verfahren und vorrichtung zur herstellung von ... - Patente
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zwischen 550 <strong>und</strong> 650°C <strong>und</strong> ein Verhältnis <strong>von</strong><br />
CO:H 2 <strong>von</strong> zwischen 6:1 <strong>und</strong> 2:1 herausgestellt. Die<br />
Bedingungen wurden über 3,5 St<strong>und</strong>en aufrechterhalten,<br />
woraufhin der Ofen abkühlte <strong>und</strong> das Material<br />
extrahiert wurde.<br />
[0060] Es wurden 1,62 g an kohlenstoffhaltigem Material<br />
hergestellt. Eine Untersuchung mit einem<br />
Transmissionselektronenmikroskop ergab, dass das<br />
Produkt aus filamentförmigen Nanocarbonstrukturen<br />
mit Durchmessern im Bereich <strong>von</strong> 20 bis 300 nm (siehe<br />
Fig. 6a) bestand. Wie der Fig. 6b zu entnehmen<br />
ist, zeigte das Raman-Spektrum in Übereinstimmung<br />
damit, dass die dominanten Strukturen als graphitische<br />
Nanofasern ausgebildet sind, ein hohes Verhältnis<br />
des "D"-Signalintensität gegenüber der<br />
"G"-Signalintensität.<br />
Beispiel 2b<br />
[0061] Bei einem zum Beispiel 2a ähnlichen Experiment<br />
wurde ein Eisendraht mit einem Durchmesser<br />
<strong>von</strong> 200 μm entlang der Achse eines vertikalen Röhrenofens<br />
abgehängt. Zum Reduzieren der Oberflächenoxidschicht<br />
wurde bei 400°C H 2 durch den Ofen<br />
geleitet. Anschließend wurde eine 90:30 CO:H 2-Mischung<br />
bei 600°C durch den Ofen geleitet. An der<br />
Oberfläche des Drahtes wurden Kohlenstoffnanostrukturen<br />
erzeugt. In der Fig. 6c ist ein TEM einer<br />
sich hierbei typischerweise ergebenden Struktur gezeigt.<br />
[0062] Diese Beispiele zeigen, dass Kohlenstoffnanoröhren<br />
direkt auf einem Draht mit einer Abmessung<br />
im Bereich <strong>von</strong> 200 μm aufwachsen können,<br />
auch wenn das Substrat üblicherweise Partikel aufweisen<br />
müsste, deren Abmessungen mit den resultierenden<br />
Röhrendurchmessern vergleichbar sind,<br />
oder das zum Beispiel mittels Plasmaätzen behandelt<br />
hätte werden müssen, um Oberflächenunregelmäßigkeiten<br />
mit Abmessungen zu erzeugen, die denen<br />
der resultierenden Röhren ähnlich sind. Auch<br />
wenn der genaue Mechanismus nicht bekannt ist, erscheint<br />
es doch so, dass ein Plasmaätzen nicht erforderlich<br />
ist, <strong>und</strong> dass eine Drahtoberfläche (z. B. Eisendrähte<br />
mit 100 bis 600 μm) eine ihr eigene Oberflächencharakteristik<br />
aufweist oder erzeugt, die sich<br />
zum Katalysieren einer Nanocarbonabscheidung eignet.<br />
Patentansprüche<br />
1. Verfahren zum Abscheiden <strong>von</strong> Kohlenstoffnanostrukturen,<br />
bei dem die Nanostrukturen auf einem<br />
fortlaufend ausgebildeten, länglichen <strong>und</strong> beheizten<br />
katalytischen Substrat aufwachsen, wobei <strong>zur</strong> Ausbildung<br />
eines beschichteten Substrats eine chemische<br />
Gasphasenabscheidung verwendet wird, wobei das<br />
Verfahren das Hindurchführen des fortlaufend ausgebildeten<br />
Substrats durch eine oder mehrere Abschei-<br />
DE 603 19 508 T2 2009.03.26<br />
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dekammern umfasst, die Kohlenstoffnanostrukturen<br />
in einer kontinuierlichen oder semikontinuierlichen<br />
Weise abgeschieden werden <strong>und</strong> die abgeschiedenen<br />
Kohlenstoffnanostrukturen <strong>von</strong> dem Substrat in<br />
einem weiteren kontinuierlichen oder semikontinuierlichen<br />
Schritt entfernt werden.<br />
2. Verfahren nach Anspruch 1, worin das fortlaufend<br />
ausgebildete, längliche Substrat in der Form eines<br />
Filaments, eines Drahtes, eines Bandes oder eines<br />
Streifens vorliegt.<br />
3. Verfahren nach Anspruch 2, worin das Substrat<br />
selbst als katalytisches Substrat ohne zusätzliche<br />
katalytische Schicht oder Beschichtung agiert.<br />
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, worin das<br />
Substrat <strong>von</strong> einem elektrisch leitfähigen Draht gebildet<br />
wird.<br />
5. Verfahren nach Anspruch 4, worin der Draht<br />
aus Stahl, Eisen, Nickel oder Legierungen hier<strong>von</strong><br />
gebildet wird.<br />
6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, worin der<br />
Draht mittels Hindurchleiten eines elektrischen<br />
Stroms durch diesen beheizt wird.<br />
7. Verfahren nach Anspruch 6, worin sich der<br />
Draht <strong>zur</strong> Ausbildung eines elektrischen Stromkreises<br />
mit einer oder mit mehreren Flüssigmetallelektroden<br />
kontinuierlich so in elektrischem Kontakt befindet,<br />
dass eine Bewegung des Drahts während oder<br />
nach der Abscheidung möglich ist.<br />
8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,<br />
worin die Kohlenstoffnanostrukturen <strong>von</strong><br />
dem länglichen Substrat durch eine relative Verschiebung<br />
des beschichteten Substrats durch eine Öffnung<br />
entfernt werden, die einen geringfügig größeren<br />
Querschnitt aufweist als das Substrat.<br />
9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,<br />
bei dem das Substrat, <strong>von</strong> dem die Kohlenstoffnanostrukturen<br />
entfernt wurden, in einem nachfolgenden<br />
kontinuierlichen oder semikontinuierlichen<br />
Schritt gereinigt wird <strong>und</strong> fakultativ <strong>zur</strong> Wiederverwendung<br />
zum Ausgangspunkt des Verfahrens <strong>zur</strong>ückgeführt<br />
wird.<br />
10. Verfahren nach einem der vorangehenden<br />
Ansprüche, worin das Substrat in einer Richtung entlang<br />
seiner Länge durch eine oder mehrere Abscheidekammern<br />
hindurchgeführt wird.<br />
11. Verfahren nach einem der vorangehenden<br />
Ansprüche, worin das Substrat auf eine Temperatur<br />
erhitzt wird, die dazu geeignet ist, dass die Abscheidung<br />
<strong>von</strong> Nanocarbonen durch chemische Gasphasenabscheidung<br />
stattfindet, wobei die Temperatur