Souvislost metod hodnocenà adhezivnÄ kohezivnÃho ... - ATeam
Souvislost metod hodnocenà adhezivnÄ kohezivnÃho ... - ATeam
Souvislost metod hodnocenà adhezivnÄ kohezivnÃho ... - ATeam
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Šířka stop dosahuje v kolmém směru vyšších hodnot než v případě testu<br />
ve směru rovnoběžném a příčném ke směru stop po broušení substrátu.<br />
300<br />
Šířka stopy vrstva TiN<br />
250<br />
Šířka stopy [µm]<br />
200<br />
150<br />
100<br />
TiN_K<br />
TiN_R<br />
TiN_P<br />
50<br />
0<br />
5000 4000 3000 2000 1000<br />
cykly<br />
Závislost šířky stopy na počtu cyklů<br />
37 / 54