Souvislost metod hodnocení adhezivně kohezivního ... - ATeam

33 / 54
‣ U tenké vrstvy TiN byl prokázán rozdílný průběh v koeficientu tření
v závislosti na směru měření vzhledem ke stopám po broušení
substrátu.
‣ Tento rozdíl je způsobený tím, že „PIN“ tělísko musí překonávat
překážky, tj. nerovnosti povrchu vzniklé broušením povrchu substrátu
(reálný povrch nástroje).
‣ Po překonání těchto nerovností, tj. po částečném opotřebení tenké
vrstvy dochází k vyrovnání průběhu koeficientu tření ~ po 2500 cyklech.
‣ Tenká vrstva má velice dobrou odolnost proti opotřebení. Je to
s největší pravděpodobností způsobeno tím, že se u TiN vrstev vytváří
oxidický film ve formě TiO 2 , který má prokazatelný vliv na kluzné
vlastnosti.
‣ U vrstvy nedochází k porušování, vrstva má dobrou adhezi
a nenastává ani lokální odhalení substrátu.