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Bachelorarbeit<br />
Diamantkristalle als<br />
Monochromatormaterial für<br />
Neutronenstreuinstrumente<br />
Autor: Axel Haunholter<br />
02.01.2014<br />
Erstprüfer: Herr Prof. Dr. Christian Alt<br />
Zweitprüfer: Herr Prof. Dr. Rolf Heilmann<br />
Betreuer am FRM II: Herr Dr. Peter Link<br />
Überprüfung des Reinigungsprozesses von möglich aktivierten Schichten. Genaue<br />
Untersuchung des (220)-Reflexes unter einem Azimut. Verifizierung der vorhandenen<br />
Röntgencharakterisierung der Krümmungsradien der Kristalle mit Hilfe von Neutronen.
Inhalt<br />
1.0. Einleitung ........................................................................................................................................ 3<br />
1.1 Stand der Forschung und Motivation zu den Untersuchungen an den Diamantkristallen<br />
............................................................................................................................................................. 3<br />
2.0. Grundlagen .................................................................................................................................... 5<br />
2.1 Das Neutron ................................................................................................................................ 5<br />
2.2. Die Forschungs-Neutronenquelle (FRM II) ........................................................................... 6<br />
2.3. Einkristalle als Monochromatoren für Neutronenstrahlen................................................... 7<br />
2.4 Herstellungsprozess der Diamanten ..................................................................................... 11<br />
3.0. Überprüfungen der Diamantkristalle auf Reste von Iridium ................................................. 15<br />
3.1. Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) ................................................................ 15<br />
3.2. Prompt-Gamma Activation Analysis (PGAA) ...................................................................... 15<br />
3.2.1. Experiment Aufbau .......................................................................................................... 16<br />
3.2.2. Messergebnisse ............................................................................................................... 18<br />
3.3. Neutron Activation Analysis (NAA) ....................................................................................... 20<br />
3.3.1. Experiment Aufbau .......................................................................................................... 20<br />
3.3.2. Messergebnisse ............................................................................................................... 20<br />
3.4. Zusammenfassung ................................................................................................................. 21<br />
4.0. Untersuchung von Diamantkristallen mit Neutronenstreuinstumenten .............................. 22<br />
4.1. Streuexperiment mit Diamantkristallen im weißen Strahl am Instrument Antares ........ 24<br />
4.1.1. Experiment Aufbau .......................................................................................................... 24<br />
4.1.1.1. Probenhalter mit Lineartisch ........................................................................................... 28<br />
4.1.1.2. Winkelkorrekturen ............................................................................................................ 30<br />
4.1.2. Messergebnisse ................................................................................................................... 31<br />
4.1.2.1. Intensitätsverlauf abhängig von der Wellenlänge ................................................... 31<br />
4.1.2.2. Fokussierende und defokussierende Eigenschaften der Diamanten ................... 33<br />
4.1.2.2.1 Untersuchung des Krümmungsradius für die fokussierende und<br />
defokussierende Wirkung .......................................................................................................... 34<br />
4.1.2.2 Vergleich von Hypothese und Messungen ................................................................ 36<br />
1
4.2. Messung der Reflektivität am Diffraktometer mit heißen Neutronen HEiDi ................... 38<br />
4.2.1. Experiment Aufbau .......................................................................................................... 38<br />
4.2.2. Messergebnisse ............................................................................................................... 39<br />
4.3. Interpretation ............................................................................................................................ 42<br />
Literaturverzeichnis ............................................................................................................................ 43<br />
Erklärung .............................................................................................................................................. 45<br />
Anhänge ............................................................................................................................................... 46<br />
2
1.0. Einleitung<br />
1.1 Stand der Forschung und Motivation zu den<br />
Untersuchungen an den Diamantkristallen<br />
Theoretische Überlegungen zeigen, dass Mosaikkristalle aus Diamant ein nahezu ideales<br />
Material als Monochromator für heiße und thermische Neutronenstrahlen wären (1) (2).<br />
Diese Erkenntnis führte zur Kooperation mehrerer Institute, zum Einen die<br />
Neutronenforschungszentren Institut Laue-Langevin in Grenoble und die Forschungs-<br />
Neutronenquelle Heinz Maier-Leibnitz (FRM II) in Garching, zum Anderen der Lehrstuhl für<br />
Experimentalphysik IV des Instituts für Physik an der Universität Augsburg, spezialisiert auf<br />
die Züchtung von Diamantmaterialien.FRM II Das Vorhaben wird durch den Bereich der<br />
Verbundforschung beim Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) im<br />
Förderbereich kondensierte Materie gefördert. Ziel ist es, einen Prototypmonochromator aus<br />
Diamantkristallen aufzubauen und diesen an einem Neutronendiffraktometer zum Einsatz zu<br />
bringen. Es wird im Vergleich zu bisher eingesetzten Monochromatormaterialien ein<br />
deutlicher Intensitätsgewinn erwartet. Dadurch kann das Signal-/Untergrundverhältnis bei der<br />
Messung mit dem Instrument verbessert, oder die Messzeit verkürzt werden (3) .<br />
An der Universität Augsburg werden Diamantkristalle mittels chemischem<br />
Dampfphasenabscheideverfahren (chemical vapour deposition - CVD) hergestellt. Die<br />
hergestellten Kristallplättchen haben typische Abmessungen von 15 x 15 x 1.5 mm 3 , die<br />
Flächennormale der Plättchen entspricht der (100) Kristallrichtung. Durch Stapeln von je 3<br />
Kristallen wurden insgesamt 16 Monochromatorelemente für einen ersten<br />
Prototypmonochromator (siehe Abbildung 1 b) aufgebaut. Erste Messungen mit diesem<br />
Monochromator-Prototypen ergaben jedoch bei den Wellenlängen von 0,5 Å und 0,8 Å nicht<br />
die erwartete Intensitätsverbesserung. Abbildung 1 a) zeigt den schematischen Aufbau des<br />
Instruments D9 am ILL in Grenoble an dem der Prototyp an der Position des bisherigen<br />
Monochromators aus Kupferkristallen eingesetzt wurde. Es wurden die Zählraten an zwei<br />
verschiedenen Positionen am Instrument verglichen: Am Monitorzähler vor der Probe und im<br />
Detektor nach Streuung an einer Standardprobe.<br />
Abbildung 1 a) Messaufbau am Instrument D9 ILL b) Getesteter Diamantprototyp mit 16<br />
Diamantstapeln (4) (5)<br />
3
Die Messergebnisse des Prototypmonochromators und des vergleichbaren<br />
Kupfermonochromators am D9 ILL sind in Tabelle 1 aufgeführt, sie zeigen einen<br />
Intensitätsgewinn mit einem Faktor von 1,12 für den mit C* gekennzeichneten<br />
Diamantmonochromator. Aus den theoretischen Überlegungen wird jedoch ein<br />
Intensitätsgewinn um einen Faktor zwei bis drei je nach Wellenlänge erwartet. Zusätzlich<br />
wird ersichtlich, dass der Gewinn der Intensität nicht von der Wellenlänge abhängt (4) (5).<br />
Material Cu C* Cu C*<br />
Wellenlänge 0,8 0,8 0,5 0,5 <br />
Intensität 488929 548068 422774 476621<br />
Gainfaktor 1,12 1,12<br />
Tabelle 1 Messwerte am Instrument D9 ILL (4)<br />
Der Prototypmonochromator wurde für circa 100 Tage am Instrument D9 ILL genutzt und<br />
dabei radioaktiv so stark aktiviert, dass eine Bearbeitung des Prototypen erst nach einer<br />
Wartezeit von mehr als einem Jahr möglich ist. Die unerwartet geringe Neutronenreflektivität<br />
und die unerwünschte Aktivierung geben den Anlass für eine weitere Untersuchung der<br />
einzelnen Kristalle, wie in der folgenden Arbeit beschrieben wird.<br />
Im ersten Teil muss die Herkunft und das Vermeiden der ungewollten Aktivierung durch<br />
Neutronen geklärt werden. Der zweite Teil behandelt die genauere Untersuchung der<br />
Reflektionseigenschaften der Kristalle und möglicher Ursachen für die zu geringe Intensität<br />
im Einsatz als Monochromator im Neutronenstrahl.<br />
4
2.0. Grundlagen<br />
2.1 Das Neutron<br />
Freie Neutronen sind ein ideales Werkzeug für viele verschiedene Instrumente. Hierbei kann<br />
die atomare, molekulare Struktur, sowie die dynamischen Eigenschaften der kondensierten<br />
Materie genauer erforscht werden. Fusion und Spaltung werden für eine effektive Produktion<br />
von freien Neutronen benutzt (6).<br />
Das Neutronenspektrum wird gewöhnlich in drei Intervalle unterteilt. Es gibt schnelle<br />
Neutronen mit einer Energie 1 , Neutronen mit einer mittleren Energie zwischen<br />
1 und 1 und langsame Neutronen mit einer Energie von 1 . Die langsamen<br />
Neutronen werden wiederrum unterteilt in epithermale 100 0,025 ,<br />
thermische 0,025 , kalte 25 0,05 , sehr kalte 0,05 <br />
0,0002 und ultrakalte Neutronen mit einer Energie von 2 10 . In Diagramm<br />
1 wird ein Überblick über die Klassifizierung der verschiedenen Neutronen vermittelt. Aus der<br />
Kernspaltung haben die Neutronen eine Energie von mehr als 2 , diese werden dann mit<br />
verschiedenen Moderatoren über Stoßprozesse verlangsamt. Am FRM II werden<br />
typischerweise langsame Neutronen eingesetzt. Entsprechend dem Welle Teilchen<br />
Dualismus kann einem Neutron eine Wellenlänge gemäß der Gleichung<br />
<br />
<br />
<br />
2 <br />
zugeordnet werden. bezeichnet dabei die Lichtgeschwindigkeit, das Planksche-<br />
Wirkungsquantum und die Ruhemasse des Neutrons.<br />
Abbildung 2 Einteilung der Neutronen nach ihrer Energie<br />
5
2.2. Die Forschungs-Neutronenquelle (FRM II)<br />
Die Forschungs-Neutronenquelle Heinz Meier-Leibnitz (FRM II) ist ein 20 MW Reaktor, der<br />
für die Gewinnung von freien Neutronen und ihre Nutzung für wissenschaftliche Experimente<br />
und industrielle Anwendungen gebaut wurde. Zur<br />
Erzeugung von Neutronenstrahlen verwendet der<br />
FRM II die Spaltung von 235 U mit thermischen<br />
Neutronen. Bei dieser Kernreaktion entstehen<br />
jeweils zwei bis drei schnelle Neutronen. Diese<br />
werden sowohl im Kühlwasser als auch im<br />
schweren Wasser des Moderatortanks<br />
abgebremst. Die so abgebremsten (moderierten)<br />
Abbildung 3 Prinzip der Kernspaltung (8) Neutronen spalten in einer kontrollierten<br />
Kettenreaktion weiteres Uran oder werden als<br />
Neutronenstrahlen genutzt. Das Energiespektrum der thermischen Neutronen kann durch<br />
eine Maxwell-Verteilung mit einer charakteristischen Temperatur von etwa 350 Kelvin<br />
beschrieben werden. Durch weitere Moderatoren, die als kalte Quelle und heiße Quelle<br />
bezeichnet werden, wird das Energiespektrum verschoben. Je nach Experiment werden<br />
nämlich verschiedene Wellenlängen benötigt, die ein unterschiedliches Spektrum<br />
voraussetzen. In der kalten Quelle ist dies flüssiger schwerer Wasserstoff bei 25 Kelvin und<br />
in der heißen Quelle Graphit bei 2273 Kelvin. Die Neutronen verändern ihre Geschwindigkeit<br />
durch Stöße an der kalten und heißen Quelle und damit ihre Energie. Mit den sogenannten<br />
Strahlrohren werden die Neutronen aus dem Inneren des Reaktors und seiner dicken<br />
Stahlbetonabschirmung geleitet. An den Strahlrohren sind die verschiedenen Instrumente<br />
zur Nutzung der Neutronenstrahlen aufgebaut. Mittels sogenannter Neutronenleiter - speziell<br />
beschichteter Gläser - können kalte und thermische Neutronen nahezu verlustfrei geleitet<br />
werden um weitere Instrumente auch in größerer Entfernung von der eigentlichen Quelle in<br />
der Neutronenleiterhalle zu realisieren. Ein Brennelement von acht Kilogramm U 3 Si 2 versorgt<br />
die Forschungseinrichtung 60 Tage mit Neutronen. Diese 60 Tage beschreiben einen<br />
Reaktorzyklus. Anschließend muss das Brennelement gewechselt werden, um einen neuen<br />
Zyklus zu starten. Neben der Untersuchung von verschiedensten Materialien mittels<br />
Neutronenstreuung, spielt am FRM II die Bestrahlung mit Neutronen zum Beispiel zur<br />
Dotierung von Silizium und der Gewinnung von Radiopharmaka, aber auch die direkte<br />
Tumortherapie durch Bestrahlung mit hochenergetischen Neutronen eine wichtige Rolle (7)<br />
(8).<br />
6
2.3. Einkristalle als Monochromatoren für Neutronenstrahlen<br />
Sehr oft wird an Neutronenstreuinstrumenten nur eine ausgewählte Wellenlänge oder<br />
Neutronenenergie benötigt und nicht das ganze Spektrum des Neutronenstrahls. Dabei<br />
kommen je nach Instrument verschiedene Verfahren zur Auswahl der Einfallsenergie der<br />
Neutronen zur Anwendung. Bei der Flugzeitmethode und bei der Nutzung von<br />
Geschwindigkeitsselektoren geschieht die Energieselektion auf Grund der<br />
Teilchengeschwindigkeit der Neutronen, also ihrer kinetischen Energie. Bei der Streuung<br />
eines Neutronenstrahls an einem (Monochromator-) Kristall macht man sich die<br />
Welleneigenschaften der Neutronen zu Nutze. Entsprechend der Bragg Gleichung wird für<br />
einen gegebenen Streuwinkel und eine Netzebenenschar eine Wellenlänge reflektiert. So<br />
kann aus einem Neutronenspektrum (weißen Strahl) die gewünschte Wellenlänge zu dem<br />
Instrument reflektiert werden.<br />
Bragg-Gleichung: 2 sin <br />
In Worten ausgedrückt beschreibt der Winkel die Orientierung des Kristalls im weißen<br />
Strahl und die Wellenlänge der reflektierten Neutronen. Der Netzebenenabstand des<br />
Kristalls wird mit € angegeben, wobei mit ‚) die Millerschen Indizes der betreffenden<br />
Netzebenenschar bezeichnet werden.<br />
Diamant im Speziellen weist eine hochsymmetrische kubische Struktur mit der Raumgruppe<br />
ƒ3„ auf. Für die Netzebenenabstände eines kubischen Systems mit der Gitterkonstante …<br />
gilt:<br />
<br />
…<br />
<br />
Ö † † ‚ <br />
Wenn wir die Bragg-Gleichung in Wellen-Vektoren schreiben, erhalten wir:<br />
‡ 2 ˆ‰Š <br />
wobei ‡ € ‹<br />
Œ<br />
‹<br />
Für die Verwendung als Monochromator sollte die Reflektivität eines Kristalls möglichst groß<br />
sein. Bei einem perfekten Kristall ist die Streubedingung nur für ein unendlich schmales<br />
Winkelintervall erfüllt. Für das Erzielen einer großen Reflektivität wird besser ein<br />
Mosaikkristall benutzt. Dieser Kristall besteht aus vielen kleinen, perfekten Kristallen mit<br />
einer relativen Fehlorientierung zueinander. In einer vorgegebenen Richtung wird die<br />
Ausrichtung des Kristallits relativ zum Mittelwert mit Ž bezeichnet. In der Regel wird eine<br />
Gauß-Funktion Ž angenähert mit einer Breit von :<br />
Ž 1<br />
Ö2‘<br />
’“<br />
” “<br />
Bei Experimenten ist es üblich, die Breite der Verteilung bei der halben Intensität zu messen.<br />
Dies wird in der Technik als full-width at half-maximum (FWHM) bezeichnet, wobei<br />
ƒ • 22‚Š2 entspricht. Wenn im Folgenden von gesprochen wird, ist die Breite<br />
mit der (FWHM) gleichzusetzen. Ein Mosaikkristall wird auch als unvollkommener Kristall<br />
bezeichnet. Wenn die Absorption vernachlässigbar klein ist, spricht man von einem idealen,<br />
unvollkommenen Kristall.<br />
7
Die Reflektivität eines solchen Kristalls wird mit der kristallographischen Größe – —<br />
beschrieben.<br />
–˜ <br />
ƒ š<br />
<br />
› ˆ‰Š2Q <br />
Hierbei ist › das Einheits-Zellvolumen. Diesem entspricht<br />
Zellen pro 1 ist. ƒ š ist der statische Kernstrukturfaktor,<br />
œ<br />
š , wobei ž˜ die Anzahl der<br />
ƒ š Ÿ ¡ ¢£ ¤<br />
wobei die Summe über alle Atome in der Einheitszelle gebildet wird. ¡ ist die<br />
Streuungslänge und £ ¡ beschreibt die Position von jedem j-tem Atom in der Elementarzelle.<br />
Die integrierte Reflektivität eines sehr kleinen, perfekten Kristalls ist bei einem<br />
monochromatischen Strahl proportional zu – — ¥.<br />
Für einen großen, flachen Mosaikkristall mit der Dicke ¦ , kann die Peak-Reflektivität durch<br />
¡<br />
§¨ § <br />
1 † § <br />
§ <br />
– — ¦ <br />
Ö2‘ ˆ‰Š2Q <br />
angegeben werden.<br />
Wenn §
teuer in der Herstellung. Beryllium ist im Prinzip eines der besten Materialien, es verfügt über<br />
einen großen Streuquerschnitt für Neutronen und eine kleine Einheitszelle. Das Material wird<br />
bei Instrumenten eingesetzt, die einen möglichst großen Wert benötigen. Die Toxizität<br />
erschwert jedoch die Herstellung geeigneter Kristalle erheblich. Kupfer besitzt, wie auch<br />
Beryllium, einen großen reziproken Gittervektor, so dass dieses Material bei Energien über<br />
¬ 50 zum Einsatz kommt.<br />
Silizium und Germanium besitzen eine Diamant-Struktur. Diese werden meistens bei der<br />
(111)-Reflexion eingesetzt, um die gewünschte Wellenlänge zu erzeugen. Vorteil ist hier,<br />
dass die unerwünschte Wellenlänge /2 nicht gestreut wird, da der (222) Reflex in der<br />
Diamant Struktur ausgelöscht ist. Jedoch können immer noch Neutronen mit /3<br />
Wellenlänge an der (333) Ebene reflektiert werden. Die Energie entspricht dem Neunfachen<br />
der eigentlichen Energie der genutzten Neutronen. Typischerweise werden Silizium und<br />
Germanium bei thermischen, moderierten Neutronen eingesetzt, bei diesen ist die Intensität<br />
der Neutronen mit einer Wellenlänge von /3 relativ gering.<br />
Das etablierte Material für kalte Neutronen ist Highly Ordered Pyrolytic Graphite (HOPG). Es<br />
besitzt eine hohe Reflektivität und eine typische Mosaikbreite von 0,4°.<br />
Bei einem Spektrometer ist nicht nur die maximale Reflektivität wichtig, sondern auch die<br />
Winkelbreite der Reflektion, die durch die Mosaizität des gewachsenen Kristalles bestimmt<br />
ist. Beim normalen Wachstumsprozess ist die Kristallstruktur in der Regel zu perfekt und<br />
weist eine zu geringe Mosaizität auf, wodurch die integrierte Intensität sehr gering ist.<br />
Mehrere Forschergruppen haben sich in der Vergangenheit mit der Aufgabe beschäftigt, die<br />
Mosaizität kontrolliert zu beeinflussen. Fortschritte erzielte A. Freund am ILL. Bei dieser<br />
Methode werden Versetzungen durch eine Verformung nahe des Schmelzpunktes<br />
produziert, die zu Spannungen im Kristall führen. Diese Netzebenen sind nach der<br />
Gaußschen-Normalverteilung verkippt (10). Ein anders Verfahren erzeugt Kristalle mit einer<br />
anisotropen Mosaikstruktur. Die in der Regel 0,3 mm dicken Kristalle werden erhitzt und<br />
wiederholt deformiert und abgeflacht. Dieser Prozess wurde mit Silizium- und<br />
Germaniumkristallen erfolgreich durchgeführt. Ergebnis war ein doppelt so großes<br />
Reflexionsvermögen (11).<br />
Tabelle 2 zeigt typische Kristallmaterialien mit Ihren spezifischen Konstanten. Besonders<br />
wichtig ist die letzte Spalte diese gibt die Peak-Reflektivität wieder (1).<br />
9
Es bestehen Möglichkeiten den Neutronenfluss zu erhöhen. Zum einen können Kristallstapel<br />
hergestellt werden. Einzelne Kristall werden übereinander ausgerichtet und dann<br />
miteinander verklebt. Mehrere Kristalle aufeinander werden auch als Stack bezeichnet.<br />
Bei Neutronen ist die Quelle viel größer als bei der Röntgenstrahlung, daher können<br />
Neutronen fokussiert werde. Erste Erfahrungen auf dem Gebiet der Fokussierung wurden<br />
von Heinz Maier Leibnitz gesammelt (12) (13). (14)<br />
10
Die Mosaikstruktur ist eine Größe der verkippten Kristalliten. Ein Kristall besteht aus<br />
tausenden solcher kleinen Kristallitblöcken. Die Kristalle sind in einem Mehrschichtsystem<br />
aufgebaut, das durch chemische Dampfphasenabscheideverfahren (CVD) realisiert wird.<br />
2.4 Herstellungsprozess der Diamanten<br />
Mittels der chemischen Gasphasenabscheidung (Chemical vapor deposition CVD) werden<br />
die Diamanten hergestellt. Hierbei handelt es sich um ein Niedrigdruckverfahren, im<br />
Gegensatz zur Herstellung normaler Industriediamanten, die bei hohen Drücken produziert<br />
werden. Für die Herstellung einkristalliner Diamantschichten gibt es zwei unterschiedliche<br />
Ansätze: Homoepitaxie und Heteroepitaxie. Hierbei bedeutet Epitaxie, dass der Kristall auf<br />
einem Substrat aufwächst und mindestens eine Orientierung des Substrates annimmt. Die<br />
Suche nach einem geeigneten Fremdsubstrat stellte hierbei eine große Herausforderung<br />
dar. Erst mit Iridium war ein Substrat verfügbar, das einen hohen Orientierungsgrad (damit<br />
eine geringe Mosaikbreite) mit dem Potential der Hochskalierbarkeit verband. Erste<br />
Versuche zu Diamant/Iridium Schichten machte die Universität Augsburg 1996 (15). Seitdem<br />
wurden die Herstellungsprozesse stetig verbessert. Erste Erfolge mit Diamantkristallen und<br />
(001) Orientierung wurden erzielt (16). In Abbildung 3 wird der Herstellungsprozess des<br />
Diamanten genau beschrieben und das Multischichtsystem mit der Zusammensetzung von<br />
Ir/YSZ/Si (100) schematisch skizziert. Als Trägermaterial wird ein Silizium Wafer mit 100mm<br />
Durchmesser benutzt. Beim ersten Schritt wird epitaktisches Yttriumoxid-stabilisiertes<br />
Zirkondioxid (YSZ) mittels Laserablation, im Englischen bekannt als pulsed laser deposition<br />
(PLD), auf die Siliziumscheibe aufgebracht. Beim Laserstrahlverdampfen wird das Substrat<br />
mittels des Laserstrahls so stark erhitzt, das ein Plasma entsteht, welches sich kontinuierlich<br />
auf den Siliziumwafer abscheidet. Bei hohen Prozessdrücken können selbst Atomgruppen,<br />
auf das Target abgeschieden werden. Die Iridiumschicht wird durch das Verfahren des<br />
Elektronenstrahlverdampfens auf die (YSZ) Schicht aufgetragen. Hierbei ist das Medium<br />
nicht wie vorher ein Laser, sondern beschleunigte Elektronen, die genügend Energie<br />
besitzen, um Atome aus dem Festkörper zu schlagen und wiederum ein Plasma zu<br />
erzeugen, welches eine kontinuierliche Abscheiderate zulässt. Laserstrahlverdampfen sowie<br />
Elektronenstrahlverdampfen werden im Vakuum und unter einer Stickstoffschutzatmosphäre<br />
vollzogen. Bei der epitaktischen Keimbildung entstehen gleichmäßig verteilte<br />
Kohlenstoffatome, die als ausgerichtete Keime für die höheren Kristallschichten dienen (17).<br />
11
Abbildung 3 Überblick des Herstellungsprozesses des Diamanten und fertiger Aufbau<br />
1 Schritt: Orientierter Siliziumwafer<br />
2 Schritt: Laserstrahlverdampfen von Yttriumoxid-stabilisierten Zirkondoxid<br />
3 Schritt: Aufbringen von Iridium mittels Elektronenstrahlverdampfen<br />
4 Schritt: Wachstum der Diamantschicht<br />
5 Schritt: Zerschneiden mit Hilfe eines Laserstrahls<br />
6 Schritt: Charakterisierung mit Röntgenstrahlen<br />
7 Schritt: Auswahl von geeigneten Kristallen<br />
12
In der Abbildung 4 sind die Diamantwachstumskeime als helle Flecken zu erkennen, diese<br />
geben für das weitere Wachstum die Orientierung vor. In Abbildung 5 sind die Diamantkeime<br />
in Phase eins zu erkennen. Wenn das Wachstum voran geschritten ist, bei etwa 10,<br />
entstehen individuelle Kristalle, die durch Korngrenzen voneinander getrennt sind. Im letzten<br />
Stadium der Diamantbildung treten Einkristalle mit kurzen Defektbändern auf. Über eine<br />
Größe von 30 wachsen die Kristalle einkristallin. Um die Dimensionen in Relation zu<br />
setzten eine kurze Veranschaulichung: Der fertige Kristall weist eine Höhe von circa 1000<br />
auf und die einkristalline Schicht beginnt bei 30. Dies zeigt, dass der Kristall zum deutlich<br />
überwiegenden Teil einkristallin aufgebaut ist. Anschließend werden die Kristalle quadratisch<br />
geschnitten und mit Röntgenstrahlung untersucht.<br />
Abbildung 4 Bild eines Rasterelektronenmikroskop von Diamantkeimen auf einem Mo Substrat<br />
(18)<br />
Abbildung 5 Verschiedene Phasen des Diamantwachstum<br />
13
Es stellt sich heraus, dass die Kristalle in beide Richtungen gekrümmt sind. Hierbei bewegen<br />
sich die durchschnittlich hergestellten Diamanten in den Krümmungsradien von fünf bis zehn<br />
Metern. In Abbildung 6 wird die Problematik mit extremen Radien veranschaulicht.<br />
Abbildung 6 Diamantkristall mit zwei entgegengesetzten Krümmungsradien mit blauen Linien<br />
erkenntlich<br />
Durch die immer verschiedenen Radien der Diamanten können sie nicht ohne weitere<br />
Messungen aufeinander geklebt werde. Die Kristalle müssen anhand der Reflexe<br />
ausgerichtet werden. Am Institut Laue-Langevin wurden die Kristalle mit Hilfe eines<br />
Roboterarms, der sechs Freiheitsgrade besitzt, aufeinander gesetzt. Wenn die passende<br />
Position erreicht wird kann der Kristallstapel miteinander verklebt werden.<br />
14
3.0. Überprüfungen der Diamantkristalle auf Reste von<br />
Iridium<br />
Im Herstellungsprozess sind Silizium, Yttriumoxid, Iridium und Kohlenstoff enthalten. Nach<br />
dem chemischen Ablösen des Siliziumsubstrats werden die Kristalle poliert, um sie von<br />
Resten der Herstellungsschichten zu befreien. Es liegt der Verdacht nahe, dass sich noch<br />
Reste von Iridium im oder auf dem Diamanten befinden. Dies würde die am<br />
Prototypmonochromator im Einsatz beobachtete starke Aktivierung erklären. Für die<br />
Verwendung als Monochromatorkristalle muss das Iridium vollständig entfernt werden, dabei<br />
soll natürlich so wenig wie möglich des Diamantkristalls abgetragen werden.<br />
Untersucht wurden im Folgenden zum einen Kristalle die exakt den gleichen<br />
Produktionsprozess durchlaufen hatten, wie diejenigen des Prototypmonochromators<br />
(poliert), zum anderen wurden Kristalle durch Schleifen mit einer Diamantscheibe weiter<br />
gereinigt (geschliffen). Um sicher zu stellen, dass der Reinigung sprozess des Diamanten<br />
erfolgreich ist, muss dieser überprüft werden.<br />
3.1. Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)<br />
Bei der Oberflächenuntersuchung mit Rutherford-Backscattering werden hochenergetische<br />
Ionen, meistens Wasserstoff oder Helium, auf eine Probe geschossen. Ein Detektor misst<br />
die elektrische Energie, welche die gestreuten Ionen hervorrufen. Die Rückstreuungsenergie<br />
hängt von der Masse des getroffenen Atoms und dem Einfallswinkel auf den Detektor ab.<br />
Mit dieser Methode konnten auf den polierten Kristallen zwar keine vollständigen<br />
Iridiumschichten festgestellt werden, jedoch war Iridium selbst deutlich nachweisbar. Dies<br />
deutet auf inselförmige Oberflächenschichten oder eingelagerte Iridiumatome hin. Die<br />
Ergebnisse sind nur qualitativ, aber nicht quantitativ. Mit dem RBS konnte die Iridiummasse<br />
auf den Diamantkristallen nicht bestimmt werden und daher ist die Methode für die<br />
Überprüfung des Reinigungsprozesses nicht aussagekräftig.<br />
3.2. Prompt-Gamma Activation Analysis (PGAA)<br />
Das Neutron besitzt keine elektrische Ladung. Die Neutronen können daher weit in das zu<br />
untersuchende Material eindringen. Die PGAA ist so für eine zerstörungsfreie Untersuchung<br />
der Probe geeignet. Neutronen mit einer Energie von kleiner als 1eV und einem<br />
nennenswerten Wirkungsquerschnitt für Neutronen gehen einen Neutroneneinfang ein. Bei<br />
der Aufnahme des Neutrons in den Kern wird eine für das Isotop typische Strahlung mit einer<br />
spezifischen Wellenlänge frei, die Rückschlüsse auf die Elemente der Probe zulassen. Diese<br />
erste γ-Strahlung wird PGAA genannt. Nach einer vom Element abhängigen Zeit wird ein β - ,<br />
β + oder ein α-Teilchen emittiert, die wiederum über eine typische Wellenlänge verfügen. Bei<br />
dieser Kernreaktion werden neben γ-Strahlung je nach Stoff Elektronen, Positronen oder<br />
Helium ausgesendet. Das Messen der sekundären γ-Strahlung wird „Neutron Activation<br />
Analysis“ (NAA) genannt. In Abbildung 7 wird nochmal verdeutlicht, wie der<br />
Neutroneneinfang für ein Element aussieht, der anschließend mit einem β - Zerfall verläuft.<br />
15
Abbildung 7 Neutroneneinfang eines Kernes und seine Reaktion<br />
Bei einem Blick auf eine Nuklidkarte ist zu erkennen, dass die meisten stabilen Elemente bei<br />
einem Neutroneneinfang anschließend mit einem β - -Zerfall reagieren. Das PGAA Spektrum<br />
reicht gewöhnlich von 50 keV bis zu 11 MeV. Die Anzahl der γ-Linien für ein Element kann<br />
bis zu eintausend betragen. Um also eine Probe auszuwerten werden zwei bis fünf der<br />
stärksten charakteristischen Linien genommen. Das Auswerten einer Messung von einer<br />
Probe kann sich bei vielen Elementen als schwierig herausstellen. Die typischen Spektren<br />
können in Tabellenwerken nachgesehen werden und dienen dem Vergleich. Um quantitative<br />
Aussagen über die PGAA-Messung machen zu können wird eine Eichmessung vollzogen.<br />
Bei der Kalibrierung wird ein Element mit einer ähnlichen Matrix und bekannten<br />
Zusammensetzung genommen und mit den späteren Messungen verglichen.<br />
3.2.1. Experiment Aufbau<br />
Ein abgeschliffener Kristall und ein nur polierte Kristall wurden mittels der PGAA untersucht.<br />
Die verwendeten Kristalle waren:<br />
Der polierte Kristall mit der Kristallnummer #172_1<br />
Der abgeschliffene Kristall mit der Kristallnummer #250_2<br />
16
Abbildung 8 PGAA Instrument am FRM II a) Foto des Instrument b) Schema des Instrument (6)<br />
Die Messungen der beiden Diamanten werden mittels des PGAA Instrumentes am FRM II<br />
durchgeführt. Abbildung 8 zeigt ein Bild des Messaufbaus. Hierbei treffen die Neutronen auf<br />
die Kristalle. Detektoren messen die emittierte Gammastrahlung.<br />
Die Kristalle wurden fünf Stunden mit einem Neutronenfluss von 4 10 <br />
durchschnittlichen Wellenlänge von 6,5 mit einem kalten Spektrum bestrahlt.<br />
<br />
<br />
und mit einer<br />
17
3.2.2. Messergebnisse<br />
Der Grüne (untere) Graph beschreibt den abgeschliffenen Kristall. Die blaue (obere) Linie ist<br />
der lediglich polierte Diamant. In Abbildung 9 wurden die Gammastrahlungslinien der<br />
wichtigsten Elemente eingetragen. Hierbei ist zu erwarten, dass sich C, Y, Si, Zr vom<br />
Herstellungsprozess in den beiden Proben befindet. Die Lage der Graphen ist verschieden,<br />
da die Kristalle nicht exakt dieselbe Masse besitzen. Im Diagramm werden die Daten für eine<br />
bessere Übersicht nicht exakt übereinandergelegt.<br />
Abbildung 9 PGAA Energiespektrum des polierten und des geschliffenen Kristalls. Die<br />
Energien der Elemente wurden in der Abbildung benannt.<br />
Die wichtigsten Iridiumgammalinien finden sich im Energieintervall von circa 50 bis<br />
400. Dieses Iridiumintervall ist in Abbildung 10 veranschaulicht. Es ist deutlich zu<br />
erkennen, dass die geschliffene Probe keine Iridium-Peaks aufweist und die nur polierte<br />
Probe deutlich diese die Energielinien zeigt.<br />
18
Abbildung 10 Ausschnitt aus dem PGAA Energiespektrum von 50keV bis 400keV, mit den<br />
typischen Iridiumlinien<br />
Polierte Probe<br />
Geschliffene Probe<br />
Z Element M <br />
1 H 1,008 2,01E-5 7,18E-8<br />
5 B 10,81 - 1,33E-8<br />
6 C 12,01 0,47 0,503<br />
14 Si 28,09 7,95E-5 -<br />
17 Cl 35,45 1,34E-6 3,05E-7<br />
26 Fe 55,85 5,20E-6 -<br />
39 Y 88,91 2,96E-4 -<br />
40 Zr 91,22 4,62E-5 -<br />
77 Ir 192,2 7,95E-5 -<br />
Tabelle 3 Quantitativewerte der PGAA Messung<br />
Die Tabelle 3 zeigt die Ergebnisse der PGAA-Messung. Das Iridium ist bei der geschliffenen<br />
Probe nicht mehr nachzuweisen. Chlor kann durch eine Verunreinigung der Hände auf die<br />
Probe gelangt sein. Eisen trat in der polierten Probe mehr als in der geschliffenen auf. Die<br />
Nachweisgrenze der PGAA liegt bei Iridium bei einem Atom pro zwei Millionen Atome(0,5<br />
19
ppm). Es konnte nachgewiesen werden, dass mit dem Schleifprozess die Iridiumschicht<br />
deutlich verringert wurde.<br />
Zwanzig Tage nach der Messung am PGAA Instrument wurde vom Strahlenschutz eine<br />
Gammaspektroskopie durchgeführt, die Messungen für die beiden Kristalle sind in Tabelle 4<br />
illustriert.<br />
Polierte Probe<br />
Geschliffene Probe<br />
Z El Aktivität Aktivität<br />
77 Ir 3760 Bq 2,2E-3 Bq<br />
Tabelle 4 Gammaspektroskopie nach 20 Tagen. Es ist ein Unterschied in der Größenordnung<br />
von 1E6 zu erkennen.<br />
Die Aktivität der beiden Proben unterscheiden sich um einen Faktor von 1 10 .<br />
3.3. Neutron Activation Analysis (NAA)<br />
Bei der PGAA wurde die Gammastrahlung beim Neutroneneinfang gemessen. Bei der<br />
Neutronenaktivierungsanalyse wird die sekundäre Gammastrahlung beim<br />
elementspezifischen Zerfall ermittelt, vergleiche hierzu Abbildung 7. Die NAA ist für<br />
Elemente mit einer großen Halbwertszeit genauer, jedoch wird bei den<br />
Sekundärengammalinien mit einem größeren Neutronenfluss gearbeitet. Üblicherweise wird<br />
zuerst eine PGAA vorgenommen, um sicher zu stellen, dass die Kristalle bei den Messungen<br />
nicht zu hoch aktiviert werden.<br />
3.3.1. Experiment Aufbau<br />
Hierbei wird eine Plastikkapsel mit fünf zufällig ausgewählten Diamantproben bestückt und<br />
direkt im Moderatorbecken positioniert. Die Bestrahlungszeit lag bei 10 Minuten bei einem<br />
Neutronenfluss von 4 10 <br />
.<br />
3.3.2. Messergebnisse<br />
Iridium [] Die fünf abgeschliffenen Proben variieren von 100 bis 1 . Legt<br />
man eine Höchstmenge von 1 pro Diamantkristall zugrunde, so liegt<br />
700<br />
die erwartete Dosisleistung durch die Aktivierung nach zehn<br />
900 Reaktorzyklen à 60 Tagen im Neutronenstrahl eines typische<br />
Streuinstruments wie zum Beispiel dem Diffraktometer HEiDi zu<br />
250<br />
Grunde einen Diamantmonochromator deutlich niedriger als 1. Es<br />
130 kann also bereits jetzt davon ausgegangen werden, dass der<br />
Abschleifprozess von Iridium ausreichend ist.<br />
115<br />
20
3.4. Zusammenfassung<br />
192 Ir ist auch auf den abgeschliffenen Diamanten noch nachzuweisen, jedoch vermindert der<br />
Schleifprozess die Iridiummasse drastisch um den Faktor 10 . Anhand von<br />
Überschlagsrechnungen zeigt sich, dass ein Diamantmonochromator mit solch einer<br />
geringen Masse von Iridium keine nennenswerte Aktivierung aufweisen wird. Mit Hilfe der<br />
NAA können zehn Proben mit einem relativ geringen Aufwand gleichzeitig untersucht<br />
werden. Daher kann der Schleifprozess gut stichprobenartig anhand der NAA kontrolliert<br />
werden.<br />
21
4.0. Untersuchung von Diamantkristallen mit<br />
Neutronenstreuinstumenten<br />
Der Monochromator-Prototyp am Instrument D9 ILL zeigte leider nicht die erwartete<br />
Performance, bei einer Wellenlänge von 0,5 Å und 0,8 Å erreichte er nicht die gewünschte<br />
Intensität. Dennoch zeigten alle bisherigen Untersuchungen einzelner Kristalle die<br />
vorausgesagten Eigenschaften bezüglich ihrer Reflektivität (1) (2). Zur Erklärung der<br />
fehlenden Intensität kommen verschiedene Ursachen in Frage: Bei nahezu perfekten<br />
Kristallen könnte Mehrfachstreuung auftreten. Eine andere mögliche Erklärung für die<br />
fehlende Intensität könnte auf der geometrischen Abweichung der Einzelkristalle von einem<br />
ebenen Plättchen beruhen..<br />
Schon 1937 berichtete Renninger vom Phänomen der sogenannten Umweganregung an<br />
perfekten Kristallen (19). Durch mehrfache Streuung beim Durchgang durch den Kristall<br />
(„Umwege“) können einerseits Reflexe, die durch die Kristallsymmetrie eigentlich nicht<br />
erlaubt, also ausgelöscht sind, trotzdem auftreten, andererseits kann die Intensität starker<br />
Reflexe deutlich vermindert sein. Dieses Phänomen wurde bei Messungen mit<br />
Röntgenstrahlung beobachtet, ist aber nicht prinzipiell auf diese beschränkt. Die<br />
Einflussgrößen sind die Kristallgröße und die Kristallgüte. Daher tritt dieses Phänomen nicht<br />
bei Pulverproben auf sondern nur bei größeren, nahezu perfekten Kristallen, wie es unserer<br />
Problematik entspricht. Diese Mehrfachstreuung könnte also ein Grund der verringerten<br />
integralen Intensität sein. .<br />
Zur Verdeutlichung ist in Abbildung 11 eine Ewaldkonstruktion für die in unserem Fall<br />
verwendete Streuebene des Diamantgitter angefertigt. Für die Ewaldkonstruktion wird die<br />
durch die beiden reziproken Richtungsvektoren und aufgespannte Ebene mit<br />
den darin eingetragenen Gitterpunkten aufgezeichnet. Die Streubedingung ist erfüllt für<br />
Gitterpunkte die auf einem Kreis mit dem Radius des Betrags des Wellenvektors liegen, der<br />
zugleich durch den Ursprung des reziproken Gitter verläuft. Man erkennt zum Beispiel für<br />
den Kreis der einer Wellenlänge von 0,84 Ǻ entspricht, dass dieser weitere Gitterpunkte<br />
berührt, hier ist also die Bragg-Bedingung mehrfach erfüllt. Um diese Erklärung experimentell<br />
zu überprüfen, soll der Kristall in einem polychromatischen Neutronenstrahl untersucht<br />
werden, also letztlich die Intensität eines starken Gitterreflexes abhängig von der<br />
Wellenlänge untersucht werden.<br />
22
Abbildung 11 Ewaldkonstruktion für C*(220) und C*(400) für typische Wellenlängen<br />
Wenn keine Mehrfachstreuung auftritt, sollte die Auswertung eine kontinuierlich steigende<br />
Kurve ergeben, die im Wesentlichen von der Primärstrahlintensität , also dem Spektrum der<br />
Neutronen am Instrument herrührt. Schwächungen des untersuchten Reflexes durch<br />
Mehrfachstreuung sollten als Einbrüche im Kurvenverlauf sichtbar werden. Für unseren<br />
Zweck sehen wir uns den starken (220)-Reflex an, da dieser auch beim Prototypen am<br />
Instrument D9 in Transmissionsgeometrie genutzt wurde und durchlaufen die verschieden en<br />
Wellenlängen.<br />
~ <br />
Die Funktion , die wir aus der Messung erwarten, muss vom Primärfluss abhängen,<br />
die der Maxwell-Bolzmann-Verteilung am Instrument entspricht. Unter anderem spielt die<br />
Neutronenreflektivität des Diamanten in die Messung mit ein und eine geometrische<br />
Winkelkorrektur , denn die Kristalle konnten, bedingt durch ihre Krümmung, nicht exakt<br />
auf die Aluminiumfahne aufgeklebt werden. Die Kristalle sind zueinander verkippt und jeder<br />
Kristall reflektiert bei der Messung eine geringfügig andere Wellenlänge.<br />
23
4.1. Streuexperiment mit Diamantkristallen im weißen Strahl am<br />
Instrument Antares<br />
4.1.1. Experiment Aufbau<br />
Am FRM II bietet das Instrument Antares die Möglichkeit das Experiment durchzuführen.<br />
Antares ist grundsätzlich bei den bildgebenden Verfahren einzuordnen. In der Regel wird es<br />
für Radiographie und Tomographie Experimente mit kalten Neutronen genutzt. Durch die<br />
geräumige Probenkammer erlaubt das Instrument für das hier beschriebene Experiment den<br />
notwendigen zusätzlichen Aufbau vorzunehmen. Bei der Messung am Instrument Antares<br />
blicken wir auf die kalte Quelle, daher ist das Spektrum zu Gunsten der langsamen<br />
Neutronen verschoben, vergleichen wir hierzu Abbildung 12. Die schwarze Linie zeigt uns<br />
den Neutronenfluss, abhängig zur Wellenlänge. Es darf eine Maxwell-Boltzmann-Verteilung<br />
angenommen werden, deren Maximum bei ca. 1,2 Ǻ liegt. Der Neutronenfluss fällt zu kleinen<br />
Wellenlängen hin stark ab. Im Wellenlängenbereich von 0.5 Å bis 1 Ǻ sollte bei unseren<br />
Messungen die Intensität mit zunehmender Wellenlänge stetig zunehmen<br />
Abbildung 12 Neutronenfluss am Instrument Antares abhängig von der Wellenlänge für<br />
verschiedene Filter, die Messung hier wurde ohne Filter durchgeführt.<br />
Der Durchmesser des Neutronenstrahls kann verschieden groß gewählt werden, jedoch<br />
maximal 40 cm x 40 cm Strahlquerschnitt.<br />
Bei Antares kommt ein Flächendetektor für Neutronen zum Einsatz. Vereinfacht formuliert<br />
verwandelt der Detektor die auftreffenden Neutronen über einen speziellen Kristall, der Li als<br />
Neutronenabsorber enthält (Szintillator) in Licht um. Dieses wird mittels zweier Spiegel<br />
umgelenkt und trifft auf eine durch ein Peltierelement gekühlte CCD-Kamera. Die optische<br />
Ablenkung des Lichtstrahls hat den Sinn, dass die Kamera nicht im direkten Neutronenstrahl<br />
steht, wo auch ein hoher γ-Fluss herrscht. Dies würde die Kamera langfristig zerstören und<br />
auch Bauteile radioaktiv aktivieren. Die Bleiabschirmung um die Kamera hindert die γ -<br />
Strahlung daran, auf den CCD-Chip der Kamera zu treffen. Zusätzlich ist der Detektor mit<br />
Borcarbid-Matten umhüllt. Das Bor hat einen hohen Neutroneneinfang und schirmt die Box<br />
24
vor Neutronen ab. Um die Kamera vollständig vor der γ -Strahlung zu schützen, werden sehr<br />
dicke Bleiwände benötigt. Blei hat jedoch eine sehr hohe Dichte ρ=11,34 kg∙dm -3 . Daher<br />
muss ein Konsens zwischen Handling und Messgenauigkeit getroffen werden.<br />
Abbildung 13 Antares Instrument am FRM II mit eingezeichneten Experiment Aufbau Ort(8)<br />
25
Abbildung 14 Experimentaufbau mit Objektbeschreibung a) Schräge Ansicht mit Schnitt b)<br />
Draufsicht<br />
In Abbildung 14 ist der Weg der Neutronen im Experiment nochmal veranschaulicht<br />
dargestellt. Der an den Probenkristallen reflektierte Strahl wird am Szintillator teilweise zu<br />
Licht umgewandelt. Der transmittierte Strahlanteil läuft weiter, bis er an einer Abschirmung<br />
des Instruments vollständig absorbiert wird. Das umgewandelte Licht wird mit Hilfe von zwei<br />
Spiegeln in die CCD-Kamerabox geleitet. In der Abbildung 14 a) ist nur die Rundöffnung für<br />
die Fokussierung der Kamera zu erkennen, jedoch nicht die Kamera selbst.<br />
Abbildung 15 Bild des Messaufbaus mit eingetragenen Bezeichnungen<br />
26
Abbildung 16 Bewegungsrichtungen des Experiment Aufbaus a) Schräge Ansicht b) Draufsicht<br />
Die Detektorbox ist auf einem xyz-Tisch montiert, der mit einem zusätzlichen Drehtisch<br />
ausgestattet ist, um eine Drehbewegung zu ermöglichen (vergleiche Abbildung 16, mit roten<br />
Pfeilen markiert). Die möglichen Bewegungen der Kristalle sind mit blauen Pfeilen<br />
eingezeichnet und beschreiben den Fahrweg, den sie nehmen können. Der Lineartisch kann<br />
nach Belieben verschiedene Diamanten in die vertikale Drehachse des darunter aufgebauten<br />
Drehtisches fahren. So muss der Neutronenstrahl nicht abgeschaltet werden um von Hand<br />
die Kristalle in den Strahl zu drehen. Der Schwerpunkt des Detektors wird in der Nähe des<br />
Drehtisches befestigt, da der gesamte Aufbau des Versuches um die 350 kg wiegt. Die<br />
Bleiabschirmung der Detektorbox ist die größte Masse und könnte beim falschen Anbringen<br />
den Drehtisch zerstören. Daher wurde der Schwerpunkt vorher bestimmt und auf das<br />
Drehzentrum montiert. Die Diamanten können zehn, zwanzig und dreißig Zentimeter vom<br />
Szintillator entfernt befestigt werden.<br />
Abbildung 17 Bild des gesamten Messaufbaus und eingezeichneter polychromatischer<br />
Neutronenstrahl<br />
27
4.1.1.1. Probenhalter mit Lineartisch<br />
Als Vorbereitung für das orientierte Aufkleben von mehreren Kristallen auf einen<br />
gemeinsamen Träger, wie es für den Einsatz als Monochromator nötig ist, wurde ein<br />
Probenhalter mit einer Verschiebeeinheit konzipiert. Der Halter bietet die Möglichkeit, drei<br />
Diamanten gleichzeitig nebeneinander zu montieren. In Abbildung 18 sind die drei<br />
rechteckigen Aussparungen zu erkennen, die jeweils einen Millimeter tief sind. Die Fahne ist<br />
aus Aluminium gefertigt. Aluminium ist als Trägermaterial geeignet, weil es einen geringen<br />
Neutroneneinfangsquerschnitt besitzt und sich im Neutronenstrahl wegen der schnellen<br />
Abklingzeit nur kurz aktiviert. Die Kristalle werden mit Hilfe von Carnaubawachs befestigt.<br />
Der Tropfpunkt des Wachses liegt zwischen 81 und 86 °C und kann mittels Lötkolben und<br />
Heißluftföhn auf Verarbeitungstemperatur gebracht werden. Da der Rohstoff Diamant der<br />
beste Wärmeleiter der Natur ist, muss der Diamant mit dem Wachs auf ungefähr 90°C erhitzt<br />
werden. Mit dieser Methode des Befestigens können verschiedenste Diamanten montiert<br />
und gleichzeitig zerstörungsfrei demontiert werden. In Tabelle 5 ist die Anordnung der<br />
Kristalle bei den verschiedenen Messungen zu erkennen. Die Positionen A, B und C sind<br />
aus der Abbildung 18 zu entnehmen.<br />
Abbildung 18 Diamanthalter und Ausrichtung der Kristallen zu Ihrer Netzebene<br />
Diamantenanordnung Position A Position B Position C Winkel<br />
1 Messung - Unten: 250-2<br />
- 46° - 60°<br />
Oben: 250-1<br />
2 Messung 255-2 - 318 30° - 60°<br />
3 Messung 297-2 238-2 265-2 30° - 90°<br />
Tabelle 5 Übersicht der Positionierung der Diamanten<br />
28
Richtung 1 Richtung 2<br />
Kristallnummer Radius [m] Konvex/<br />
Konkav<br />
Radius [m]<br />
Konvex/<br />
Konkav<br />
250-1 5,7 Konkav 4,3 Konkav<br />
250-2 3,9 Konvex 3,9 Konkav<br />
255-2 3,6 Konvex 1,5 Konvex<br />
318<br />
Tabelle 2 Röntgen Charakterisierung der Diamanten<br />
Die Kristalle wurden mit einem Röntgendiffraktometer vorgemessen. Die Messungen wurden<br />
von unserem Kooperationspartner in Augsburg gemacht und sind vereinfacht in Tabelle 3<br />
dargestellt. Hierbei ist zu erkennen, dass die Radien in horizontaler und vertikaler Achse<br />
stark variieren. Die erste Zahlenkombination ist der ganze Kristall, der auf dem Siliziumwafer<br />
und der Iridium-Schicht mittels Gasabscheideverfahren produziert wurde. Die zweite<br />
Nummer beschreibt, von welcher Stelle der quadratische Kristall abgeschnitten wurde.<br />
Besonders auffällig ist dabei, dass selbst Kristalle, die aus demselben Herstellungsverfahren<br />
stammen, sich stark im Radius unterscheiden.<br />
Abbildung 19 Hergestellter Kristallhalter, Lineartisch und Goniometer-Verbindung<br />
29
4.1.1.2. Winkelkorrekturen<br />
Zur Durchführung der Messung soll entsprechend der Streubedingung (Bragg-Gleichung) die<br />
reflektierte Intensität des Probenkristalls in Abhängigkeit vom Streuwinkel aufgezeichnet<br />
werden. Der Messaufbau am Antares erlaubt nicht die direkte konzentrische Winkeldrehung<br />
um die Kristallmitte, einen sogenannten Ө-2Ө Scan, wie es für die Messung nötig wäre.<br />
Daher wird der Messaufbau für jeden angefahrenen Streuwinkel mit einer<br />
Translationsbewegung nachgeführt, um die sich aus der Rotation der Detektorbox<br />
ergebende seitliche Verschiebung der Kristallmitte zu kompensieren. In Abbildung 20 werden<br />
die Winkelbeziehungen sichtbar, die bei unserem Messaufbau gelten.<br />
Es gilt:<br />
sin(90-α)=y 1 /A<br />
y 1 =A∙cos(α)<br />
sin(α)=y 2 /B y 2 =B∙sin(α) y Gesamt =y 1 + y 2 =B∙sin(α)+A∙cos(α)<br />
Abbildung 20 Korrekturfaktor abhängig der Winkeldrehung<br />
Die Parameter A und B sind bekannt und sind die Abstände vom Drehpunkt zum Kristall.<br />
30
4.1.2. Messergebnisse<br />
4.1.2.1. Intensitätsverlauf abhängig von der Wellenlänge<br />
Zunächst wurde der Messaufbau so eingerichtet, dass der zu untersuchende Kristall vom<br />
einfallenden Neutronenstrahl vollständig ausgeleuchtet war. Dann wurde der maximal<br />
mechanisch mögliche Streuwinkel eingestellt, und die Drehung des Kristalls so abgeglichen,<br />
dass sich das Streubild des (220) Reflexes ungefähr in der Schirmmitte des Detektors<br />
befand.<br />
Es wurden dann für jeden Streuwinkel mehrere Detektoraufnahmen gemacht und die<br />
Graustufen aufsummiert. Die Schrittweite für den Streuwinkel 2Ө betrug bei der ersten<br />
Messung 0,1° und bei der zweiten Messung 0,2°. Zur Auftragung des Ergebnisses wird<br />
entsprechend der Bragg-Gleichung aus dem halben Streuwinkel Ө die reflektierte<br />
Wellenlänge für den (220) Reflex errechnet. Die Auswertung der Graustufen wurde mit dem<br />
Programm Image J durchgeführt. Hierbei wird das entsprechende Feld markiert und es kann<br />
der Graustufendurchschnitt des Feldes errechnet werden. Wenn γ-Punkte in dem Feld<br />
beinhaltet waren, wurde ein Medianfilter eingesetzt, um diese aus der Messung<br />
auszuschließen.<br />
Abbildung 21 Relativer Primärstrahl und relative Messwerte von den Antaresmessungen für<br />
den Diamanten mit der Nummer 318<br />
Die gemessene Intensität (blaue Messpunkte) wurde zusammen mit der Primärintensität aus<br />
dem Neutronenspektrum am Instrument Antares (mit schwarzer Linie gekennzeichnet) in<br />
31
Abbildung 21 dargestellt. Es ist zu sehen, dass die Messwerte sehr gut dem Verlauf des<br />
Primärspektrums folgen und nur gering vom Primärspektrum abweichen. Aufgrund der Art<br />
und Weise der Mehrfachstreuung, die von Renninger beschrieben wird, sollten<br />
„Umwegsanregungen“ bei kleineren Wellenlängen auftreten (19). Jedoch ist im Bereich der<br />
kleineren Wellenlängen von 0,65 bis 0,95 der Messkurvenverlauf sehr glatt und zeigt<br />
keine größeren Messwertausreißer. Die Einbrüche, die mit einem roten Strich eingezeichnet<br />
sind, können nicht ohne weiteres einem Effekt zugeordnet werden. Zusammenfasend zeigt<br />
sich jedoch, dass Mehrfachstreuung als Ursache für den gravierenden Intensitätsverlust für<br />
den Prototyp Monochromator am D9 ILL in Grenoble ausgeschlossen werden kann.<br />
32
4.1.2.2. Fokussierende und defokussierende Eigenschaften der<br />
Diamanten<br />
Abbildung 22 Aufnahmen der Kristalle bei 0° und 180° beim 220 Reflex bei 1,26 Å Wellenlänge<br />
Durch Verbiegung zeigen die Kristalle je nach Orientierung eine fokussierende oder eine<br />
defokussierende Wirkung. In Abbildung 22 sind sechs Kristalle mit einer Aufnahme bei<br />
jeweils einer 0° und einer 180° Horizontaldrehung zu sehen. Bei den Aufnahmen der Reflexe<br />
wurde die Streubedingung für den (220) Reflex bei einer Wellenlänge von 1,26 Å eingestellt.<br />
Es steht der Detektor also bei einem Winkel von 2Ө = 60°, der Kristall wurde um seine<br />
vertikale Achse um den Winkel Ө = 30° gedreht. Ein Vergleich der Größe des<br />
Reflektionsbildes der Kristalle mit den Kristallradien aus der Röntgencharakterisierung zeigt,<br />
dass die fokussierende und defokussierende Wirkung wie erwartet bei stärkerer Krümmung<br />
zunimmt. Die Grauwerte aus dieser Grafik können nicht untereinander verglichen werden, da<br />
die Bilder bei unterschiedlichen Kontrast- und Helligkeitseinstellungen gemacht wurden, um<br />
die Reflexe besser zu erkennen.<br />
33
Abbildung 23 Aufnahme der fokussierenden bzw. defokussierenden Wirkung der Kristalle bei<br />
Messung 1 und 2<br />
Abbildung 23 zeigt den Messaufbau für die erste und zweite Messung, der Szintillator besitzt<br />
dabei eine Größe von 150 x 150 mm². Hier ist die θ-2θ Anordnung zur Einhaltung der<br />
Streubedingung des (220) Reflexes dargestellt. Diese Einstellung streut Neutronen der einer<br />
Wellenlänge von 1,26 Å, dem ungefähren Maximum des Intensitätsspektrums am Instrument<br />
Antares.<br />
4.1.2.2.1 Untersuchung des Krümmungsradius für die fokussierende und<br />
defokussierende Wirkung<br />
Ausgehend von der Annahme die fokussierende bzw. defokussierende Wirkung der Kristalle<br />
beruht auf ihrer Krümmung, wurde die geometrische Abbildung 24 unter der Annahme eines<br />
homogen gebogenen Kristalls mit den Messdaten auf dem Detektorschirm verglichen. Bei<br />
den ersten zwei Messungen am Antares Instrument wurden die Diamanten, in Transmission<br />
mit dem Wellen-Vektor 220 und bei der dritten Messung in Reflexion mit 004,<br />
ausgerichtet.<br />
34
Abbildung 24 Skizze des Strahlengang der Neutronen bei der Anordnung von Transmission<br />
und Reflexion<br />
Transmission:<br />
cos q <br />
<br />
l l cosq<br />
Trigonometrischer Zusammenhang: sin q cos q 1<br />
cos q Ö1 sin q<br />
l l 1 sin q<br />
Bragggleichung: 2d sinq sin q <br />
<br />
<br />
l l 1 <br />
2 d <br />
<br />
f € <br />
<br />
‚<br />
Kreisbogen:<br />
ƒ „ …†‡°<br />
ˆ ‰<br />
”<br />
“ 1 <br />
2 • – —˜<br />
Š ‹Œ Ž ‘ ‘’ Ž <br />
2 tan “ 180°<br />
š<br />
“ › “ œ ž 2 Ÿ ¡¢£›Ž¤ tan “ 180°<br />
š<br />
<br />
“ › l 1 <br />
2 d <br />
<br />
ž 2 Ÿ ¡¢£›Ž¤ tan “ 180°<br />
š<br />
<br />
35
Reflexion:<br />
“ œ “ sin ¥<br />
Bragggleichung: 2• ¦—„ sinq sin q <br />
<br />
Š ‰œ „œ§‘¨Ž <br />
“ œ “ ”<br />
2• – —˜<br />
“ œ<br />
2 tan F “ ”<br />
4 • – —˜ tan “ 180°<br />
š<br />
“ › “ œ ž 2 Ÿ ¡¢£›Ž¤ tan “ 180°<br />
š<br />
“ › “ ” ž 2 Ÿ ¡¢£›Ž¤ tan “ 180°<br />
2• – —˜ š<br />
¥ ist der Braggwinkel, Ÿ ¡¢£›Ž¤ beschreibt den Abstand vom Detektor zum Kristall und “<br />
bezeichnet die Länge der Diamantkristalle, in unserem Fall 15 ©©. R ist der Radius der<br />
Kristalle und F gibt den Krümmungswinkel der Kristalle an. Die berechneten Daten sind die<br />
Längen des Reflexes “ › auf dem Szintillator.<br />
4.1.2.2 Vergleich von Hypothese und Messungen<br />
Transmission a=0,3 m<br />
Fokussiert<br />
ª «¬ [mm]<br />
Defokussiert<br />
ª « [mm]<br />
Radius [m] Errechnet Gemessen Errechnet Gemessen<br />
297-3 1,7 7,70 5,80 18,3 18,70<br />
297-1 1,9 8,30 6,60 17,7 17,40<br />
250-1 5,7 10,90 10,9 15,1 15,00<br />
250-2 3,9 10,70 10,2 15,3 15,00<br />
255-2 1,5 7,00 6,70 19,0 19,60<br />
Alle Kristalle in 220 Transmission, bei einem Thetawinkel von 30°, gemessen.<br />
Fokussiert<br />
ª «¬ [mm]<br />
Defokussiert<br />
ª « [mm]<br />
Reflexion, a=0,2m Errechnet Gemessen Errechnet Gemessen<br />
Radius [m]<br />
265-2 4,3 9,21 9,36 12,00 12,57<br />
297-2 1,7 7,08 7,02 14,10 14,33<br />
238-2 43 10,7 11,7 10,50 10,53<br />
Alle Kirstalle bei der 004 Reflexion, bei einem Thetawinkel von 45°, gemessen.<br />
36
Es zeigt sich, dass die gemessenen Werten sehr gut mit den errechneten Werten<br />
übereinstimmen. Dies belegt, dass die Krümmung der Kristalle die Ursache für die<br />
Fokussierung der Neutronen ist. Aus den Formeln wird ersichtlich, dass der<br />
Produktionsradius der Diamanten von š 5 Meter auf š ® 10 Meter angehoben werden<br />
muss. Hierbei ist nochmal zu erwähnen, dass die Kristalle für heiße Neutronen, bei einem<br />
Fokus von 2,5 Meter, spezifiziert sind.<br />
37
4.2. Messung der Reflektivität am Diffraktometer mit heißen<br />
Neutronen HEiDi<br />
Dieses Experiment soll die Röntgencharakterisierung und die Neutronenmessungen mit<br />
einander vergleichen. Es ist zu erwarten, dass die Neutronen das gleiche Ergebnis zeigen<br />
wie die Röntgenstrahlung am gekrümmten Kristall.<br />
4.2.1. Experiment Aufbau<br />
Abbildung 25 Das Diffraktometer HEiDi am FRM II a) Foto des Instrument b) Schema des<br />
Instrument (8)<br />
Der Lineartisch mit dem Kristallhalter lässt sich am Probenort des Diffraktometers<br />
(Eulerwiege, im Bild türkis) montieren. In Abbildung 25 b ist der Probenort mit 4 – sample<br />
gekennzeichnet. HEiDi ist am einem Strahlrohr mit Blick auf die heiße Quelle des FRM II<br />
aufgebaut. Daher eignet es sich insbesondere für Untersuchungen bei kurzen Wellenlängen<br />
von ” 0.5¯Å¯ ¯1,1¯. Der Neutronenstrahl wurde durch Blenden auf 1 mm Breite und circa<br />
15 mm Höhe eingeschränkt um ortsaufgelöst messen zu können. Mit Hilfe des Lineartisches<br />
wurde der jeweils untersuchte Kristall dann in Schritten von je 1 mm durch den Strahl bewegt<br />
und jeweils ein Rocking-Scan aufgenommen. Bei diesem Scan wird bei festgehaltenem<br />
Streuwinkel der Kristall um seine vertikale Achse gedreht. Die Winkellage des<br />
Intensitätsmaximums erlaubt damit den Rückschluss auf die Krümmung des Kristalls. Es<br />
wurden Kristalle mit geringer, mittlerer und sehr starker Krümmung untersucht.<br />
38
Abbildung 25 Neutronenstrahl auf den Diamanten mit Messschemata<br />
4.2.2. Messergebnisse<br />
Abbildung 26 Rocking-Scans des Diamantkristalls #297-2 mit einem kleinen Krümmungsradius,<br />
also starker Krümmung<br />
39
Abbildung 27 Rocking-Scans des Diamantkristalls #267-2 mit einem mittleren<br />
Krümmungsradius, also mäßiger Krümmung<br />
Abbildung 28 Rocking-Scans des Diamantkristall #318 mit einem großen Krümmungsradius,<br />
also sehr geringer Krümmung<br />
40
In den Abbildungen 26, 27, 28 ist deutlich zu erkennen, dass die Neutronenablenkung von<br />
dem Krümmungsgrad der Diamanten abhängt. Je größer die Krümmung, desto mehr variiert<br />
die Winkellage des Intensitätsmaximums der Rocking-Scans.<br />
Eine Überschlagsrechnung der maximal auseinander liegenden Kurven zeigt:<br />
± ²<br />
³<br />
…†‡°<br />
² ¡ …†‡°<br />
ˆ ´³<br />
² µ_ <br />
² ¹º_ <br />
² »…† <br />
0,015© 180°<br />
·17,97° 17,70°¸ 4,3¯©<br />
0,015© 180°<br />
·17,93° 17,7°¸ 3,7¯©<br />
0,015© 180°<br />
·18,42° 18,40°¸ 43,0¯©<br />
Abbildung 29 Skizze zur Berechnung des<br />
Kreisbogens<br />
265_2 [m] 297_2 [m] 318 [m]<br />
² ‰öŽ£¼œŽ 4,3 1,7 43<br />
² ½œ¾£¿¨Ž 4,3 3,7 43,0<br />
Die Röntgencharakterisierung der Diamanten stimmt also sehr gut mit den Messungen der<br />
Neutronen überein. Daher kann die Röntgencharakterisierung als ein Kriterium für die<br />
Fokussierung und Defokussierung der Kristalle genutzt werden.<br />
41
4.3. Interpretation<br />
Eine Überprüfung der Iridiumverunreinigungen am Diamanten kann gut über die NAA<br />
kontrolliert werden. Die Schleifarbeiten der Universität Augsburg sind erfolgreich, daher stellt<br />
die Aktivierung kein Hindernis für den weiteren Monochromatorbau dar.<br />
Die schlechte Performance des vorhandenen Monochromators am D9 ILL Grenoble, lässt<br />
sich durch die verschiedenen Fokuspunkte der Diamanten ausgehend von ihrer Krümmung<br />
verstehen.<br />
Die Aufgabe besteht darin, die Intensität von 16 x 3 Kristallen, die für einen Monochromator<br />
benötigt werden, gemeinsam auf einen Probenort treffen zulassen. Dies bedeutet einen<br />
großen Justageaufwand mit nahezu identischen Krümmungsradien. Jeder einzelne Kristall<br />
muss unter dem Reflex eines Neutronenstrahls ausgerichtet werden. Dies beansprucht viel<br />
Messzeit an einem Neutronenstreuinstrument.<br />
Die bisherige Spezifikation der produzierten Rohkristalle bezüglich minimal erlaubter<br />
Krümmung muss unter der Kenntnis der fokussierenden bzw. defokussierenden Wirkung<br />
revidiert werden. Der Krümmungsradius der durchschnittlichen Produktion liegt bei fünf<br />
Metern, variiert dabei stark. Für die Nutzung als Monochromator an den Instrument HEiDi<br />
oder ReSI sollte der Krümmungsradius deutlich größer sein. Bei den beiden Instrumenten<br />
liegt der Probenort circa zweieinhalb Meter vom Monochromator entfernt, damit wäre wohl<br />
ein minimaler Krümmungsradius der Diamantkristalle von circa zehn Metern notwendig. Bei<br />
kleineren Radien unter zehn Metern wird die Neutronenintensität nicht am Probenort<br />
konzentriert und geht verloren. Eine weitere Verbesserung der Prozessparameter bei der<br />
Produktion der Kristalle ist nötig, was einen erheblichen Entwicklungsaufwand für die<br />
Arbeitsgruppe der Universität Augsburg bedeutet.<br />
Mit Kristallen der bisherigen Produktion werden FRM II und ILL keinen geeigneten<br />
Monochromator herstellen können. Weitere Überlegungen durch einen erhöhten Aufwand<br />
bei der Vororientierung und der Montage der Kristalle auf dem Kristallhalter sollen die<br />
Nutzung der bereits produzierten und gereinigten Diamanten ermöglichen.<br />
Eine Möglichkeit bestünde darin die Kristalle auf eine Größe von 7,5 x 15mm zu zerteilen,<br />
damit würde die Wirkung der Krümmung halbiert. Eine Zerkleinerung der Diamanten erhöht<br />
jedoch natürlich auch den Justageaufwand um ein Vielfaches, zudem wird die technische<br />
Realisierung umso schwieriger, desto kleiner die Kristalle sind.<br />
Ein besseres Verständnis der neutronenoptischen Eigenschaften für die Auswahl der<br />
Kristalle kann durch numerische Simulation mit einem Simulationsprogramm erzielt werden.<br />
Hier könnte die Problematik für einen Monochromator im Einsatz an einem spezifischen<br />
Instrument simuliert werden, um das Problem besser zu verstehen und weitere<br />
Lösungsansätze für die produzierten Diamanten zu erhalten.<br />
42
Literaturverzeichnis<br />
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Crystallography. 2009, 42.<br />
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Bde. 28 - 36, A 634.<br />
3. Schreck, M. Vorhabensbeschreibung (111)-orientierte Diamantkristalle als<br />
Monochromatormaterial für Neutronenstreuexperiment. Augsburg : s.n., 2013.<br />
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5. Courtois, P. The first prototype diamond monochromator at the Instrument Laue-Langevin. Nicht<br />
akzeptiertes Paper. 2013.<br />
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(FRMII). Garching : Vorstandsdirektor des FRMII, 2013.<br />
8. Link, P. Cutting edge Research with Neutrons. Garching : Technische Universität München (FRMII),<br />
2010.<br />
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1, 303.<br />
10. Conference on Neutron Scattering. Freund, A. Report CONF-760601-p2 : Oak Ridge National<br />
Laboratory, p11143, 1976.<br />
11. Vogt, T. und Passell, L. Using wafer stacks as neutron monochromators. NIM. 1994, Bd. A338, 71<br />
- 77.<br />
12. Hohlwein, D. Gebogene Kupfermonochromatoren für Neutronen. J. Appl. Cryst. 1975, Bd. 8, 465.<br />
13. Rustichelli, F. Study of a composite neutron monochromator system consisting of crystals with a<br />
gradient of the lattice spacing. NIM. 1970, Bd. 83, 124 - 130.<br />
14. Shirane, Gen und Shapiro, Stephan. Neutron Scattering with a Triple-Axis Spectrometer Basic<br />
Techniques. Cambrige : Cambrige University Press, 2002. 9780521411264.<br />
15. Schreck, M., Roll, H. und Stritzker, B. Diamnod/Ir/SrTIO3: A material combination for improved<br />
heteroepitaxial diamand films. APL. 1999, Bd. 74, 650.<br />
16. Zhang, X. und Boyen, H. Epitaxy of cubic boron nitride on (001)-oriented diamnond. Nature<br />
Materials. 2003, Bd. 2, 312 - 315.<br />
17. Katoh, M. und Aoki, M. Plasma-Enhanced Diamond Nucleation on Si. J. Appl. Phys. . 1994, Bd. 33,<br />
194 - 196.<br />
43
18. Li, H., Gowri, M. und Schermer, J. Bias enhanced diamond nucleation on Mo and CrN coeated<br />
stainless steel substrates in a HFCVD reactor. Diamond and Releated Materials . 2007, Bd. 16, 1918 -<br />
1923.<br />
19. Renninger, M. "Umwegsanregung" eine bisher unbeachtete Wechselwirkungerscheinung bei<br />
Raumgitterinterferenzen. 1937, Bd. 106, 141 - 176.<br />
44
Angaben für die Abgabeerklärung<br />
in der Bachelorarbeit<br />
Erklärung<br />
Hiermit erkläre ich, dass ich die vorliegende Arbeit mit dem Titel<br />
Diamantkristalle als Monochromatormaterial für Neutronenstreuinstrumente<br />
selbständig verfasst, noch nicht anderweitig für Prüfungszwecke vorgelegt, keine anderen<br />
als die angegebenen Quellen oder Hilfsmittel benützt sowie wörtliche und sinngemäße Zitate<br />
als solche gekennzeichnet habe.<br />
München, den 02.01.2014 Unterschrift :_________________________<br />
Axel Haunholter<br />
45
Anhänge<br />
Baugruppenzeichnung des Kristallhalter mit Verbindungseinheiten<br />
Baugruppenzeichnung für die Messungen am Antares Instrument<br />
Baugruppenzeichnung einer geplannten Ansaugvorrichtung für Kristalle<br />
46
A<br />
1 2<br />
3<br />
4 5<br />
6 7 8<br />
14<br />
1<br />
4<br />
1<br />
3<br />
1<br />
A<br />
B<br />
C<br />
D<br />
E<br />
F<br />
Weitergabe sowie Vervielfältigung dieser Unterlage nicht gestattet, soweit nicht ausdrücklich zugestanden. Alle Rechte vorbehalten.<br />
213<br />
69,40<br />
148,50<br />
POS-NR. BENENNUNG MENGE<br />
1<br />
41.063.50BC LTM-60-50MSM<br />
Owis-Lineartich<br />
1<br />
2 Verbindungsplatte mit Tisch 1<br />
3 Verlängerung 1<br />
4<br />
5<br />
Diamanthalter<br />
Zwischenplatte<br />
1<br />
1<br />
6 Goniometerverbindung1_v1 1<br />
7 2013102 Gonimeter Atrappe 1<br />
8<br />
9<br />
20x20x2 Winkel<br />
Flach 60x5<br />
2<br />
1<br />
10 Alu Rund 6mmx28mm 1<br />
11 Alu Rund 6mmx60mm 1<br />
12 Kristall15x15 1<br />
13 20x20x4 Winkel 2<br />
14 Saugnapf 1<br />
15 Ring 4x1 1<br />
16 DIN 912 - M3 x 5 5<br />
17 DIN 912 - M3 x 16 4<br />
18 DIN 912 - M4 x 6 2<br />
2<br />
1<br />
1<br />
1<br />
12<br />
1<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
N<br />
RMII<br />
<br />
5<br />
1<br />
H<br />
TECHNISCHE<br />
UNIVERSITÄT<br />
MÜNCHEN<br />
<br />
N<br />
6<br />
1<br />
<br />
INIST<br />
MS<br />
T<br />
<br />
<br />
HMRMII<br />
8<br />
2<br />
13<br />
2<br />
Werkstückkanten DIN 6784<br />
MM<br />
S<br />
<br />
SV<br />
<br />
<br />
E<br />
S<br />
IN<br />
16<br />
5<br />
10<br />
1<br />
7<br />
1<br />
9<br />
1<br />
11<br />
1<br />
-0.5 +0.3<br />
SN<br />
U<br />
T<br />
SN<br />
IR<br />
<br />
V<br />
<br />
NN<br />
<br />
B<br />
C<br />
D<br />
1 2 3 4<br />
<br />
CEUMIISV