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廠 別晶 圓 十 四 廠煙 囪 編 號 P101 P102 P104 P107 P108 P109 P113 P114 P118 P119 P120硫 酸 液 滴(kg/hr)總 氟 量(kg/hr)氯 化 氫(kg/hr)氯 氣(kg/hr)氨 氣(kg/hr)硝 酸(kg/hr)磷 酸(kg/hr)揮 發 性 有 機物 削 減 率(%)0.00059 - - - 0.00046 - - - 0.00026 - -0.00084 - - - 0.00164 - - - 0.0005 - -0.00235 - - - 0.00133 - - - 0.00093 - -0.0124 - - - 0.00987 - - - 0.00863 - -- - - - - - - - - 0.0033 0.01130.00012 - - - 0.00013 - - - 0.0001 - -0.00036 - - - 0.00029 - - - 0.00025 - -- 98.9 98.9 97.7 - 98.4 96.6 97.7 - - -備 註 :1. 硫 酸 液 滴 、 總 氟 量 、 氯 化 氫 、 硝 酸 及 磷 酸 之 處 理 均 符 合 「 半 導 體 製 造 業 空 氣 污 染 管 制 及 排 放 標 準 」 之 濕 式 洗 滌 設 備 之 控 制 條 件 。2. 揮 發 性 有 機 物 之 處 理 均 符 合 「 半 導 體 製 造 業 空 氣 污 染 管 制 及 排 放 標 準 」 之 排 放 削 減 率 大 於 90% 或 工 廠 總 排 放 量 小 於 0.6kg/hr。3. 氯 氣 及 氨 氣 均 符 合 「 固 定 污 染 源 空 氣 污 染 物 排 放 標 準 」。 氯 氣 之 排 放 標 準 為 30ppm; 氨 氣 之 排 放 標 準 則 由 各 別 煙 囪 資 料 計 算 出 來 。4.「-」 表 示 此 項 目 不 需 要 檢 測 。廠 別 台 積 電 ( 上 海 )煙 囪 編 號 FQ01400901 FQ01400902 FQ01400903 FQ01400904 FQ01400905 FQ01400906 FQ01400907排 放 標 準(kg/hr)硫 酸 液 滴(kg/hr)總 氟 量(kg/hr)氯 化 氫(kg/hr)氯 氣(kg/hr)氨 氣(kg/hr)揮 發 性有 機 物(kg/hr)0.068 - - 0.018 - - 0.043 10