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廠 別台 積 電 ( 上 海 )檢 測 項 目檢 測 日 期三 月 六 月 九 月 十 二 月排 放 標 準pH 7.3 6.9 7.6 7.4 6-9溫 度 (Temperature)( ℃) 27.0 28.0 26.0 17.0 —懸 浮 微 粒 (SS)(mg/L) 136.0 69.3 40.3 85.7 350化 學 需 氧 量 (COD)(mg/L) 86.2 50.2 65.2 90.4 300生 化 需 氧 量 (BOD)(mg/L) 27.5 21.8 26.1 27.5 150氟 離 子 (Fluoride)(mg/L) 10.0 12.5 8.3 9.0 20檢 測 項 目廠 別檢 測 日 期WaferTech三 月 六 月 九 月 十 二 月排 放 標 準pH 6.4 6.4 6.7 6.4 6-11氟 離 子 (Fluoride)(mg/L) 15.7 11.9 10.7 14.6 17.4備 註 : 台 積 公 司 各 廠 區 所 排 出 之 廢 水 水 質 , 均 符 合 科 學 工 業 園 區 管 理 局 或 當 地 政 府 機 關 排 放 標 準 。6.6.2 空 氣 污 染 防 制台 積 公 司 為 了 廢 氣 處 理 效 率 最 佳 化 , 在 機 台 後 端 普 遍 設 置小 型 廢 氣 處 理 設 備 (local scrubber ), 先 以 高 溫 或 是 其 他物 理 性 與 化 學 性 方 法 大 幅 減 低 機 台 排 氣 的 高 污 染 物 濃 度 ,再 將 排 氣 導 入 中 央 廢 氣 處 理 設 備 做 末 端 處 理 。 末 端 處 理 有機 廢 氣 使 用 沸 石 轉 輪 吸 附 設 備 與 酸 鹼 性 廢 氣 使 用 水 洗 滌 設備 , 都 可 以 將 排 氣 的 污 染 物 濃 度 降 至 最 低 , 完 全 符 合 環 保法 規 要 求 。排 氣 定 期 檢 測台 積 公 司 各 晶 圓 廠 均 設有 包 含 緊 急 電 源 在 內 的妥 善 備 援 系 統 , 以 確 保萬 一 運 轉 中 發 生 部 份 設備 故 障 時 , 仍 可 由 備 援系 統 自 動 取 代 , 降 低 污染 物 異 常 排 放 的 機 率 。儘 管 揮 發 性 有 機 物 廢 氣 處 理 設 備 需 使 用 較 潔 淨 的 天 然 氣 為燃 料 , 但 也 設 置 其 他 備 用 燃 料 供 應 系 統 , 在 天 然 氣 供 應 發生 問 題 時 , 可 使 用 備 用 燃 料 , 確 保 污 染 防 制 設 備 正 常 操作 。 台 積 公 司 將 所 有 設 備 的 運 轉 狀 況 納 入 中 央 監 控 , 由 每日 二 十 四 小 時 輪 值 人 員 嚴 密 監 視 ; 所 有 操 作 條 件 的 變 化 均在 連 續 監 視 範 圍 中 , 若 偏 移 超 越 預 設 限 定 值 , 將 即 時 送 出警 訊 。 除 即 時 運 轉 狀 況 外 , 系 統 效 率 檢 知 資 訊 也 列 入 重 點追 蹤 項 目 , 以 早 期 預 知 各 系 統 階 段 的 效 能 變 化 , 確 保 排 氣品 質 。排 氣 煙 囪 檢 查依 據 環 保 法 令 規 定 , 各 晶 圓 廠 針 對 揮 發 性 有 機 物 排 放 濃 度皆 需 設 置 自 動 連 續 監 測 設 施 , 且 每 年 對 各 類 空 氣 污 染 物 亦需 進 行 排 放 濃 度 採 樣 離 線 檢 測 。 台 積 公 司 歷 年 離 線 檢 測 結果 顯 示 , 空 氣 污 染 物 排 放 濃 度 遠 低 於 環 保 署 所 規 定 排 放 標準 。47