2 Versetzungen in kristallinen Halbleitern
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<strong>Versetzungen</strong> <strong>in</strong> kristall<strong>in</strong>en <strong>Halbleitern</strong> 4<br />
Von vollständigen <strong>Versetzungen</strong> spricht man, wenn die Kristallverschiebung um den<br />
Burgersvektor e<strong>in</strong>er translationssymmetrischen Operation entspricht, ist dies nicht der Fall,<br />
handelt es sich um e<strong>in</strong>e Partialversetzung.<br />
Anschaulich kann e<strong>in</strong>e allgeme<strong>in</strong>e Versetzungsstruktur durch e<strong>in</strong>e im Innern e<strong>in</strong>es idealen<br />
Kristalls liegende geschlossene Versetzungsschleife beschrieben werden (Abb. 2.1). E<strong>in</strong>e<br />
solche Schleife kann durch Scherung <strong>in</strong>nerhalb des Kristalls hervorgerufen werden. Dabei<br />
werden die <strong>in</strong> der Gleitebene liegenden B<strong>in</strong>dungen des Idealkristalls aufgebrochen. Es erfolgt<br />
e<strong>in</strong>e Neukonfiguration der B<strong>in</strong>dungen nach Abgleitung des Kristallbereiches um den<br />
Burgersvektor. Dabei entstehen antiparallele Stufen- und Schraubenversetzungssegmente als<br />
vollständige Versetzungsschleife an der Grenzl<strong>in</strong>ie des abgeglittenen Bereiches. Bei der re<strong>in</strong>en<br />
Stufenversetzung stehen L<strong>in</strong>ien- und Burgersvektor senkrecht zue<strong>in</strong>ander, bei der Schraubenversetzung<br />
s<strong>in</strong>d sie parallel. Der W<strong>in</strong>kel zwischen beiden Vektoren gibt e<strong>in</strong>er Versetzung<br />
ihren spezifischen Namen.<br />
T<br />
T<br />
Gleitebene, Bereich<br />
umgeordneter B<strong>in</strong>dungen<br />
“e<strong>in</strong>geschobene” Netzebenen<br />
Burgersvektor<br />
Schraubenversetzung<br />
Stufenversetzung<br />
horizontale Kristalll<strong>in</strong>ie<br />
vertikale Kristalll<strong>in</strong>ie<br />
Abb. 2.1 Modell e<strong>in</strong>er Versetzungsschleife <strong>in</strong>nerhalb e<strong>in</strong>es idealen Kristallgitters Die im Innern der Schleife an<br />
die Gleitebene angrenzenden Atome s<strong>in</strong>d um e<strong>in</strong>en halben Burgersvektor von ihrer Idealposition<br />
entfernt. Entsprechend kommt es zur Verrückung des Kristallgittergereichs. Außerhalb der Versetzungsschleife<br />
ist diese Deformation elastisch.<br />
2.1.2 Optische und elektronische Eigenschaften von <strong>Versetzungen</strong><br />
Als Störungen der idealen, periodischen Kristallstruktur verursachen <strong>Versetzungen</strong><br />
Veränderungen im gitterperiodischen elektronischen Potential. Direkte Folge ist e<strong>in</strong>e lokale<br />
Änderung der mechanischen, elektrischen als auch der optischen Eigenschaften des Kristalls<br />
im Bereich der <strong>Versetzungen</strong>. Ihre Präsenz im Kristall ist, aufgrund der Störung der<br />
Gitterperiodizität, verantwortlich für die Existenz von elektronischen Zuständen <strong>in</strong> der<br />
Energielücke (→ <strong>in</strong>duzierte Gapzustände). E<strong>in</strong>e Unterscheidung gegenüber Punktdefekten<br />
kann aufgrund der lokalen Wirkung der <strong>Versetzungen</strong> und ihrer Ausdehnung im Kristall<br />
erfolgen. Mit Hilfe lokal auflösender Untersuchungen im Transmissionselektronenmikroskop<br />
kann die Struktur von Versetzungskonfigurationen ermittelt werden.<br />
Die <strong>in</strong>duzierten Gapzustände von <strong>Versetzungen</strong> bed<strong>in</strong>gen die Existenz zusätzlicher<br />
Rekomb<strong>in</strong>ationskanäle (vgl. Kap 3.2). Diese stehen <strong>in</strong>sbesondere bei optoelektronischen<br />
Halbleitermaterialien <strong>in</strong> Konkurrenz zu erwünschten Rekomb<strong>in</strong>ationsprozessen. Die Folge<br />
bei optoelektronischen Bauelementen ist e<strong>in</strong>e verm<strong>in</strong>derte Lum<strong>in</strong>eszenzausbeute des Kristalls.