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• 評 估 全 氟 丙 烷 作 為 化 學 氣 相 沉 積 製 程 清 洗 氣 體 之 可 行性 , 並 將 依 計 劃 於 民 國 九 十 七 年 完 成 各 廠 氣 體 置 換 。• 評 估 及 使 用 有 效 之 燃 燒 式 和 觸 媒 式 全 氟 化 物 處 理 設 備 。燃 燒 式 全 氟 化 物 處 理 設 備 已 通 過 評 估 , 並 且 已 開 始 安 裝使 用 。台 積 公 司 歷 年 PFCs 減 量 績 效民 國 九 十 四 年 民 國 九 十 五 年 民 國 九 十 六 年單 位 : 二 氧 化 碳 當 量 減 少 量 ( 噸 )台 積 公 司 主 要 節 能 措 施潔 淨 室 節 能節 能 措 施採 迷 你 潔 淨 室 設 計降 低 潔 淨 室 外 氣 洩 漏 量重 複 使 用 已 控 制 溫 濕 度 之 無 塵 室 一 般排 氣氣 體 化 學 房 環 境 空 調 省 能 設 計 , 採 用無 塵 室 一 般 排 氣 重 複 使 用環 境 績 效減 少 二 氧 化 碳 排 放 52,310 公 噸 / 年減 少 二 氧 化 碳 排 放 19,639 公 噸 / 年減 少 二 氧 化 碳 排 放 479 公 噸 / 年減 少 二 氧 化 碳 排 放 5,144 公 噸 / 年-288,020生 產 區 一 樓 非 無 塵 室 環 境 空 調 省 能 設計 , 採 用 已 控 制 溫 濕 度 之 無 塵 室 一 般排 氣 重 複 使 用減 少 二 氧 化 碳 排 放 98 公 噸 / 年-367,174空 調 系 統 節 能-742,366節 能 措 施冰 水 主 機 採 熱 回 收 型 式環 境 績 效減 少 二 氧 化 碳 排 放 110,933 公 噸 / 年節 能 措 施台 積 公 司 持 續 推 動 節 約 能 源 措 施 , 除 了 達 到 降 低 溫 室 效 應氣 體 二 氧 化 碳 排 放 目 的 外 , 也 可 節 約 成 本 。 台 灣 地 區 因 以火 力 發 電 為 主 , 產 生 電 力 過 程 需 燃 燒 煤 或 油 , 產 生 較 多 的二 氧 化 碳 排 放 , 因 此 節 能 以 減 少 二 氧 化 碳 排 放 對 於 台 灣 地區 的 企 業 十 分 重 要 。 台 積 公 司 在 新 建 廠 房 時 即 導 入 節 能 設計 , 而 在 工 廠 營 運 階 段 亦 持 續 進 行 各 種 系 統 節 能 改 善 措施 。台 積 公 司 在 美 國 的 晶 圓 廠 WaferTech , 其 所 使 用 的 電 力 主要 為 水 力 及 天 然 氣 發 電 的 方 式 , 單 位 用 電 的 二 氧 化 碳 排 放量 相 對 於 火 力 發 電 較 低 。 且 其 能 源 使 用 效 率 在 民 國 九 十 五年 , 名 列 26 家 美 國 半 導 體 協 會 會 員 之 第 二 名 。與 生 產 過 程 節 能 相 較 , 辦 公 室 區 節 能 數 量 雖 然 不 多 , 但 是卻 可 以 提 升 所 有 員 工 的 環 保 意 識 , 所 以 台 積 公 司 對 此 也 不遺 餘 力 。 台 積 公 司 由 專 責 部 門 統 一 規 劃 辦 公 室 區 節 能 方案 , 透 過 公 司 內 部 網 站 、 布 告 文 宣 等 讓 員 工 隨 時 接 收 環 保概 念 。 實 務 上 則 著 重 養 成 員 工 在 辦 公 室 區 照 明 、 空 調 、 電腦 使 用 等 的 節 能 習 慣 。雙 冰 水 溫 度 系 統 設 計潔 淨 室 外 氣 供 風 溫 度 與 室 內 管 排 溫 度節 能 改 善其 他 節 能 措 施節 能 措 施空 調 、 排 氣 、 製 程 冷 卻 系 統 使 用 變 頻控 制外 氣 空 調 箱 再 熱 盤 管 熱 回 收 能 源 再 利用製 程 設 備 排 氣 減 量照 明 減 量 及 程 式 控 制 啟 停電 力 使 用 統 計減 少 二 氧 化 碳 排 放 7,557 公 噸 / 年減 少 二 氧 化 碳 排 放 5,668 公 噸 / 年環 境 績 效減 少 二 氧 化 碳 排 放 54,735 公 噸 / 年減 少 二 氧 化 碳 排 放 2,310 公 噸 / 年減 少 二 氧 化 碳 排 放 9,880 公 噸 / 年減 少 二 氧 化 碳 排 放 7,941 公 噸 / 年台 積 公 司 全 公 司 每 片 8 吋 晶 圓 平 均 用 電 量 自 民 國 九 十 二 年的 480 度 , 降 低 至 民 國 九 十 六 年 的 356 度 , 逐 年 以 更 少 的電 力 生 產 更 多 的 晶 圓 , 是 我 們 努 力 不 懈 的 目 標 。480台 積 公 司 電 力 使 用 統 計單 位 : 仟 瓦 - 小 時 / 每 片 8 吋 晶 圓 當 量台 積 公 司 多 年 來 在 所 有 廠 區 持 續 推 動 節 約 能 源 措 施 , 並 且獲 得 顯 著 績 效 , 總 計 每 年 可 減 少 4 億 3,000 萬 度 之 電 力 使用 , 減 少 的 電 力 可 提 供 人 口 數 5 萬 4,000 人 之 城 市 一 年 的 用電 , 亦 相 當 於 每 年 減 少 27 萬 噸 二 氧 化 碳 的 排 放 。386397357 356民 國 九 十 二 年 民 國 九 十 三 年 民 國 九 十 四 年 民 國 九 十 五 年 民 國 九 十 六 年41