deo4 (pdf)
deo4 (pdf)
deo4 (pdf)
SHOW LESS
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Formiranje tankih filmova<br />
• Rast filmova<br />
– Formiranje tankog filma iz materijala<br />
supstrata<br />
• Primer: formiranje SiO 2 termičkom oksidacijom<br />
• Depozicija filmova<br />
– Nanošenje tankog filma na materijal<br />
supstrata<br />
• Primer: formiranje SiO 2 procesom CVD
Change language