deo4 (pdf)
deo4 (pdf)
deo4 (pdf)
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Kinetika rasta termičkog oksida<br />
– N 0 predstavlja graničnu rastvorljivost oksidanta u oksidu<br />
• N 0<br />
O2 = 5x10 16 cm -3 na 1000 o C<br />
• N 0<br />
H2O<br />
= 3x10 19 cm -3 na 1000 o C<br />
– Fluks J’na medjupovršini SiO 2 -Si formira novi oksid<br />
J’= k N 1<br />
• k je konstanta hemijske reakcije<br />
– U ravnoteži je J’=J