deo4 (pdf)
deo4 (pdf)
deo4 (pdf)
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Silicijum oksid: SiO 2<br />
• Upotreba:<br />
– Maska u procesima nagrizanja i difuzije<br />
– Pasivizacija površine<br />
– Dielektrik gejta MOSFET-a<br />
– Izolacija<br />
• Formiranje:<br />
– Rast<br />
• Termička oksidacija<br />
(daje najbolji kvalitet)<br />
• Anodizacija<br />
– Depozicija<br />
• CVD<br />
• Naparavanje<br />
• Spaterovanje