deo4 (pdf)

Kinetika rasta termičkog oksida
• Granični slučaj Grove&Deal-ovog modela:
– Duga vremena
• Zavisnost je parabolična: (debljina) 2 ~ vreme
• B je konstanta parabolične brzine:
• Konstanta parabolične brzine zavisi od:
– Difuzivnosti oksidanta u oksidu (D)
– Rastvorljivosti oksidanta u oksidu (N 0
)
– Temperaturna zavisnost je uglavnom zbog difuzivnosti