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verfahren und vorrichtung zur herstellung von ... - Patente

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zwischen 550 <strong>und</strong> 650°C <strong>und</strong> ein Verhältnis <strong>von</strong><br />

CO:H 2 <strong>von</strong> zwischen 6:1 <strong>und</strong> 2:1 herausgestellt. Die<br />

Bedingungen wurden über 3,5 St<strong>und</strong>en aufrechterhalten,<br />

woraufhin der Ofen abkühlte <strong>und</strong> das Material<br />

extrahiert wurde.<br />

[0060] Es wurden 1,62 g an kohlenstoffhaltigem Material<br />

hergestellt. Eine Untersuchung mit einem<br />

Transmissionselektronenmikroskop ergab, dass das<br />

Produkt aus filamentförmigen Nanocarbonstrukturen<br />

mit Durchmessern im Bereich <strong>von</strong> 20 bis 300 nm (siehe<br />

Fig. 6a) bestand. Wie der Fig. 6b zu entnehmen<br />

ist, zeigte das Raman-Spektrum in Übereinstimmung<br />

damit, dass die dominanten Strukturen als graphitische<br />

Nanofasern ausgebildet sind, ein hohes Verhältnis<br />

des "D"-Signalintensität gegenüber der<br />

"G"-Signalintensität.<br />

Beispiel 2b<br />

[0061] Bei einem zum Beispiel 2a ähnlichen Experiment<br />

wurde ein Eisendraht mit einem Durchmesser<br />

<strong>von</strong> 200 μm entlang der Achse eines vertikalen Röhrenofens<br />

abgehängt. Zum Reduzieren der Oberflächenoxidschicht<br />

wurde bei 400°C H 2 durch den Ofen<br />

geleitet. Anschließend wurde eine 90:30 CO:H 2-Mischung<br />

bei 600°C durch den Ofen geleitet. An der<br />

Oberfläche des Drahtes wurden Kohlenstoffnanostrukturen<br />

erzeugt. In der Fig. 6c ist ein TEM einer<br />

sich hierbei typischerweise ergebenden Struktur gezeigt.<br />

[0062] Diese Beispiele zeigen, dass Kohlenstoffnanoröhren<br />

direkt auf einem Draht mit einer Abmessung<br />

im Bereich <strong>von</strong> 200 μm aufwachsen können,<br />

auch wenn das Substrat üblicherweise Partikel aufweisen<br />

müsste, deren Abmessungen mit den resultierenden<br />

Röhrendurchmessern vergleichbar sind,<br />

oder das zum Beispiel mittels Plasmaätzen behandelt<br />

hätte werden müssen, um Oberflächenunregelmäßigkeiten<br />

mit Abmessungen zu erzeugen, die denen<br />

der resultierenden Röhren ähnlich sind. Auch<br />

wenn der genaue Mechanismus nicht bekannt ist, erscheint<br />

es doch so, dass ein Plasmaätzen nicht erforderlich<br />

ist, <strong>und</strong> dass eine Drahtoberfläche (z. B. Eisendrähte<br />

mit 100 bis 600 μm) eine ihr eigene Oberflächencharakteristik<br />

aufweist oder erzeugt, die sich<br />

zum Katalysieren einer Nanocarbonabscheidung eignet.<br />

Patentansprüche<br />

1. Verfahren zum Abscheiden <strong>von</strong> Kohlenstoffnanostrukturen,<br />

bei dem die Nanostrukturen auf einem<br />

fortlaufend ausgebildeten, länglichen <strong>und</strong> beheizten<br />

katalytischen Substrat aufwachsen, wobei <strong>zur</strong> Ausbildung<br />

eines beschichteten Substrats eine chemische<br />

Gasphasenabscheidung verwendet wird, wobei das<br />

Verfahren das Hindurchführen des fortlaufend ausgebildeten<br />

Substrats durch eine oder mehrere Abschei-<br />

DE 603 19 508 T2 2009.03.26<br />

8/14<br />

dekammern umfasst, die Kohlenstoffnanostrukturen<br />

in einer kontinuierlichen oder semikontinuierlichen<br />

Weise abgeschieden werden <strong>und</strong> die abgeschiedenen<br />

Kohlenstoffnanostrukturen <strong>von</strong> dem Substrat in<br />

einem weiteren kontinuierlichen oder semikontinuierlichen<br />

Schritt entfernt werden.<br />

2. Verfahren nach Anspruch 1, worin das fortlaufend<br />

ausgebildete, längliche Substrat in der Form eines<br />

Filaments, eines Drahtes, eines Bandes oder eines<br />

Streifens vorliegt.<br />

3. Verfahren nach Anspruch 2, worin das Substrat<br />

selbst als katalytisches Substrat ohne zusätzliche<br />

katalytische Schicht oder Beschichtung agiert.<br />

4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, worin das<br />

Substrat <strong>von</strong> einem elektrisch leitfähigen Draht gebildet<br />

wird.<br />

5. Verfahren nach Anspruch 4, worin der Draht<br />

aus Stahl, Eisen, Nickel oder Legierungen hier<strong>von</strong><br />

gebildet wird.<br />

6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, worin der<br />

Draht mittels Hindurchleiten eines elektrischen<br />

Stroms durch diesen beheizt wird.<br />

7. Verfahren nach Anspruch 6, worin sich der<br />

Draht <strong>zur</strong> Ausbildung eines elektrischen Stromkreises<br />

mit einer oder mit mehreren Flüssigmetallelektroden<br />

kontinuierlich so in elektrischem Kontakt befindet,<br />

dass eine Bewegung des Drahts während oder<br />

nach der Abscheidung möglich ist.<br />

8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,<br />

worin die Kohlenstoffnanostrukturen <strong>von</strong><br />

dem länglichen Substrat durch eine relative Verschiebung<br />

des beschichteten Substrats durch eine Öffnung<br />

entfernt werden, die einen geringfügig größeren<br />

Querschnitt aufweist als das Substrat.<br />

9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,<br />

bei dem das Substrat, <strong>von</strong> dem die Kohlenstoffnanostrukturen<br />

entfernt wurden, in einem nachfolgenden<br />

kontinuierlichen oder semikontinuierlichen<br />

Schritt gereinigt wird <strong>und</strong> fakultativ <strong>zur</strong> Wiederverwendung<br />

zum Ausgangspunkt des Verfahrens <strong>zur</strong>ückgeführt<br />

wird.<br />

10. Verfahren nach einem der vorangehenden<br />

Ansprüche, worin das Substrat in einer Richtung entlang<br />

seiner Länge durch eine oder mehrere Abscheidekammern<br />

hindurchgeführt wird.<br />

11. Verfahren nach einem der vorangehenden<br />

Ansprüche, worin das Substrat auf eine Temperatur<br />

erhitzt wird, die dazu geeignet ist, dass die Abscheidung<br />

<strong>von</strong> Nanocarbonen durch chemische Gasphasenabscheidung<br />

stattfindet, wobei die Temperatur

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