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單 位 晶 圓 之 自 來 水 用 量單 位 晶 圓 產 量 之 化 學 品 用 量單 位 : 用 水 量 ( 噸 )/每 片 8 吋 晶 圓 當 量單 位 : 化 學 品 用 量 ( 公 斤 )/每 片 8 吋 晶 圓 當 量3.002.37 2.492.032.183.43.012.88氫 氧 化 鈉雙 氧 水硫 酸氫 氟 酸1.44 1.450.271.31 1.410.241.49 1.740.24民 國 九 十 二 年 民 國 九 十 三 年 民 國 九 十 四 年 民 國 九 十 五 年 民 國 九 十 六 年民 國 九 十 四 年 民 國 九 十 五 年 民 國 九 十 六 年外 部 合 作 節 水 活 動因 為 水 資 源 具 地 區 共 有 性 與 侷 限 性 , 台 積 公 司 透 過 台 灣 科學 工 業 園 區 同 業 公 會 的 專 業 委 員 會 平 台 , 與 半 導 體 同 業 交換 節 水 經 驗 , 共 同 提 升 各 公 司 節 水 率 ; 同 時 也 在 這 個 平 台下 , 與 科 學 工 業 園 區 管 理 局 合 作 輔 導 園 區 部 份 小 廠 做 好 水資 源 管 理 , 以 達 到 全 園 區 的 共 同 目 標 , 確 保 長 期 水 資 源 供需 平 衡 。6.6 污 染 預 防台 積 公 司 認 為 污 染 預 防 是 企 業 的 首 要 天 職 之 一 , 將 污 染 預防 工 作 建 構 於 ISO14001 環 境 管 理 系 統 之 上 , 以 P-D-C-A 的管 理 模 式 推 動 持 續 改 善 環 境 管 理 方 案 , 兼 顧 生 產 成 本 及 環境 保 護 , 在 源 頭 即 減 少 原 物 料 、 能 源 及 資 源 的 使 用 , 同 時減 少 污 染 物 與 廢 棄 物 的 產 生 。在 空 氣 污 染 及 水 污 染 防 治 等 管 末 處 理 , 訂 定 完 整 的 管 理 與操 作 維 護 程 序 書 並 確 實 執 行 , 使 各 類 污 染 防 治 設 施 均 能 發揮 其 最 大 功 效 。 而 在 污 染 防 治 設 施 之 排 放 端 則 設 有 各 類 監測 設 施 , 即 時 監 控 污 染 物 排 放 情 形 , 遇 有 排 放 超 出 標 準 情形 時 , 廠 內 人 員 將 按 照 緊 急 應 變 與 通 報 程 序 立 即 處 理 。廢 棄 物 管 理 方 面 , 將 傳 統 的 清 理 與 處 置 轉 化 為 有 效 管 理 資源 的 觀 念 並 將 之 落 實 於 日 常 運 作 中 , 並 將 廢 棄 物 視 為 資 源加 以 管 理 , 在 產 生 廢 棄 物 源 頭 處 確 實 做 好 分 類 收 集 設 施 ,提 高 廢 棄 物 之 可 回 收 性 , 並 與 廢 棄 物 處 理 與 回 收 再 利 用 廠商 合 作 , 尋 求 及 開 發 可 能 的 回 收 再 利 用 方 式 。 以 此 廢 棄 物資 源 管 理 模 式 , 台 積 公 司 成 功 地 逐 年 提 升 廢 棄 物 回 收 率 ,同 時 藉 由 廢 棄 物 回 收 增 加 實 際 收 入 , 亦 減 少 廢 棄 物 處 理 成本 。6.6.1 水 污 染 防 治晶 圓 廠 的 純 水 設 備 能 將 自 來 水 製 造 成 超 純 水 , 主 要 用 於 製程 機 台 清 洗 晶 圓 表 面 所 殘 存 之 化 學 品 。 為 了 減 少 總 用 水量 , 台 積 公 司 純 水 設 備 及 製 程 機 台 的 排 放 水 依 照 其 乾 淨 程度 分 級 , 最 乾 淨 者 優 先 循 環 純 化 回 製 程 使 用 ; 次 之 者 經 水回 收 設 備 處 理 後 使 用 為 非 製 程 之 次 級 用 水 ; 最 後 , 無 法 回收 使 用 的 廢 水 則 排 至 廠 區 內 設 置 的 廢 水 處 理 廠 進 行 終 端 廢水 處 理 。台 積 公 司 採 取 嚴 格 的 前 端 廢 水 分 類 分 流 策 略 , 以 提 升 處 理效 能 。 各 晶 圓 廠 製 程 產 生 的 廢 水 可 分 為 含 氟 廢 水 、 一 般 酸性 廢 水 及 各 類 研 磨 廢 水 , 所 有 廢 水 均 在 製 程 機 台 端 即 做 好嚴 格 的 分 類 管 理 , 經 由 分 流 管 路 收 集 至 各 類 廢 水 的 處 理 設施 , 在 專 業 團 隊 小 心 操 作 維 護 下 , 將 廢 水 處 理 至 符 合 科 學工 業 園 區 管 理 局 規 定 之 納 管 標 準 後 , 排 放 至 科 學 工 業 園 區污 水 處 理 廠 做 更 進 一 步 的 處 理 。 科 學 工 業 園 區 管 理 局 也 會不 定 期 抽 測 各 公 司 排 放 口 水 質 , 廢 水 經 過 這 些 綜 合 處 理 程序 , 確 認 符 合 河 川 排 放 標 準 後 , 才 由 園 區 污 水 處 理 廠 排 放入 河 川 。台 積 公 司 確 保 環 境 不 受 污 染 優 先 於 製 程 運 作 。 各 廠 廢 水 處理 設 備 皆 設 置 有 包 含 緊 急 電 源 在 內 的 妥 善 備 援 系 統 , 以 確保 萬 一 運 轉 中 發 生 部 份 設 備 故 障 時 , 仍 可 由 備 援 系 統 自 動取 代 , 降 低 污 染 物 異 常 排 放 的 機 率 。 所 有 設 備 的 運 轉 狀況 , 皆 納 入 中 央 監 控 , 由 每 日 二 十 四 小 時 輪 值 人 員 嚴 密 監控 。 所 有 操 作 條 件 的 變 化 均 在 連 續 監 視 範 圍 中 , 若 偏 移 超越 預 設 之 限 定 值 , 將 即 時 送 出 警 訊 並 暫 停 出 水 , 直 至 異 常狀 況 排 除 才 予 以 恢 復 。 除 即 時 運 轉 狀 況 外 , 系 統 效 率 檢 知資 訊 也 列 入 重 點 追 蹤 項 目 , 以 早 期 預 知 各 系 統 階 段 的 效 能變 化 , 確 保 排 放 水 水 質 。排 放 水 水 質 檢 測 結 果台 積 公 司 各 廠 在 廢 水 處 理 設 備 的 排 放 口 均 設 有 水 質 ( 酸 鹼值 、 氟 離 子 濃 度 ) 與 水 量 的 連 續 監 測 設 施 , 監 測 及 紀 錄 水質 與 水 量 的 變 化 , 供 在 異 常 狀 況 發 生 時 進 行 適 當 的 應 變 處置 。 同 時 , 針 對 排 放 水 各 類 水 質 項 目 , 每 年 至 少 進 行 四 次採 樣 離 線 檢 測 , 可 供 與 線 上 偵 測 儀 器 比 對 校 正 , 確 保 排 放水 質 符 合 標 準 。45