ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ

More documents

Recommendations

Info

Κεφάλαιο 2 Ο Τεχνικές δημιουργίας του αισθητήρα & χαρακτηρισμού επιφάνειας Εικόνα 2.12: Dektak 150 Stylus Profiler από την Veeco 37
Κεφάλαιο 3 Ο Κατασκευή και λειτουργιά του αισθητήρα ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3 Ο ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΤΟΥ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ 3.1 Σχεδιασμός της μάσκας των ηλεκτροδίων Ο σχεδιασμός της μάσκας ηλεκτροδίων είχε γίνει παλαιότερα στο εργαστήριο αλλά λόγω κάποιων τεχνικών προβλημάτων χρειάστηκε να τροποποιηθεί το σχέδιο ώστε να διευρυνθούν οι περιοχές επαφής και συνδεσμολογίας των ηλεκτροδίων (pads) ώστε η σύνδεσή τους με κάποιο όργανο μέτρησης να είναι ευκολότερη (και να μην είναι η μοναδική επιλογή το wire bonding). Η μάσκα κατασκευάστηκε από την deltamask στην Ολλανδία. Στο παρακάτω σχήμα παρουσιάζεται ένα τμήμα της νέας μάσκας με διευρυμένα pads (Σχ. 3.1 και 3.2). 38
Page 1 and 2: ΕΘΝΙΚΟ ΜΕΤΣΟΒΙΟ ΠΟ
Page 3 and 4: Copyright © Δημήτριος Π.
Page 5 and 6: o Τον Δρ. Κ. Γιαννακό
Page 7 and 8: και ομοιόμορφη κατ
Page 9 and 10: We used silicon substrate with 1μm
Page 11 and 12: 3.6.3. Αισθητήρες παρ
Page 13 and 14: ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 Ο Συνοπτ
Page 25 and 26: Κεφάλαιο 2 Ο Τεχνικ
Page 37: Κεφάλαιο 2 Ο Τεχνικ
Page 41 and 42: Κεφάλαιο 3 Ο Κατασκ
Page 53 and 54: Κεφάλαιο 4 Ο Δημιου
Page 65 and 66: Κεφάλαιο 5 Ο Αποτελ
Page 77 and 78: Βιβλιογραφία Βιβλι
Page 79: Βιβλιογραφία 25. Kretsh

ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

Delete template?

Save as template?