΣ<br />
2.1 Τεχνικές Δημιουργίας των Αισθητήρων<br />
2.1.1 Οπτική Λιθογραφία<br />
Λιθογραφία (lithography) είναι η διαδικασία αποτύπωσης (patterning) ορισμένων<br />
δομών, δηλαδή γεωμετρικών σχημάτων, πάνω σε κάποια επιφάνεια. Για να αποτυπωθούν<br />
αυτές οι δομές απαιτείται η χρήση μιας πρότυπης μάσκας, η οποία να έχει αποτυπωμένη<br />
πάνω της μια μήτρα αυτών των δομών. (Ανάλογα με το είδος της ακτινοβολίας που<br />
χρησιμοποιείται, η λιθογραφία διακρίνεται σε οπτική λιθογραφία, λιθογραφία με ακτίνες Χ<br />
και λιθογραφία ηλεκτρονικής δέσμης). Κατά την οπτική λιθογραφία (φωτολιθογραφία) η<br />
αποτύπωση γίνεται με τη διέλευση φωτός μέσα από τη μάσκα, η οποία είναι κατασκευασμένη<br />
συνήθως από χαλαζία ή πλαστικό. Ο σχεδιασμός της μάσκας γίνεται με κλασικά<br />
προγράμματα σχεδίασης (L-Edit, AUTOCAD κτλ), για τις απλές διατάξεις. Η μάσκα διαθέτει<br />
σκοτεινές (μη διαπερατές από το φως) και φωτεινές (διαπερατές από το φως) περιοχές[10,<br />
11].<br />
Τα βήματα της οπτικής λιθογραφίας είναι τα εξής: α) Λεπτό στρώμα φωτοευαίσθητου<br />
πολυμερούς αποτίθεται στο δισκίο, το οποίο στη συνέχεια περιστρέφεται με υψηλή ταχύτητα,<br />
έτσι ώστε να εξαπλωθεί το πολυμερές, μέσω της φυγόκεντρου δύναμης. Ακολουθεί θέρμανση<br />
για την πλήρη απομάκρυνση του διαλύτη του πολυμερούς. β) Το φωτοευαίσθητο πολυμερές<br />
ακτινοβολείται μέσα από τη μάσκα με τις διαφανείς και αδιαφανείς περιοχές, η οποία<br />
περιέχει το επιθυμητό σχήμα αποτύπωσης στο δισκίο. Το φως που περνά από τις διαφανείς<br />
περιοχές, προκαλεί χημικές αλλαγές στο φωτοευαίσθητο πολυμερές, οι οποίες ενισχύονται<br />
και με τη θέρμανση του δείγματος. Συγκεκριμένα, η ρητίνη όταν δέχεται το φως μπορεί είτε<br />
να φωτοαποικοδομείται είτε να σταθεροποιείται. Οπότε στην πρώτη περίπτωση το πολυμερές<br />
καταστρέφεται στις φωτεινές περιοχές της μάσκας, ενώ σταθεροποιείται στις σκοτεινές και το<br />
ακριβώς αντίθετο συμβαίνει στη δεύτερη περίπτωση. γ) Ακολουθεί η εμφάνιση του<br />
23
Change language