Lasermaterialbearbeitung - Fakultät 06 - Hochschule München
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<strong>Lasermaterialbearbeitung</strong><br />
Version 1.4 PAM<br />
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Abbildung 4: Dreidimensionale Darstellung der Gaußverteilung mit der<br />
Peakfluenz � �, der Schwellpeakfluenz � ��� und den dazugehörenden<br />
Durchmessern � beziehungsweise �� � [1].<br />
In der Materialbearbeitung wird auch häufig der Begriff der Fluenz verwendet, die sich bei<br />
konstanter Pulsdauer als Energie pro Fläche bestimmen lässt.<br />
Zur Bestimmung der Schwellfluenz ����, oberhalb derer Materialabtrag stattfindet, wird<br />
folgender Zusammenhang zwischen dem Radius des Ablationsflecks � und der eingestrahlten<br />
Spitzenfluenz �� genutzt:<br />
��<br />
��<br />
�<br />
�<br />
���� � � � �� (01)<br />
Betrachtet man den Radius � ���, innerhalb dessen es zur Ablation kommt und für den gilt<br />
so gilt für alle � � � ���:<br />
� ����� ����<br />
Somit kann man auch schreiben:<br />
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� ��� � � �� ��� ���<br />
�<br />
J. Kleiner / Dr. G. Heise Seite 16<br />
(02)<br />
(03)<br />
� � � (04)<br />
Dieser Zusammenhang gilt bei gaußförmiger Intensitätsverteilung, das heißt für<br />
Laserstrahlen mit M � � 1 �2�. Weiterhin folgt:<br />
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(05)<br />
� (<strong>06</strong>)<br />
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