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Lasermaterialbearbeitung - Fakultät 06 - Hochschule München

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<strong>Lasermaterialbearbeitung</strong><br />

Version 1.4 PAM<br />

2� �<br />

Abbildung 4: Dreidimensionale Darstellung der Gaußverteilung mit der<br />

Peakfluenz � �, der Schwellpeakfluenz � ��� und den dazugehörenden<br />

Durchmessern � beziehungsweise �� � [1].<br />

In der Materialbearbeitung wird auch häufig der Begriff der Fluenz verwendet, die sich bei<br />

konstanter Pulsdauer als Energie pro Fläche bestimmen lässt.<br />

Zur Bestimmung der Schwellfluenz ����, oberhalb derer Materialabtrag stattfindet, wird<br />

folgender Zusammenhang zwischen dem Radius des Ablationsflecks � und der eingestrahlten<br />

Spitzenfluenz �� genutzt:<br />

��<br />

��<br />

�<br />

�<br />

���� � � � �� (01)<br />

Betrachtet man den Radius � ���, innerhalb dessen es zur Ablation kommt und für den gilt<br />

so gilt für alle � � � ���:<br />

� ����� ����<br />

Somit kann man auch schreiben:<br />

��� ���� � � ���<br />

���� � � ���<br />

� ��� � � �� ��� ���<br />

�<br />

J. Kleiner / Dr. G. Heise Seite 16<br />

(02)<br />

(03)<br />

� � � (04)<br />

Dieser Zusammenhang gilt bei gaußförmiger Intensitätsverteilung, das heißt für<br />

Laserstrahlen mit M � � 1 �2�. Weiterhin folgt:<br />

ln � � ���<br />

��<br />

� �� �<br />

���� � �<br />

� � �2 � �<br />

���<br />

� � �<br />

� ln �� ���<br />

��<br />

� �<br />

� ���<br />

�<br />

� � � �<br />

(05)<br />

� (<strong>06</strong>)<br />

� � � ���� � 2�� ln���� � 2�� ln������ (07)

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