4-2022

Stromversorgung
Präzise, anpassbare
Plasmasteuerung
10-kW-Netzgerät mit verbessertem Arc-Management und
eingebauter Prozess-Charakterisierung kann konfiguriert
werden, um Durchsatz und Ertrag zu optimieren
Advanced Energy hat seine
Familie von Plasmastromgeneratoren
um ein gepulstes DC-
Netzgerät mit einer Leistung von
10 kW erweitert, welches branchenführende
Leistungs- und Kontrollfunktionen
mit integriertem
Prozessoptimierungstool Power-
Insight by Advanced Energy kombiniert.
Mit patentierter Pulstechnologie
sorgt das Ascent SMS AP
(Advanced Pulsing)-Netzgerät für
optimales Arc-Management und
präzise Plasmasteuerung bei den
herausforderndsten Dünnschichtabscheidungs-Anwendungen,
von
der Halbleiter- bis zur Solar-PV-
Herstellung.
Fortschrittliche Lösung
Das kompakte 10 kW Ascent
SMS AP hat den weitesten betriebssicheren
Funktionsbereich (SOA)
mit Spitzenspannungen von bis zu
1200 V und Puls-Frequenzen von
500 Hz bis 150 kHz. Sein progressives
Arc-Management-System ist
mit Hilfe der reverse Spannung
die fortschrittlichste Lösung der
gesamten Branche und bietet die
geringste Arc-Energie mit selbstjustierenden
Arc-Parametern, die
sich mit dem Prozess-Fortschritt
dynamisch verändern. Die AP-Wellenform
bietet Boost-Spannung,
reverse Spannung, Kontrolle und
erweiterte Pulsform, die es erlaubt,
Feinabstimmungen an der individuellen
Film-Morphologie und an
gewünschten Filmeigenschaften
vorzunehmen.
„Advanced Energy verbessert die
Leistung von gepulsten DC-Netzgeräten
mit beispielloser Anpassungsfähigkeit
in single Magnetron
Sputter-Anwendungen weiter“,
sagte Dhaval Dhayatkar, Senior
Director of Marketing, Plasmapower
Produkte bei Advanced
Energy. „Vollgepackt mit unseren
fortschrittlichsten Technologien,
einschließlich einer konfigurierbaren
Wellenform, progressivem
Arc-Management, SOA (sicherer
Arbeitsbereich) der Spitzenklasse,
großem Frequenzbereich und
unserem PowerInsight-Prozessoptimierungs-tool,
hilft das neue
10 kW Ascent SMS AP-Netzgerät
unseren Kunden dabei, die
höchst-möglichen Stufen an Präzision,
Wiederholbarkeit und Ausbeute
in fortschrittlichen Plasmaprozessen
zu erreichen.“
PowerInsight
Die neue Einheit ist das erste AE-
Netzgerät, das die Power Insight-
Prozess-charakterisierungs- und
Optimierungssoftware integriert.
PowerInsight vereinfacht die
Sammlung, Analyse und Aufbereitung
von Daten aus kritischen
Prozessen und bietet Intelligenz,
die benutzt werden kann um Prozesse
zu optimieren, die Produktivität
zu verbessern und ungeplante
Ausfallzeiten von Prozessgeräten
effizient zu reduzieren.
• Advanced Energy
www.advancedenergy.com
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