ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3ΟΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΛΕΙΤΟΥΡΓΙΑ ΑΙΣΘΗΤΗΡΑ

Κεφάλαιο 3 Ο Κατασκευή και λειτουργιά του αισθητήρα
υμένιο χρυσού. Τα δείγματα βυθίζονται σε ακετόνη και με την βοήθεια των υπερήχων
απομακρύνουμε το χρυσό από τα μη επιθυμητά σημεία. (Λεγόμενη διεργασία Lift Off).
Εικόνα 3.3: Διάταξη PVD στο Clean Room του Πολυτεχνείου
3.4 Λιθογραφία για τη δημιουργία περιοχών εναπόθεσης νανοσωματιδίων
Στο στάδιο αυτό επαναλαμβάνεται η διεργασία της λιθογραφίας αλλά αυτή τη φορά η
ευθυγράμμιση του υποστρώματος με τα ηλεκτρόδια γίνεται με διαφορετική μάσκα. Η μάσκα
αυτή έχει γεωμετρικές δομές (περιοχές σχήματος ορθογώνιου παραλληλόγραμμου) που
41