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台 積 公 司 民 國 九 十 六 年 製 程 排 氣 檢 測 結 果廠 別 晶 圓 二 廠 晶 圓 五 廠 晶 圓 八 廠煙 囪 編 號 P004 P006 P007 P009 P011 P013 P101 P102 P104 P106 P106 P110 P115 P117硫 酸 液 滴(kg/hr)總 氟 量(kg/hr)氯 化 氫(kg/hr)氯 氣(kg/hr)氨 氣(kg/hr)硝 酸(kg/hr)磷 酸(kg/hr)揮 發 性 有 機物 削 減 率(%)0.0023 - 0.0048 - - 0.0063 - - 0.0072 - 0.0058 - - -0.007 - 0.001 - - 0.026 - - 0.02 - 0.023 - - -0.0068 - 0.00052 - - 0.035 - - 0.0068 - 0.0062 - - -0.0072 - 0.0051 - - 0.021 - - 0.023 - 0.0096 - - -- 0.017 - - - - - - 0.005 - 0.0016 - -0.0045 - 0.0014 - - 0.011 - - 0.013 - 0.0039 - - -
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