æ•´æœ¬å¹´å ± - TSMC

廠 別晶 圓 三 廠煙 囪 編 號 P101 P103 P104 P105 P106 P107 P108 P109 P110 P111 P112 P113 P114硫 酸 液 滴(kg/hr)總 氟 量(kg/hr)氯 化 氫(kg/hr)氯 氣(kg/hr)氨 氣(kg/hr)硝 酸(kg/hr)磷 酸(kg/hr)揮 發 性 有 機物 削 減 率(%)0.00039 - 0.00011 0.0044 0.00069 0.00019 0.002 0.00054 0.00085 0.00026 - - -0.058 - 0.000031 0.015 0.0029 0.0017 0.02 0.000038 0.036 0.000059 - - -0.0025 - 0.000078 - - - - 0.00063 0.017 - - - -- - - 0.015 0.0074 0.0072 0.012 - - 0.0072 - - -0.021 0.024 0.0023 0.01 - 0.026 - 0.028 0.013 - - - -- - - 0.0069 0.00051 0.00091 0.004 - - 0.00026 - - -- - - 0.00046 0.00032 0.00027 0.001 0.00013 - 0.00021 - - -- - - - - - - - - - 96.8 96.6 96.8廠 別晶 圓 三 廠煙 囪 編 號 P115 P116 P117 P118 P119 P201 P209 P210 P212 P213 P217 P218 P219硫 酸 液 滴(kg/hr)總 氟 量(kg/hr)氯 化 氫(kg/hr)氯 氣(kg/hr)氨 氣(kg/hr)硝 酸(kg/hr)磷 酸(kg/hr)揮 發 性 有 機物 削 減 率(%)- 0.00028 0.00031 - - 0.001 0.000054 0.00072 - - - - -- 0.01 0.014 - - 0.003 0.000018 0.000055 - - - - -- - 0.0024 - - 0.00082 0.00006 0.00047 - - - - -- 0.0012 - - - 0.018 - 0.0044 - - - - -- - 0.004 0.015 0.0022 0.027 - 0.0043 - - - - -- 0.0004 0.001 - - 0.00061 0.000036 0.00025 - - - - -- 0.000063 0.00018 - - 0.00048 0.000042 0.00019 - - - - -96.6 - - - - 96.0 - - 93.7 96.0 93.7 96.4 96.4廠 別晶 圓 十 二 廠煙 囪 編 號 P003 P004 P008 P011 P012 P013 P016 P017 P018 P009 P022硫 酸 液 滴(kg/hr)總 氟 量(kg/hr)氯 化 氫(kg/hr)氯 氣(kg/hr)氨 氣(kg/hr)硝 酸(kg/hr)磷 酸(kg/hr)揮 發 性 有 機物 削 減 率(%)0.0032 0.0044 0.0029 0.0007 0.0023 - 0.003 0.003 0.007 - -