deo4 (pdf)
deo4 (pdf)
deo4 (pdf)
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Efekti dopiranja Si na kinetiku rasta<br />
termičkog oksida<br />
• Bor<br />
– k = C ox<br />
/C Si<br />
~ 3<br />
– Primese se nagomilavaju u oksidu<br />
• Fosfor<br />
• Imaju mali uticaj na konstantu linearne brzine B/A<br />
• Povećavaju konstantu parabolične brzine B<br />
– Efekat značajan tek pri N B > ~10 20 cm -3<br />
– k = C ox<br />
/C Si<br />
~ 0.1<br />
– Primese se nagomilavaju na površini Si<br />
• Imaju mali uticaj na konstantu parabolične brzine B<br />
• Povećavaju konstantu linearne brzine B/A<br />
– Efekat značajan tek pri N P > ~10 20 cm -3
Change language