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Bachelorarbeit<br />

Diamantkristalle als<br />

Monochromatormaterial für<br />

Neutronenstreuinstrumente<br />

Autor: Axel Haunholter<br />

02.01.2014<br />

Erstprüfer: Herr Prof. Dr. Christian Alt<br />

Zweitprüfer: Herr Prof. Dr. Rolf Heilmann<br />

Betreuer am FRM II: Herr Dr. Peter Link<br />

Überprüfung des Reinigungsprozesses von möglich aktivierten Schichten. Genaue<br />

Untersuchung des (220)-Reflexes unter einem Azimut. Verifizierung der vorhandenen<br />

Röntgencharakterisierung der Krümmungsradien der Kristalle mit Hilfe von Neutronen.


Inhalt<br />

1.0. Einleitung ........................................................................................................................................ 3<br />

1.1 Stand der Forschung und Motivation zu den Untersuchungen an den Diamantkristallen<br />

............................................................................................................................................................. 3<br />

2.0. Grundlagen .................................................................................................................................... 5<br />

2.1 Das Neutron ................................................................................................................................ 5<br />

2.2. Die Forschungs-Neutronenquelle (FRM II) ........................................................................... 6<br />

2.3. Einkristalle als Monochromatoren für Neutronenstrahlen................................................... 7<br />

2.4 Herstellungsprozess der Diamanten ..................................................................................... 11<br />

3.0. Überprüfungen der Diamantkristalle auf Reste von Iridium ................................................. 15<br />

3.1. Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) ................................................................ 15<br />

3.2. Prompt-Gamma Activation Analysis (PGAA) ...................................................................... 15<br />

3.2.1. Experiment Aufbau .......................................................................................................... 16<br />

3.2.2. Messergebnisse ............................................................................................................... 18<br />

3.3. Neutron Activation Analysis (NAA) ....................................................................................... 20<br />

3.3.1. Experiment Aufbau .......................................................................................................... 20<br />

3.3.2. Messergebnisse ............................................................................................................... 20<br />

3.4. Zusammenfassung ................................................................................................................. 21<br />

4.0. Untersuchung von Diamantkristallen mit Neutronenstreuinstumenten .............................. 22<br />

4.1. Streuexperiment mit Diamantkristallen im weißen Strahl am Instrument Antares ........ 24<br />

4.1.1. Experiment Aufbau .......................................................................................................... 24<br />

4.1.1.1. Probenhalter mit Lineartisch ........................................................................................... 28<br />

4.1.1.2. Winkelkorrekturen ............................................................................................................ 30<br />

4.1.2. Messergebnisse ................................................................................................................... 31<br />

4.1.2.1. Intensitätsverlauf abhängig von der Wellenlänge ................................................... 31<br />

4.1.2.2. Fokussierende und defokussierende Eigenschaften der Diamanten ................... 33<br />

4.1.2.2.1 Untersuchung des Krümmungsradius für die fokussierende und<br />

defokussierende Wirkung .......................................................................................................... 34<br />

4.1.2.2 Vergleich von Hypothese und Messungen ................................................................ 36<br />

1


4.2. Messung der Reflektivität am Diffraktometer mit heißen Neutronen HEiDi ................... 38<br />

4.2.1. Experiment Aufbau .......................................................................................................... 38<br />

4.2.2. Messergebnisse ............................................................................................................... 39<br />

4.3. Interpretation ............................................................................................................................ 42<br />

Literaturverzeichnis ............................................................................................................................ 43<br />

Erklärung .............................................................................................................................................. 45<br />

Anhänge ............................................................................................................................................... 46<br />

2


1.0. Einleitung<br />

1.1 Stand der Forschung und Motivation zu den<br />

Untersuchungen an den Diamantkristallen<br />

Theoretische Überlegungen zeigen, dass Mosaikkristalle aus Diamant ein nahezu ideales<br />

Material als Monochromator für heiße und thermische Neutronenstrahlen wären (1) (2).<br />

Diese Erkenntnis führte zur Kooperation mehrerer Institute, zum Einen die<br />

Neutronenforschungszentren Institut Laue-Langevin in Grenoble und die Forschungs-<br />

Neutronenquelle Heinz Maier-Leibnitz (FRM II) in Garching, zum Anderen der Lehrstuhl für<br />

Experimentalphysik IV des Instituts für Physik an der Universität Augsburg, spezialisiert auf<br />

die Züchtung von Diamantmaterialien.FRM II Das Vorhaben wird durch den Bereich der<br />

Verbundforschung beim Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) im<br />

Förderbereich kondensierte Materie gefördert. Ziel ist es, einen Prototypmonochromator aus<br />

Diamantkristallen aufzubauen und diesen an einem Neutronendiffraktometer zum Einsatz zu<br />

bringen. Es wird im Vergleich zu bisher eingesetzten Monochromatormaterialien ein<br />

deutlicher Intensitätsgewinn erwartet. Dadurch kann das Signal-/Untergrundverhältnis bei der<br />

Messung mit dem Instrument verbessert, oder die Messzeit verkürzt werden (3) .<br />

An der Universität Augsburg werden Diamantkristalle mittels chemischem<br />

Dampfphasenabscheideverfahren (chemical vapour deposition - CVD) hergestellt. Die<br />

hergestellten Kristallplättchen haben typische Abmessungen von 15 x 15 x 1.5 mm 3 , die<br />

Flächennormale der Plättchen entspricht der (100) Kristallrichtung. Durch Stapeln von je 3<br />

Kristallen wurden insgesamt 16 Monochromatorelemente für einen ersten<br />

Prototypmonochromator (siehe Abbildung 1 b) aufgebaut. Erste Messungen mit diesem<br />

Monochromator-Prototypen ergaben jedoch bei den Wellenlängen von 0,5 Å und 0,8 Å nicht<br />

die erwartete Intensitätsverbesserung. Abbildung 1 a) zeigt den schematischen Aufbau des<br />

Instruments D9 am ILL in Grenoble an dem der Prototyp an der Position des bisherigen<br />

Monochromators aus Kupferkristallen eingesetzt wurde. Es wurden die Zählraten an zwei<br />

verschiedenen Positionen am Instrument verglichen: Am Monitorzähler vor der Probe und im<br />

Detektor nach Streuung an einer Standardprobe.<br />

Abbildung 1 a) Messaufbau am Instrument D9 ILL b) Getesteter Diamantprototyp mit 16<br />

Diamantstapeln (4) (5)<br />

3


Die Messergebnisse des Prototypmonochromators und des vergleichbaren<br />

Kupfermonochromators am D9 ILL sind in Tabelle 1 aufgeführt, sie zeigen einen<br />

Intensitätsgewinn mit einem Faktor von 1,12 für den mit C* gekennzeichneten<br />

Diamantmonochromator. Aus den theoretischen Überlegungen wird jedoch ein<br />

Intensitätsgewinn um einen Faktor zwei bis drei je nach Wellenlänge erwartet. Zusätzlich<br />

wird ersichtlich, dass der Gewinn der Intensität nicht von der Wellenlänge abhängt (4) (5).<br />

Material Cu C* Cu C*<br />

Wellenlänge 0,8 0,8 0,5 0,5 <br />

Intensität 488929 548068 422774 476621<br />

Gainfaktor 1,12 1,12<br />

Tabelle 1 Messwerte am Instrument D9 ILL (4)<br />

Der Prototypmonochromator wurde für circa 100 Tage am Instrument D9 ILL genutzt und<br />

dabei radioaktiv so stark aktiviert, dass eine Bearbeitung des Prototypen erst nach einer<br />

Wartezeit von mehr als einem Jahr möglich ist. Die unerwartet geringe Neutronenreflektivität<br />

und die unerwünschte Aktivierung geben den Anlass für eine weitere Untersuchung der<br />

einzelnen Kristalle, wie in der folgenden Arbeit beschrieben wird.<br />

Im ersten Teil muss die Herkunft und das Vermeiden der ungewollten Aktivierung durch<br />

Neutronen geklärt werden. Der zweite Teil behandelt die genauere Untersuchung der<br />

Reflektionseigenschaften der Kristalle und möglicher Ursachen für die zu geringe Intensität<br />

im Einsatz als Monochromator im Neutronenstrahl.<br />

4


2.0. Grundlagen<br />

2.1 Das Neutron<br />

Freie Neutronen sind ein ideales Werkzeug für viele verschiedene Instrumente. Hierbei kann<br />

die atomare, molekulare Struktur, sowie die dynamischen Eigenschaften der kondensierten<br />

Materie genauer erforscht werden. Fusion und Spaltung werden für eine effektive Produktion<br />

von freien Neutronen benutzt (6).<br />

Das Neutronenspektrum wird gewöhnlich in drei Intervalle unterteilt. Es gibt schnelle<br />

Neutronen mit einer Energie 1 , Neutronen mit einer mittleren Energie zwischen<br />

1 und 1 und langsame Neutronen mit einer Energie von 1 . Die langsamen<br />

Neutronen werden wiederrum unterteilt in epithermale 100 0,025 ,<br />

thermische 0,025 , kalte 25 0,05 , sehr kalte 0,05 <br />

0,0002 und ultrakalte Neutronen mit einer Energie von 2 10 . In Diagramm<br />

1 wird ein Überblick über die Klassifizierung der verschiedenen Neutronen vermittelt. Aus der<br />

Kernspaltung haben die Neutronen eine Energie von mehr als 2 , diese werden dann mit<br />

verschiedenen Moderatoren über Stoßprozesse verlangsamt. Am FRM II werden<br />

typischerweise langsame Neutronen eingesetzt. Entsprechend dem Welle Teilchen<br />

Dualismus kann einem Neutron eine Wellenlänge gemäß der Gleichung<br />

<br />

<br />

<br />

2 <br />

zugeordnet werden. bezeichnet dabei die Lichtgeschwindigkeit, das Planksche-<br />

Wirkungsquantum und die Ruhemasse des Neutrons.<br />

Abbildung 2 Einteilung der Neutronen nach ihrer Energie<br />

5


2.2. Die Forschungs-Neutronenquelle (FRM II)<br />

Die Forschungs-Neutronenquelle Heinz Meier-Leibnitz (FRM II) ist ein 20 MW Reaktor, der<br />

für die Gewinnung von freien Neutronen und ihre Nutzung für wissenschaftliche Experimente<br />

und industrielle Anwendungen gebaut wurde. Zur<br />

Erzeugung von Neutronenstrahlen verwendet der<br />

FRM II die Spaltung von 235 U mit thermischen<br />

Neutronen. Bei dieser Kernreaktion entstehen<br />

jeweils zwei bis drei schnelle Neutronen. Diese<br />

werden sowohl im Kühlwasser als auch im<br />

schweren Wasser des Moderatortanks<br />

abgebremst. Die so abgebremsten (moderierten)<br />

Abbildung 3 Prinzip der Kernspaltung (8) Neutronen spalten in einer kontrollierten<br />

Kettenreaktion weiteres Uran oder werden als<br />

Neutronenstrahlen genutzt. Das Energiespektrum der thermischen Neutronen kann durch<br />

eine Maxwell-Verteilung mit einer charakteristischen Temperatur von etwa 350 Kelvin<br />

beschrieben werden. Durch weitere Moderatoren, die als kalte Quelle und heiße Quelle<br />

bezeichnet werden, wird das Energiespektrum verschoben. Je nach Experiment werden<br />

nämlich verschiedene Wellenlängen benötigt, die ein unterschiedliches Spektrum<br />

voraussetzen. In der kalten Quelle ist dies flüssiger schwerer Wasserstoff bei 25 Kelvin und<br />

in der heißen Quelle Graphit bei 2273 Kelvin. Die Neutronen verändern ihre Geschwindigkeit<br />

durch Stöße an der kalten und heißen Quelle und damit ihre Energie. Mit den sogenannten<br />

Strahlrohren werden die Neutronen aus dem Inneren des Reaktors und seiner dicken<br />

Stahlbetonabschirmung geleitet. An den Strahlrohren sind die verschiedenen Instrumente<br />

zur Nutzung der Neutronenstrahlen aufgebaut. Mittels sogenannter Neutronenleiter - speziell<br />

beschichteter Gläser - können kalte und thermische Neutronen nahezu verlustfrei geleitet<br />

werden um weitere Instrumente auch in größerer Entfernung von der eigentlichen Quelle in<br />

der Neutronenleiterhalle zu realisieren. Ein Brennelement von acht Kilogramm U 3 Si 2 versorgt<br />

die Forschungseinrichtung 60 Tage mit Neutronen. Diese 60 Tage beschreiben einen<br />

Reaktorzyklus. Anschließend muss das Brennelement gewechselt werden, um einen neuen<br />

Zyklus zu starten. Neben der Untersuchung von verschiedensten Materialien mittels<br />

Neutronenstreuung, spielt am FRM II die Bestrahlung mit Neutronen zum Beispiel zur<br />

Dotierung von Silizium und der Gewinnung von Radiopharmaka, aber auch die direkte<br />

Tumortherapie durch Bestrahlung mit hochenergetischen Neutronen eine wichtige Rolle (7)<br />

(8).<br />

6


2.3. Einkristalle als Monochromatoren für Neutronenstrahlen<br />

Sehr oft wird an Neutronenstreuinstrumenten nur eine ausgewählte Wellenlänge oder<br />

Neutronenenergie benötigt und nicht das ganze Spektrum des Neutronenstrahls. Dabei<br />

kommen je nach Instrument verschiedene Verfahren zur Auswahl der Einfallsenergie der<br />

Neutronen zur Anwendung. Bei der Flugzeitmethode und bei der Nutzung von<br />

Geschwindigkeitsselektoren geschieht die Energieselektion auf Grund der<br />

Teilchengeschwindigkeit der Neutronen, also ihrer kinetischen Energie. Bei der Streuung<br />

eines Neutronenstrahls an einem (Monochromator-) Kristall macht man sich die<br />

Welleneigenschaften der Neutronen zu Nutze. Entsprechend der Bragg Gleichung wird für<br />

einen gegebenen Streuwinkel und eine Netzebenenschar eine Wellenlänge reflektiert. So<br />

kann aus einem Neutronenspektrum (weißen Strahl) die gewünschte Wellenlänge zu dem<br />

Instrument reflektiert werden.<br />

Bragg-Gleichung: 2 sin <br />

In Worten ausgedrückt beschreibt der Winkel die Orientierung des Kristalls im weißen<br />

Strahl und die Wellenlänge der reflektierten Neutronen. Der Netzebenenabstand des<br />

Kristalls wird mit € angegeben, wobei mit ‚) die Millerschen Indizes der betreffenden<br />

Netzebenenschar bezeichnet werden.<br />

Diamant im Speziellen weist eine hochsymmetrische kubische Struktur mit der Raumgruppe<br />

ƒ3„ auf. Für die Netzebenenabstände eines kubischen Systems mit der Gitterkonstante …<br />

gilt:<br />

<br />

…<br />

<br />

Ö † † ‚ <br />

Wenn wir die Bragg-Gleichung in Wellen-Vektoren schreiben, erhalten wir:<br />

‡ 2 ˆ‰Š <br />

wobei ‡ € ‹<br />

Œ<br />

‹<br />

Für die Verwendung als Monochromator sollte die Reflektivität eines Kristalls möglichst groß<br />

sein. Bei einem perfekten Kristall ist die Streubedingung nur für ein unendlich schmales<br />

Winkelintervall erfüllt. Für das Erzielen einer großen Reflektivität wird besser ein<br />

Mosaikkristall benutzt. Dieser Kristall besteht aus vielen kleinen, perfekten Kristallen mit<br />

einer relativen Fehlorientierung zueinander. In einer vorgegebenen Richtung wird die<br />

Ausrichtung des Kristallits relativ zum Mittelwert mit Ž bezeichnet. In der Regel wird eine<br />

Gauß-Funktion Ž angenähert mit einer Breit von :<br />

Ž 1<br />

Ö2‘<br />

’“<br />

” “<br />

Bei Experimenten ist es üblich, die Breite der Verteilung bei der halben Intensität zu messen.<br />

Dies wird in der Technik als full-width at half-maximum (FWHM) bezeichnet, wobei<br />

ƒ • 22‚Š2 entspricht. Wenn im Folgenden von gesprochen wird, ist die Breite<br />

mit der (FWHM) gleichzusetzen. Ein Mosaikkristall wird auch als unvollkommener Kristall<br />

bezeichnet. Wenn die Absorption vernachlässigbar klein ist, spricht man von einem idealen,<br />

unvollkommenen Kristall.<br />

7


Die Reflektivität eines solchen Kristalls wird mit der kristallographischen Größe – —<br />

beschrieben.<br />

–˜ <br />

ƒ š<br />

<br />

› ˆ‰Š2Q <br />

Hierbei ist › das Einheits-Zellvolumen. Diesem entspricht<br />

Zellen pro 1 ist. ƒ š ist der statische Kernstrukturfaktor,<br />

œ<br />

š , wobei ž˜ die Anzahl der<br />

ƒ š Ÿ ¡ ¢£ ¤<br />

wobei die Summe über alle Atome in der Einheitszelle gebildet wird. ¡ ist die<br />

Streuungslänge und £ ¡ beschreibt die Position von jedem j-tem Atom in der Elementarzelle.<br />

Die integrierte Reflektivität eines sehr kleinen, perfekten Kristalls ist bei einem<br />

monochromatischen Strahl proportional zu – — ¥.<br />

Für einen großen, flachen Mosaikkristall mit der Dicke ¦ , kann die Peak-Reflektivität durch<br />

¡<br />

§¨ § <br />

1 † § <br />

§ <br />

– — ¦ <br />

Ö2‘ ˆ‰Š2Q <br />

angegeben werden.<br />

Wenn §


teuer in der Herstellung. Beryllium ist im Prinzip eines der besten Materialien, es verfügt über<br />

einen großen Streuquerschnitt für Neutronen und eine kleine Einheitszelle. Das Material wird<br />

bei Instrumenten eingesetzt, die einen möglichst großen Wert benötigen. Die Toxizität<br />

erschwert jedoch die Herstellung geeigneter Kristalle erheblich. Kupfer besitzt, wie auch<br />

Beryllium, einen großen reziproken Gittervektor, so dass dieses Material bei Energien über<br />

¬ 50 zum Einsatz kommt.<br />

Silizium und Germanium besitzen eine Diamant-Struktur. Diese werden meistens bei der<br />

(111)-Reflexion eingesetzt, um die gewünschte Wellenlänge zu erzeugen. Vorteil ist hier,<br />

dass die unerwünschte Wellenlänge ­ /2 nicht gestreut wird, da der (222) Reflex in der<br />

Diamant Struktur ausgelöscht ist. Jedoch können immer noch Neutronen mit /3<br />

Wellenlänge an der (333) Ebene reflektiert werden. Die Energie entspricht dem Neunfachen<br />

der eigentlichen Energie der genutzten Neutronen. Typischerweise werden Silizium und<br />

Germanium bei thermischen, moderierten Neutronen eingesetzt, bei diesen ist die Intensität<br />

der Neutronen mit einer Wellenlänge von /3 relativ gering.<br />

Das etablierte Material für kalte Neutronen ist Highly Ordered Pyrolytic Graphite (HOPG). Es<br />

besitzt eine hohe Reflektivität und eine typische Mosaikbreite von 0,4°.<br />

Bei einem Spektrometer ist nicht nur die maximale Reflektivität wichtig, sondern auch die<br />

Winkelbreite der Reflektion, die durch die Mosaizität des gewachsenen Kristalles bestimmt<br />

ist. Beim normalen Wachstumsprozess ist die Kristallstruktur in der Regel zu perfekt und<br />

weist eine zu geringe Mosaizität auf, wodurch die integrierte Intensität sehr gering ist.<br />

Mehrere Forschergruppen haben sich in der Vergangenheit mit der Aufgabe beschäftigt, die<br />

Mosaizität kontrolliert zu beeinflussen. Fortschritte erzielte A. Freund am ILL. Bei dieser<br />

Methode werden Versetzungen durch eine Verformung nahe des Schmelzpunktes<br />

produziert, die zu Spannungen im Kristall führen. Diese Netzebenen sind nach der<br />

Gaußschen-Normalverteilung verkippt (10). Ein anders Verfahren erzeugt Kristalle mit einer<br />

anisotropen Mosaikstruktur. Die in der Regel 0,3 mm dicken Kristalle werden erhitzt und<br />

wiederholt deformiert und abgeflacht. Dieser Prozess wurde mit Silizium- und<br />

Germaniumkristallen erfolgreich durchgeführt. Ergebnis war ein doppelt so großes<br />

Reflexionsvermögen (11).<br />

Tabelle 2 zeigt typische Kristallmaterialien mit Ihren spezifischen Konstanten. Besonders<br />

wichtig ist die letzte Spalte diese gibt die Peak-Reflektivität wieder (1).<br />

9


Es bestehen Möglichkeiten den Neutronenfluss zu erhöhen. Zum einen können Kristallstapel<br />

hergestellt werden. Einzelne Kristall werden übereinander ausgerichtet und dann<br />

miteinander verklebt. Mehrere Kristalle aufeinander werden auch als Stack bezeichnet.<br />

Bei Neutronen ist die Quelle viel größer als bei der Röntgenstrahlung, daher können<br />

Neutronen fokussiert werde. Erste Erfahrungen auf dem Gebiet der Fokussierung wurden<br />

von Heinz Maier Leibnitz gesammelt (12) (13). (14)<br />

10


Die Mosaikstruktur ist eine Größe der verkippten Kristalliten. Ein Kristall besteht aus<br />

tausenden solcher kleinen Kristallitblöcken. Die Kristalle sind in einem Mehrschichtsystem<br />

aufgebaut, das durch chemische Dampfphasenabscheideverfahren (CVD) realisiert wird.<br />

2.4 Herstellungsprozess der Diamanten<br />

Mittels der chemischen Gasphasenabscheidung (Chemical vapor deposition CVD) werden<br />

die Diamanten hergestellt. Hierbei handelt es sich um ein Niedrigdruckverfahren, im<br />

Gegensatz zur Herstellung normaler Industriediamanten, die bei hohen Drücken produziert<br />

werden. Für die Herstellung einkristalliner Diamantschichten gibt es zwei unterschiedliche<br />

Ansätze: Homoepitaxie und Heteroepitaxie. Hierbei bedeutet Epitaxie, dass der Kristall auf<br />

einem Substrat aufwächst und mindestens eine Orientierung des Substrates annimmt. Die<br />

Suche nach einem geeigneten Fremdsubstrat stellte hierbei eine große Herausforderung<br />

dar. Erst mit Iridium war ein Substrat verfügbar, das einen hohen Orientierungsgrad (damit<br />

eine geringe Mosaikbreite) mit dem Potential der Hochskalierbarkeit verband. Erste<br />

Versuche zu Diamant/Iridium Schichten machte die Universität Augsburg 1996 (15). Seitdem<br />

wurden die Herstellungsprozesse stetig verbessert. Erste Erfolge mit Diamantkristallen und<br />

(001) Orientierung wurden erzielt (16). In Abbildung 3 wird der Herstellungsprozess des<br />

Diamanten genau beschrieben und das Multischichtsystem mit der Zusammensetzung von<br />

Ir/YSZ/Si (100) schematisch skizziert. Als Trägermaterial wird ein Silizium Wafer mit 100mm<br />

Durchmesser benutzt. Beim ersten Schritt wird epitaktisches Yttriumoxid-stabilisiertes<br />

Zirkondioxid (YSZ) mittels Laserablation, im Englischen bekannt als pulsed laser deposition<br />

(PLD), auf die Siliziumscheibe aufgebracht. Beim Laserstrahlverdampfen wird das Substrat<br />

mittels des Laserstrahls so stark erhitzt, das ein Plasma entsteht, welches sich kontinuierlich<br />

auf den Siliziumwafer abscheidet. Bei hohen Prozessdrücken können selbst Atomgruppen,<br />

auf das Target abgeschieden werden. Die Iridiumschicht wird durch das Verfahren des<br />

Elektronenstrahlverdampfens auf die (YSZ) Schicht aufgetragen. Hierbei ist das Medium<br />

nicht wie vorher ein Laser, sondern beschleunigte Elektronen, die genügend Energie<br />

besitzen, um Atome aus dem Festkörper zu schlagen und wiederum ein Plasma zu<br />

erzeugen, welches eine kontinuierliche Abscheiderate zulässt. Laserstrahlverdampfen sowie<br />

Elektronenstrahlverdampfen werden im Vakuum und unter einer Stickstoffschutzatmosphäre<br />

vollzogen. Bei der epitaktischen Keimbildung entstehen gleichmäßig verteilte<br />

Kohlenstoffatome, die als ausgerichtete Keime für die höheren Kristallschichten dienen (17).<br />

11


Abbildung 3 Überblick des Herstellungsprozesses des Diamanten und fertiger Aufbau<br />

1 Schritt: Orientierter Siliziumwafer<br />

2 Schritt: Laserstrahlverdampfen von Yttriumoxid-stabilisierten Zirkondoxid<br />

3 Schritt: Aufbringen von Iridium mittels Elektronenstrahlverdampfen<br />

4 Schritt: Wachstum der Diamantschicht<br />

5 Schritt: Zerschneiden mit Hilfe eines Laserstrahls<br />

6 Schritt: Charakterisierung mit Röntgenstrahlen<br />

7 Schritt: Auswahl von geeigneten Kristallen<br />

12


In der Abbildung 4 sind die Diamantwachstumskeime als helle Flecken zu erkennen, diese<br />

geben für das weitere Wachstum die Orientierung vor. In Abbildung 5 sind die Diamantkeime<br />

in Phase eins zu erkennen. Wenn das Wachstum voran geschritten ist, bei etwa 10,<br />

entstehen individuelle Kristalle, die durch Korngrenzen voneinander getrennt sind. Im letzten<br />

Stadium der Diamantbildung treten Einkristalle mit kurzen Defektbändern auf. Über eine<br />

Größe von 30 wachsen die Kristalle einkristallin. Um die Dimensionen in Relation zu<br />

setzten eine kurze Veranschaulichung: Der fertige Kristall weist eine Höhe von circa 1000<br />

auf und die einkristalline Schicht beginnt bei 30. Dies zeigt, dass der Kristall zum deutlich<br />

überwiegenden Teil einkristallin aufgebaut ist. Anschließend werden die Kristalle quadratisch<br />

geschnitten und mit Röntgenstrahlung untersucht.<br />

Abbildung 4 Bild eines Rasterelektronenmikroskop von Diamantkeimen auf einem Mo Substrat<br />

(18)<br />

Abbildung 5 Verschiedene Phasen des Diamantwachstum<br />

13


Es stellt sich heraus, dass die Kristalle in beide Richtungen gekrümmt sind. Hierbei bewegen<br />

sich die durchschnittlich hergestellten Diamanten in den Krümmungsradien von fünf bis zehn<br />

Metern. In Abbildung 6 wird die Problematik mit extremen Radien veranschaulicht.<br />

Abbildung 6 Diamantkristall mit zwei entgegengesetzten Krümmungsradien mit blauen Linien<br />

erkenntlich<br />

Durch die immer verschiedenen Radien der Diamanten können sie nicht ohne weitere<br />

Messungen aufeinander geklebt werde. Die Kristalle müssen anhand der Reflexe<br />

ausgerichtet werden. Am Institut Laue-Langevin wurden die Kristalle mit Hilfe eines<br />

Roboterarms, der sechs Freiheitsgrade besitzt, aufeinander gesetzt. Wenn die passende<br />

Position erreicht wird kann der Kristallstapel miteinander verklebt werden.<br />

14


3.0. Überprüfungen der Diamantkristalle auf Reste von<br />

Iridium<br />

Im Herstellungsprozess sind Silizium, Yttriumoxid, Iridium und Kohlenstoff enthalten. Nach<br />

dem chemischen Ablösen des Siliziumsubstrats werden die Kristalle poliert, um sie von<br />

Resten der Herstellungsschichten zu befreien. Es liegt der Verdacht nahe, dass sich noch<br />

Reste von Iridium im oder auf dem Diamanten befinden. Dies würde die am<br />

Prototypmonochromator im Einsatz beobachtete starke Aktivierung erklären. Für die<br />

Verwendung als Monochromatorkristalle muss das Iridium vollständig entfernt werden, dabei<br />

soll natürlich so wenig wie möglich des Diamantkristalls abgetragen werden.<br />

Untersucht wurden im Folgenden zum einen Kristalle die exakt den gleichen<br />

Produktionsprozess durchlaufen hatten, wie diejenigen des Prototypmonochromators<br />

(poliert), zum anderen wurden Kristalle durch Schleifen mit einer Diamantscheibe weiter<br />

gereinigt (geschliffen). Um sicher zu stellen, dass der Reinigung sprozess des Diamanten<br />

erfolgreich ist, muss dieser überprüft werden.<br />

3.1. Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)<br />

Bei der Oberflächenuntersuchung mit Rutherford-Backscattering werden hochenergetische<br />

Ionen, meistens Wasserstoff oder Helium, auf eine Probe geschossen. Ein Detektor misst<br />

die elektrische Energie, welche die gestreuten Ionen hervorrufen. Die Rückstreuungsenergie<br />

hängt von der Masse des getroffenen Atoms und dem Einfallswinkel auf den Detektor ab.<br />

Mit dieser Methode konnten auf den polierten Kristallen zwar keine vollständigen<br />

Iridiumschichten festgestellt werden, jedoch war Iridium selbst deutlich nachweisbar. Dies<br />

deutet auf inselförmige Oberflächenschichten oder eingelagerte Iridiumatome hin. Die<br />

Ergebnisse sind nur qualitativ, aber nicht quantitativ. Mit dem RBS konnte die Iridiummasse<br />

auf den Diamantkristallen nicht bestimmt werden und daher ist die Methode für die<br />

Überprüfung des Reinigungsprozesses nicht aussagekräftig.<br />

3.2. Prompt-Gamma Activation Analysis (PGAA)<br />

Das Neutron besitzt keine elektrische Ladung. Die Neutronen können daher weit in das zu<br />

untersuchende Material eindringen. Die PGAA ist so für eine zerstörungsfreie Untersuchung<br />

der Probe geeignet. Neutronen mit einer Energie von kleiner als 1eV und einem<br />

nennenswerten Wirkungsquerschnitt für Neutronen gehen einen Neutroneneinfang ein. Bei<br />

der Aufnahme des Neutrons in den Kern wird eine für das Isotop typische Strahlung mit einer<br />

spezifischen Wellenlänge frei, die Rückschlüsse auf die Elemente der Probe zulassen. Diese<br />

erste γ-Strahlung wird PGAA genannt. Nach einer vom Element abhängigen Zeit wird ein β - ,<br />

β + oder ein α-Teilchen emittiert, die wiederum über eine typische Wellenlänge verfügen. Bei<br />

dieser Kernreaktion werden neben γ-Strahlung je nach Stoff Elektronen, Positronen oder<br />

Helium ausgesendet. Das Messen der sekundären γ-Strahlung wird „Neutron Activation<br />

Analysis“ (NAA) genannt. In Abbildung 7 wird nochmal verdeutlicht, wie der<br />

Neutroneneinfang für ein Element aussieht, der anschließend mit einem β - Zerfall verläuft.<br />

15


Abbildung 7 Neutroneneinfang eines Kernes und seine Reaktion<br />

Bei einem Blick auf eine Nuklidkarte ist zu erkennen, dass die meisten stabilen Elemente bei<br />

einem Neutroneneinfang anschließend mit einem β - -Zerfall reagieren. Das PGAA Spektrum<br />

reicht gewöhnlich von 50 keV bis zu 11 MeV. Die Anzahl der γ-Linien für ein Element kann<br />

bis zu eintausend betragen. Um also eine Probe auszuwerten werden zwei bis fünf der<br />

stärksten charakteristischen Linien genommen. Das Auswerten einer Messung von einer<br />

Probe kann sich bei vielen Elementen als schwierig herausstellen. Die typischen Spektren<br />

können in Tabellenwerken nachgesehen werden und dienen dem Vergleich. Um quantitative<br />

Aussagen über die PGAA-Messung machen zu können wird eine Eichmessung vollzogen.<br />

Bei der Kalibrierung wird ein Element mit einer ähnlichen Matrix und bekannten<br />

Zusammensetzung genommen und mit den späteren Messungen verglichen.<br />

3.2.1. Experiment Aufbau<br />

Ein abgeschliffener Kristall und ein nur polierte Kristall wurden mittels der PGAA untersucht.<br />

Die verwendeten Kristalle waren:<br />

Der polierte Kristall mit der Kristallnummer #172_1<br />

Der abgeschliffene Kristall mit der Kristallnummer #250_2<br />

16


Abbildung 8 PGAA Instrument am FRM II a) Foto des Instrument b) Schema des Instrument (6)<br />

Die Messungen der beiden Diamanten werden mittels des PGAA Instrumentes am FRM II<br />

durchgeführt. Abbildung 8 zeigt ein Bild des Messaufbaus. Hierbei treffen die Neutronen auf<br />

die Kristalle. Detektoren messen die emittierte Gammastrahlung.<br />

Die Kristalle wurden fünf Stunden mit einem Neutronenfluss von 4 10 <br />

durchschnittlichen Wellenlänge von 6,5 mit einem kalten Spektrum bestrahlt.<br />

<br />

<br />

und mit einer<br />

17


3.2.2. Messergebnisse<br />

Der Grüne (untere) Graph beschreibt den abgeschliffenen Kristall. Die blaue (obere) Linie ist<br />

der lediglich polierte Diamant. In Abbildung 9 wurden die Gammastrahlungslinien der<br />

wichtigsten Elemente eingetragen. Hierbei ist zu erwarten, dass sich C, Y, Si, Zr vom<br />

Herstellungsprozess in den beiden Proben befindet. Die Lage der Graphen ist verschieden,<br />

da die Kristalle nicht exakt dieselbe Masse besitzen. Im Diagramm werden die Daten für eine<br />

bessere Übersicht nicht exakt übereinandergelegt.<br />

Abbildung 9 PGAA Energiespektrum des polierten und des geschliffenen Kristalls. Die<br />

Energien der Elemente wurden in der Abbildung benannt.<br />

Die wichtigsten Iridiumgammalinien finden sich im Energieintervall von circa 50 bis<br />

400. Dieses Iridiumintervall ist in Abbildung 10 veranschaulicht. Es ist deutlich zu<br />

erkennen, dass die geschliffene Probe keine Iridium-Peaks aufweist und die nur polierte<br />

Probe deutlich diese die Energielinien zeigt.<br />

18


Abbildung 10 Ausschnitt aus dem PGAA Energiespektrum von 50keV bis 400keV, mit den<br />

typischen Iridiumlinien<br />

Polierte Probe<br />

Geschliffene Probe<br />

Z Element M <br />

1 H 1,008 2,01E-5 7,18E-8<br />

5 B 10,81 - 1,33E-8<br />

6 C 12,01 0,47 0,503<br />

14 Si 28,09 7,95E-5 -<br />

17 Cl 35,45 1,34E-6 3,05E-7<br />

26 Fe 55,85 5,20E-6 -<br />

39 Y 88,91 2,96E-4 -<br />

40 Zr 91,22 4,62E-5 -<br />

77 Ir 192,2 7,95E-5 -<br />

Tabelle 3 Quantitativewerte der PGAA Messung<br />

Die Tabelle 3 zeigt die Ergebnisse der PGAA-Messung. Das Iridium ist bei der geschliffenen<br />

Probe nicht mehr nachzuweisen. Chlor kann durch eine Verunreinigung der Hände auf die<br />

Probe gelangt sein. Eisen trat in der polierten Probe mehr als in der geschliffenen auf. Die<br />

Nachweisgrenze der PGAA liegt bei Iridium bei einem Atom pro zwei Millionen Atome(0,5<br />

19


ppm). Es konnte nachgewiesen werden, dass mit dem Schleifprozess die Iridiumschicht<br />

deutlich verringert wurde.<br />

Zwanzig Tage nach der Messung am PGAA Instrument wurde vom Strahlenschutz eine<br />

Gammaspektroskopie durchgeführt, die Messungen für die beiden Kristalle sind in Tabelle 4<br />

illustriert.<br />

Polierte Probe<br />

Geschliffene Probe<br />

Z El Aktivität Aktivität<br />

77 Ir 3760 Bq 2,2E-3 Bq<br />

Tabelle 4 Gammaspektroskopie nach 20 Tagen. Es ist ein Unterschied in der Größenordnung<br />

von 1E6 zu erkennen.<br />

Die Aktivität der beiden Proben unterscheiden sich um einen Faktor von 1 10 .<br />

3.3. Neutron Activation Analysis (NAA)<br />

Bei der PGAA wurde die Gammastrahlung beim Neutroneneinfang gemessen. Bei der<br />

Neutronenaktivierungsanalyse wird die sekundäre Gammastrahlung beim<br />

elementspezifischen Zerfall ermittelt, vergleiche hierzu Abbildung 7. Die NAA ist für<br />

Elemente mit einer großen Halbwertszeit genauer, jedoch wird bei den<br />

Sekundärengammalinien mit einem größeren Neutronenfluss gearbeitet. Üblicherweise wird<br />

zuerst eine PGAA vorgenommen, um sicher zu stellen, dass die Kristalle bei den Messungen<br />

nicht zu hoch aktiviert werden.<br />

3.3.1. Experiment Aufbau<br />

Hierbei wird eine Plastikkapsel mit fünf zufällig ausgewählten Diamantproben bestückt und<br />

direkt im Moderatorbecken positioniert. Die Bestrahlungszeit lag bei 10 Minuten bei einem<br />

Neutronenfluss von 4 10 <br />

.<br />

3.3.2. Messergebnisse<br />

Iridium [] Die fünf abgeschliffenen Proben variieren von 100 bis 1 . Legt<br />

man eine Höchstmenge von 1 pro Diamantkristall zugrunde, so liegt<br />

700<br />

die erwartete Dosisleistung durch die Aktivierung nach zehn<br />

900 Reaktorzyklen à 60 Tagen im Neutronenstrahl eines typische<br />

Streuinstruments wie zum Beispiel dem Diffraktometer HEiDi zu<br />

250<br />

Grunde einen Diamantmonochromator deutlich niedriger als 1. Es<br />

130 kann also bereits jetzt davon ausgegangen werden, dass der<br />

Abschleifprozess von Iridium ausreichend ist.<br />

115<br />

20


3.4. Zusammenfassung<br />

192 Ir ist auch auf den abgeschliffenen Diamanten noch nachzuweisen, jedoch vermindert der<br />

Schleifprozess die Iridiummasse drastisch um den Faktor 10 . Anhand von<br />

Überschlagsrechnungen zeigt sich, dass ein Diamantmonochromator mit solch einer<br />

geringen Masse von Iridium keine nennenswerte Aktivierung aufweisen wird. Mit Hilfe der<br />

NAA können zehn Proben mit einem relativ geringen Aufwand gleichzeitig untersucht<br />

werden. Daher kann der Schleifprozess gut stichprobenartig anhand der NAA kontrolliert<br />

werden.<br />

21


4.0. Untersuchung von Diamantkristallen mit<br />

Neutronenstreuinstumenten<br />

Der Monochromator-Prototyp am Instrument D9 ILL zeigte leider nicht die erwartete<br />

Performance, bei einer Wellenlänge von 0,5 Å und 0,8 Å erreichte er nicht die gewünschte<br />

Intensität. Dennoch zeigten alle bisherigen Untersuchungen einzelner Kristalle die<br />

vorausgesagten Eigenschaften bezüglich ihrer Reflektivität (1) (2). Zur Erklärung der<br />

fehlenden Intensität kommen verschiedene Ursachen in Frage: Bei nahezu perfekten<br />

Kristallen könnte Mehrfachstreuung auftreten. Eine andere mögliche Erklärung für die<br />

fehlende Intensität könnte auf der geometrischen Abweichung der Einzelkristalle von einem<br />

ebenen Plättchen beruhen..<br />

Schon 1937 berichtete Renninger vom Phänomen der sogenannten Umweganregung an<br />

perfekten Kristallen (19). Durch mehrfache Streuung beim Durchgang durch den Kristall<br />

(„Umwege“) können einerseits Reflexe, die durch die Kristallsymmetrie eigentlich nicht<br />

erlaubt, also ausgelöscht sind, trotzdem auftreten, andererseits kann die Intensität starker<br />

Reflexe deutlich vermindert sein. Dieses Phänomen wurde bei Messungen mit<br />

Röntgenstrahlung beobachtet, ist aber nicht prinzipiell auf diese beschränkt. Die<br />

Einflussgrößen sind die Kristallgröße und die Kristallgüte. Daher tritt dieses Phänomen nicht<br />

bei Pulverproben auf sondern nur bei größeren, nahezu perfekten Kristallen, wie es unserer<br />

Problematik entspricht. Diese Mehrfachstreuung könnte also ein Grund der verringerten<br />

integralen Intensität sein. .<br />

Zur Verdeutlichung ist in Abbildung 11 eine Ewaldkonstruktion für die in unserem Fall<br />

verwendete Streuebene des Diamantgitter angefertigt. Für die Ewaldkonstruktion wird die<br />

durch die beiden reziproken Richtungsvektoren und aufgespannte Ebene mit<br />

den darin eingetragenen Gitterpunkten aufgezeichnet. Die Streubedingung ist erfüllt für<br />

Gitterpunkte die auf einem Kreis mit dem Radius des Betrags des Wellenvektors liegen, der<br />

zugleich durch den Ursprung des reziproken Gitter verläuft. Man erkennt zum Beispiel für<br />

den Kreis der einer Wellenlänge von 0,84 Ǻ entspricht, dass dieser weitere Gitterpunkte<br />

berührt, hier ist also die Bragg-Bedingung mehrfach erfüllt. Um diese Erklärung experimentell<br />

zu überprüfen, soll der Kristall in einem polychromatischen Neutronenstrahl untersucht<br />

werden, also letztlich die Intensität eines starken Gitterreflexes abhängig von der<br />

Wellenlänge untersucht werden.<br />

22


Abbildung 11 Ewaldkonstruktion für C*(220) und C*(400) für typische Wellenlängen<br />

Wenn keine Mehrfachstreuung auftritt, sollte die Auswertung eine kontinuierlich steigende<br />

Kurve ergeben, die im Wesentlichen von der Primärstrahlintensität , also dem Spektrum der<br />

Neutronen am Instrument herrührt. Schwächungen des untersuchten Reflexes durch<br />

Mehrfachstreuung sollten als Einbrüche im Kurvenverlauf sichtbar werden. Für unseren<br />

Zweck sehen wir uns den starken (220)-Reflex an, da dieser auch beim Prototypen am<br />

Instrument D9 in Transmissionsgeometrie genutzt wurde und durchlaufen die verschieden en<br />

Wellenlängen.<br />

~ <br />

Die Funktion , die wir aus der Messung erwarten, muss vom Primärfluss abhängen,<br />

die der Maxwell-Bolzmann-Verteilung am Instrument entspricht. Unter anderem spielt die<br />

Neutronenreflektivität des Diamanten in die Messung mit ein und eine geometrische<br />

Winkelkorrektur , denn die Kristalle konnten, bedingt durch ihre Krümmung, nicht exakt<br />

auf die Aluminiumfahne aufgeklebt werden. Die Kristalle sind zueinander verkippt und jeder<br />

Kristall reflektiert bei der Messung eine geringfügig andere Wellenlänge.<br />

23


4.1. Streuexperiment mit Diamantkristallen im weißen Strahl am<br />

Instrument Antares<br />

4.1.1. Experiment Aufbau<br />

Am FRM II bietet das Instrument Antares die Möglichkeit das Experiment durchzuführen.<br />

Antares ist grundsätzlich bei den bildgebenden Verfahren einzuordnen. In der Regel wird es<br />

für Radiographie und Tomographie Experimente mit kalten Neutronen genutzt. Durch die<br />

geräumige Probenkammer erlaubt das Instrument für das hier beschriebene Experiment den<br />

notwendigen zusätzlichen Aufbau vorzunehmen. Bei der Messung am Instrument Antares<br />

blicken wir auf die kalte Quelle, daher ist das Spektrum zu Gunsten der langsamen<br />

Neutronen verschoben, vergleichen wir hierzu Abbildung 12. Die schwarze Linie zeigt uns<br />

den Neutronenfluss, abhängig zur Wellenlänge. Es darf eine Maxwell-Boltzmann-Verteilung<br />

angenommen werden, deren Maximum bei ca. 1,2 Ǻ liegt. Der Neutronenfluss fällt zu kleinen<br />

Wellenlängen hin stark ab. Im Wellenlängenbereich von 0.5 Å bis 1 Ǻ sollte bei unseren<br />

Messungen die Intensität mit zunehmender Wellenlänge stetig zunehmen<br />

Abbildung 12 Neutronenfluss am Instrument Antares abhängig von der Wellenlänge für<br />

verschiedene Filter, die Messung hier wurde ohne Filter durchgeführt.<br />

Der Durchmesser des Neutronenstrahls kann verschieden groß gewählt werden, jedoch<br />

maximal 40 cm x 40 cm Strahlquerschnitt.<br />

Bei Antares kommt ein Flächendetektor für Neutronen zum Einsatz. Vereinfacht formuliert<br />

verwandelt der Detektor die auftreffenden Neutronen über einen speziellen Kristall, der Li als<br />

Neutronenabsorber enthält (Szintillator) in Licht um. Dieses wird mittels zweier Spiegel<br />

umgelenkt und trifft auf eine durch ein Peltierelement gekühlte CCD-Kamera. Die optische<br />

Ablenkung des Lichtstrahls hat den Sinn, dass die Kamera nicht im direkten Neutronenstrahl<br />

steht, wo auch ein hoher γ-Fluss herrscht. Dies würde die Kamera langfristig zerstören und<br />

auch Bauteile radioaktiv aktivieren. Die Bleiabschirmung um die Kamera hindert die γ -<br />

Strahlung daran, auf den CCD-Chip der Kamera zu treffen. Zusätzlich ist der Detektor mit<br />

Borcarbid-Matten umhüllt. Das Bor hat einen hohen Neutroneneinfang und schirmt die Box<br />

24


vor Neutronen ab. Um die Kamera vollständig vor der γ -Strahlung zu schützen, werden sehr<br />

dicke Bleiwände benötigt. Blei hat jedoch eine sehr hohe Dichte ρ=11,34 kg∙dm -3 . Daher<br />

muss ein Konsens zwischen Handling und Messgenauigkeit getroffen werden.<br />

Abbildung 13 Antares Instrument am FRM II mit eingezeichneten Experiment Aufbau Ort(8)<br />

25


Abbildung 14 Experimentaufbau mit Objektbeschreibung a) Schräge Ansicht mit Schnitt b)<br />

Draufsicht<br />

In Abbildung 14 ist der Weg der Neutronen im Experiment nochmal veranschaulicht<br />

dargestellt. Der an den Probenkristallen reflektierte Strahl wird am Szintillator teilweise zu<br />

Licht umgewandelt. Der transmittierte Strahlanteil läuft weiter, bis er an einer Abschirmung<br />

des Instruments vollständig absorbiert wird. Das umgewandelte Licht wird mit Hilfe von zwei<br />

Spiegeln in die CCD-Kamerabox geleitet. In der Abbildung 14 a) ist nur die Rundöffnung für<br />

die Fokussierung der Kamera zu erkennen, jedoch nicht die Kamera selbst.<br />

Abbildung 15 Bild des Messaufbaus mit eingetragenen Bezeichnungen<br />

26


Abbildung 16 Bewegungsrichtungen des Experiment Aufbaus a) Schräge Ansicht b) Draufsicht<br />

Die Detektorbox ist auf einem xyz-Tisch montiert, der mit einem zusätzlichen Drehtisch<br />

ausgestattet ist, um eine Drehbewegung zu ermöglichen (vergleiche Abbildung 16, mit roten<br />

Pfeilen markiert). Die möglichen Bewegungen der Kristalle sind mit blauen Pfeilen<br />

eingezeichnet und beschreiben den Fahrweg, den sie nehmen können. Der Lineartisch kann<br />

nach Belieben verschiedene Diamanten in die vertikale Drehachse des darunter aufgebauten<br />

Drehtisches fahren. So muss der Neutronenstrahl nicht abgeschaltet werden um von Hand<br />

die Kristalle in den Strahl zu drehen. Der Schwerpunkt des Detektors wird in der Nähe des<br />

Drehtisches befestigt, da der gesamte Aufbau des Versuches um die 350 kg wiegt. Die<br />

Bleiabschirmung der Detektorbox ist die größte Masse und könnte beim falschen Anbringen<br />

den Drehtisch zerstören. Daher wurde der Schwerpunkt vorher bestimmt und auf das<br />

Drehzentrum montiert. Die Diamanten können zehn, zwanzig und dreißig Zentimeter vom<br />

Szintillator entfernt befestigt werden.<br />

Abbildung 17 Bild des gesamten Messaufbaus und eingezeichneter polychromatischer<br />

Neutronenstrahl<br />

27


4.1.1.1. Probenhalter mit Lineartisch<br />

Als Vorbereitung für das orientierte Aufkleben von mehreren Kristallen auf einen<br />

gemeinsamen Träger, wie es für den Einsatz als Monochromator nötig ist, wurde ein<br />

Probenhalter mit einer Verschiebeeinheit konzipiert. Der Halter bietet die Möglichkeit, drei<br />

Diamanten gleichzeitig nebeneinander zu montieren. In Abbildung 18 sind die drei<br />

rechteckigen Aussparungen zu erkennen, die jeweils einen Millimeter tief sind. Die Fahne ist<br />

aus Aluminium gefertigt. Aluminium ist als Trägermaterial geeignet, weil es einen geringen<br />

Neutroneneinfangsquerschnitt besitzt und sich im Neutronenstrahl wegen der schnellen<br />

Abklingzeit nur kurz aktiviert. Die Kristalle werden mit Hilfe von Carnaubawachs befestigt.<br />

Der Tropfpunkt des Wachses liegt zwischen 81 und 86 °C und kann mittels Lötkolben und<br />

Heißluftföhn auf Verarbeitungstemperatur gebracht werden. Da der Rohstoff Diamant der<br />

beste Wärmeleiter der Natur ist, muss der Diamant mit dem Wachs auf ungefähr 90°C erhitzt<br />

werden. Mit dieser Methode des Befestigens können verschiedenste Diamanten montiert<br />

und gleichzeitig zerstörungsfrei demontiert werden. In Tabelle 5 ist die Anordnung der<br />

Kristalle bei den verschiedenen Messungen zu erkennen. Die Positionen A, B und C sind<br />

aus der Abbildung 18 zu entnehmen.<br />

Abbildung 18 Diamanthalter und Ausrichtung der Kristallen zu Ihrer Netzebene<br />

Diamantenanordnung Position A Position B Position C Winkel<br />

1 Messung - Unten: 250-2<br />

- 46° - 60°<br />

Oben: 250-1<br />

2 Messung 255-2 - 318 30° - 60°<br />

3 Messung 297-2 238-2 265-2 30° - 90°<br />

Tabelle 5 Übersicht der Positionierung der Diamanten<br />

28


Richtung 1 Richtung 2<br />

Kristallnummer Radius [m] Konvex/<br />

Konkav<br />

Radius [m]<br />

Konvex/<br />

Konkav<br />

250-1 5,7 Konkav 4,3 Konkav<br />

250-2 3,9 Konvex 3,9 Konkav<br />

255-2 3,6 Konvex 1,5 Konvex<br />

318<br />

Tabelle 2 Röntgen Charakterisierung der Diamanten<br />

Die Kristalle wurden mit einem Röntgendiffraktometer vorgemessen. Die Messungen wurden<br />

von unserem Kooperationspartner in Augsburg gemacht und sind vereinfacht in Tabelle 3<br />

dargestellt. Hierbei ist zu erkennen, dass die Radien in horizontaler und vertikaler Achse<br />

stark variieren. Die erste Zahlenkombination ist der ganze Kristall, der auf dem Siliziumwafer<br />

und der Iridium-Schicht mittels Gasabscheideverfahren produziert wurde. Die zweite<br />

Nummer beschreibt, von welcher Stelle der quadratische Kristall abgeschnitten wurde.<br />

Besonders auffällig ist dabei, dass selbst Kristalle, die aus demselben Herstellungsverfahren<br />

stammen, sich stark im Radius unterscheiden.<br />

Abbildung 19 Hergestellter Kristallhalter, Lineartisch und Goniometer-Verbindung<br />

29


4.1.1.2. Winkelkorrekturen<br />

Zur Durchführung der Messung soll entsprechend der Streubedingung (Bragg-Gleichung) die<br />

reflektierte Intensität des Probenkristalls in Abhängigkeit vom Streuwinkel aufgezeichnet<br />

werden. Der Messaufbau am Antares erlaubt nicht die direkte konzentrische Winkeldrehung<br />

um die Kristallmitte, einen sogenannten Ө-2Ө Scan, wie es für die Messung nötig wäre.<br />

Daher wird der Messaufbau für jeden angefahrenen Streuwinkel mit einer<br />

Translationsbewegung nachgeführt, um die sich aus der Rotation der Detektorbox<br />

ergebende seitliche Verschiebung der Kristallmitte zu kompensieren. In Abbildung 20 werden<br />

die Winkelbeziehungen sichtbar, die bei unserem Messaufbau gelten.<br />

Es gilt:<br />

sin(90-α)=y 1 /A<br />

y 1 =A∙cos(α)<br />

sin(α)=y 2 /B y 2 =B∙sin(α) y Gesamt =y 1 + y 2 =B∙sin(α)+A∙cos(α)<br />

Abbildung 20 Korrekturfaktor abhängig der Winkeldrehung<br />

Die Parameter A und B sind bekannt und sind die Abstände vom Drehpunkt zum Kristall.<br />

30


4.1.2. Messergebnisse<br />

4.1.2.1. Intensitätsverlauf abhängig von der Wellenlänge<br />

Zunächst wurde der Messaufbau so eingerichtet, dass der zu untersuchende Kristall vom<br />

einfallenden Neutronenstrahl vollständig ausgeleuchtet war. Dann wurde der maximal<br />

mechanisch mögliche Streuwinkel eingestellt, und die Drehung des Kristalls so abgeglichen,<br />

dass sich das Streubild des (220) Reflexes ungefähr in der Schirmmitte des Detektors<br />

befand.<br />

Es wurden dann für jeden Streuwinkel mehrere Detektoraufnahmen gemacht und die<br />

Graustufen aufsummiert. Die Schrittweite für den Streuwinkel 2Ө betrug bei der ersten<br />

Messung 0,1° und bei der zweiten Messung 0,2°. Zur Auftragung des Ergebnisses wird<br />

entsprechend der Bragg-Gleichung aus dem halben Streuwinkel Ө die reflektierte<br />

Wellenlänge für den (220) Reflex errechnet. Die Auswertung der Graustufen wurde mit dem<br />

Programm Image J durchgeführt. Hierbei wird das entsprechende Feld markiert und es kann<br />

der Graustufendurchschnitt des Feldes errechnet werden. Wenn γ-Punkte in dem Feld<br />

beinhaltet waren, wurde ein Medianfilter eingesetzt, um diese aus der Messung<br />

auszuschließen.<br />

Abbildung 21 Relativer Primärstrahl und relative Messwerte von den Antaresmessungen für<br />

den Diamanten mit der Nummer 318<br />

Die gemessene Intensität (blaue Messpunkte) wurde zusammen mit der Primärintensität aus<br />

dem Neutronenspektrum am Instrument Antares (mit schwarzer Linie gekennzeichnet) in<br />

31


Abbildung 21 dargestellt. Es ist zu sehen, dass die Messwerte sehr gut dem Verlauf des<br />

Primärspektrums folgen und nur gering vom Primärspektrum abweichen. Aufgrund der Art<br />

und Weise der Mehrfachstreuung, die von Renninger beschrieben wird, sollten<br />

„Umwegsanregungen“ bei kleineren Wellenlängen auftreten (19). Jedoch ist im Bereich der<br />

kleineren Wellenlängen von 0,65 bis 0,95 der Messkurvenverlauf sehr glatt und zeigt<br />

keine größeren Messwertausreißer. Die Einbrüche, die mit einem roten Strich eingezeichnet<br />

sind, können nicht ohne weiteres einem Effekt zugeordnet werden. Zusammenfasend zeigt<br />

sich jedoch, dass Mehrfachstreuung als Ursache für den gravierenden Intensitätsverlust für<br />

den Prototyp Monochromator am D9 ILL in Grenoble ausgeschlossen werden kann.<br />

32


4.1.2.2. Fokussierende und defokussierende Eigenschaften der<br />

Diamanten<br />

Abbildung 22 Aufnahmen der Kristalle bei 0° und 180° beim 220 Reflex bei 1,26 Å Wellenlänge<br />

Durch Verbiegung zeigen die Kristalle je nach Orientierung eine fokussierende oder eine<br />

defokussierende Wirkung. In Abbildung 22 sind sechs Kristalle mit einer Aufnahme bei<br />

jeweils einer 0° und einer 180° Horizontaldrehung zu sehen. Bei den Aufnahmen der Reflexe<br />

wurde die Streubedingung für den (220) Reflex bei einer Wellenlänge von 1,26 Å eingestellt.<br />

Es steht der Detektor also bei einem Winkel von 2Ө = 60°, der Kristall wurde um seine<br />

vertikale Achse um den Winkel Ө = 30° gedreht. Ein Vergleich der Größe des<br />

Reflektionsbildes der Kristalle mit den Kristallradien aus der Röntgencharakterisierung zeigt,<br />

dass die fokussierende und defokussierende Wirkung wie erwartet bei stärkerer Krümmung<br />

zunimmt. Die Grauwerte aus dieser Grafik können nicht untereinander verglichen werden, da<br />

die Bilder bei unterschiedlichen Kontrast- und Helligkeitseinstellungen gemacht wurden, um<br />

die Reflexe besser zu erkennen.<br />

33


Abbildung 23 Aufnahme der fokussierenden bzw. defokussierenden Wirkung der Kristalle bei<br />

Messung 1 und 2<br />

Abbildung 23 zeigt den Messaufbau für die erste und zweite Messung, der Szintillator besitzt<br />

dabei eine Größe von 150 x 150 mm². Hier ist die θ-2θ Anordnung zur Einhaltung der<br />

Streubedingung des (220) Reflexes dargestellt. Diese Einstellung streut Neutronen der einer<br />

Wellenlänge von 1,26 Å, dem ungefähren Maximum des Intensitätsspektrums am Instrument<br />

Antares.<br />

4.1.2.2.1 Untersuchung des Krümmungsradius für die fokussierende und<br />

defokussierende Wirkung<br />

Ausgehend von der Annahme die fokussierende bzw. defokussierende Wirkung der Kristalle<br />

beruht auf ihrer Krümmung, wurde die geometrische Abbildung 24 unter der Annahme eines<br />

homogen gebogenen Kristalls mit den Messdaten auf dem Detektorschirm verglichen. Bei<br />

den ersten zwei Messungen am Antares Instrument wurden die Diamanten, in Transmission<br />

mit dem Wellen-Vektor 220 und bei der dritten Messung in Reflexion mit 004,<br />

ausgerichtet.<br />

34


Abbildung 24 Skizze des Strahlengang der Neutronen bei der Anordnung von Transmission<br />

und Reflexion<br />

Transmission:<br />

cos q <br />

<br />

l l cosq<br />

Trigonometrischer Zusammenhang: sin q cos q 1<br />

cos q Ö1 sin q<br />

l l 1 sin q<br />

Bragggleichung: 2d sinq sin q <br />

<br />

<br />

l l 1 <br />

2 d <br />

<br />

f € <br />

<br />

‚<br />

Kreisbogen:<br />

ƒ „ …†‡°<br />

ˆ ‰<br />

”<br />

“ 1 <br />

2 • – —˜<br />

Š ‹Œ Ž ‘ ‘’ Ž <br />

2 tan “ 180°<br />

š<br />

“ › “ œ ž 2 Ÿ ¡¢£›Ž¤ tan “ 180°<br />

š<br />

<br />

“ › l 1 <br />

2 d <br />

<br />

ž 2 Ÿ ¡¢£›Ž¤ tan “ 180°<br />

š<br />

<br />

35


Reflexion:<br />

“ œ “ sin ¥<br />

Bragggleichung: 2• ¦—„ sinq sin q <br />

<br />

Š ‰œ „œ§‘¨Ž <br />

“ œ “ ”<br />

2• – —˜<br />

“ œ<br />

2 tan F “ ”<br />

4 • – —˜ tan “ 180°<br />

š<br />

“ › “ œ ž 2 Ÿ ¡¢£›Ž¤ tan “ 180°<br />

š<br />

“ › “ ” ž 2 Ÿ ¡¢£›Ž¤ tan “ 180°<br />

2• – —˜ š<br />

¥ ist der Braggwinkel, Ÿ ¡¢£›Ž¤ beschreibt den Abstand vom Detektor zum Kristall und “<br />

bezeichnet die Länge der Diamantkristalle, in unserem Fall 15 ©©. R ist der Radius der<br />

Kristalle und F gibt den Krümmungswinkel der Kristalle an. Die berechneten Daten sind die<br />

Längen des Reflexes “ › auf dem Szintillator.<br />

4.1.2.2 Vergleich von Hypothese und Messungen<br />

Transmission a=0,3 m<br />

Fokussiert<br />

ª «¬ [mm]<br />

Defokussiert<br />

ª «­ [mm]<br />

Radius [m] Errechnet Gemessen Errechnet Gemessen<br />

297-3 1,7 7,70 5,80 18,3 18,70<br />

297-1 1,9 8,30 6,60 17,7 17,40<br />

250-1 5,7 10,90 10,9 15,1 15,00<br />

250-2 3,9 10,70 10,2 15,3 15,00<br />

255-2 1,5 7,00 6,70 19,0 19,60<br />

Alle Kristalle in 220 Transmission, bei einem Thetawinkel von 30°, gemessen.<br />

Fokussiert<br />

ª «¬ [mm]<br />

Defokussiert<br />

ª «­ [mm]<br />

Reflexion, a=0,2m Errechnet Gemessen Errechnet Gemessen<br />

Radius [m]<br />

265-2 4,3 9,21 9,36 12,00 12,57<br />

297-2 1,7 7,08 7,02 14,10 14,33<br />

238-2 43 10,7 11,7 10,50 10,53<br />

Alle Kirstalle bei der 004 Reflexion, bei einem Thetawinkel von 45°, gemessen.<br />

36


Es zeigt sich, dass die gemessenen Werten sehr gut mit den errechneten Werten<br />

übereinstimmen. Dies belegt, dass die Krümmung der Kristalle die Ursache für die<br />

Fokussierung der Neutronen ist. Aus den Formeln wird ersichtlich, dass der<br />

Produktionsradius der Diamanten von š 5 Meter auf š ® 10 Meter angehoben werden<br />

muss. Hierbei ist nochmal zu erwähnen, dass die Kristalle für heiße Neutronen, bei einem<br />

Fokus von 2,5 Meter, spezifiziert sind.<br />

37


4.2. Messung der Reflektivität am Diffraktometer mit heißen<br />

Neutronen HEiDi<br />

Dieses Experiment soll die Röntgencharakterisierung und die Neutronenmessungen mit<br />

einander vergleichen. Es ist zu erwarten, dass die Neutronen das gleiche Ergebnis zeigen<br />

wie die Röntgenstrahlung am gekrümmten Kristall.<br />

4.2.1. Experiment Aufbau<br />

Abbildung 25 Das Diffraktometer HEiDi am FRM II a) Foto des Instrument b) Schema des<br />

Instrument (8)<br />

Der Lineartisch mit dem Kristallhalter lässt sich am Probenort des Diffraktometers<br />

(Eulerwiege, im Bild türkis) montieren. In Abbildung 25 b ist der Probenort mit 4 – sample<br />

gekennzeichnet. HEiDi ist am einem Strahlrohr mit Blick auf die heiße Quelle des FRM II<br />

aufgebaut. Daher eignet es sich insbesondere für Untersuchungen bei kurzen Wellenlängen<br />

von ” 0.5¯Å¯ ¯1,1¯. Der Neutronenstrahl wurde durch Blenden auf 1 mm Breite und circa<br />

15 mm Höhe eingeschränkt um ortsaufgelöst messen zu können. Mit Hilfe des Lineartisches<br />

wurde der jeweils untersuchte Kristall dann in Schritten von je 1 mm durch den Strahl bewegt<br />

und jeweils ein Rocking-Scan aufgenommen. Bei diesem Scan wird bei festgehaltenem<br />

Streuwinkel der Kristall um seine vertikale Achse gedreht. Die Winkellage des<br />

Intensitätsmaximums erlaubt damit den Rückschluss auf die Krümmung des Kristalls. Es<br />

wurden Kristalle mit geringer, mittlerer und sehr starker Krümmung untersucht.<br />

38


Abbildung 25 Neutronenstrahl auf den Diamanten mit Messschemata<br />

4.2.2. Messergebnisse<br />

Abbildung 26 Rocking-Scans des Diamantkristalls #297-2 mit einem kleinen Krümmungsradius,<br />

also starker Krümmung<br />

39


Abbildung 27 Rocking-Scans des Diamantkristalls #267-2 mit einem mittleren<br />

Krümmungsradius, also mäßiger Krümmung<br />

Abbildung 28 Rocking-Scans des Diamantkristall #318 mit einem großen Krümmungsradius,<br />

also sehr geringer Krümmung<br />

40


In den Abbildungen 26, 27, 28 ist deutlich zu erkennen, dass die Neutronenablenkung von<br />

dem Krümmungsgrad der Diamanten abhängt. Je größer die Krümmung, desto mehr variiert<br />

die Winkellage des Intensitätsmaximums der Rocking-Scans.<br />

Eine Überschlagsrechnung der maximal auseinander liegenden Kurven zeigt:<br />

± ²<br />

³<br />

…†‡°<br />

² ¡ …†‡°<br />

ˆ ´³<br />

² µ_ <br />

² ¹º_ <br />

² »…† <br />

0,015© 180°<br />

·17,97° 17,70°¸ 4,3¯©<br />

0,015© 180°<br />

·17,93° 17,7°¸ 3,7¯©<br />

0,015© 180°<br />

·18,42° 18,40°¸ 43,0¯©<br />

Abbildung 29 Skizze zur Berechnung des<br />

Kreisbogens<br />

265_2 [m] 297_2 [m] 318 [m]<br />

² ‰öŽ£¼œŽ 4,3 1,7 43<br />

² ½œ¾£¿¨Ž 4,3 3,7 43,0<br />

Die Röntgencharakterisierung der Diamanten stimmt also sehr gut mit den Messungen der<br />

Neutronen überein. Daher kann die Röntgencharakterisierung als ein Kriterium für die<br />

Fokussierung und Defokussierung der Kristalle genutzt werden.<br />

41


4.3. Interpretation<br />

Eine Überprüfung der Iridiumverunreinigungen am Diamanten kann gut über die NAA<br />

kontrolliert werden. Die Schleifarbeiten der Universität Augsburg sind erfolgreich, daher stellt<br />

die Aktivierung kein Hindernis für den weiteren Monochromatorbau dar.<br />

Die schlechte Performance des vorhandenen Monochromators am D9 ILL Grenoble, lässt<br />

sich durch die verschiedenen Fokuspunkte der Diamanten ausgehend von ihrer Krümmung<br />

verstehen.<br />

Die Aufgabe besteht darin, die Intensität von 16 x 3 Kristallen, die für einen Monochromator<br />

benötigt werden, gemeinsam auf einen Probenort treffen zulassen. Dies bedeutet einen<br />

großen Justageaufwand mit nahezu identischen Krümmungsradien. Jeder einzelne Kristall<br />

muss unter dem Reflex eines Neutronenstrahls ausgerichtet werden. Dies beansprucht viel<br />

Messzeit an einem Neutronenstreuinstrument.<br />

Die bisherige Spezifikation der produzierten Rohkristalle bezüglich minimal erlaubter<br />

Krümmung muss unter der Kenntnis der fokussierenden bzw. defokussierenden Wirkung<br />

revidiert werden. Der Krümmungsradius der durchschnittlichen Produktion liegt bei fünf<br />

Metern, variiert dabei stark. Für die Nutzung als Monochromator an den Instrument HEiDi<br />

oder ReSI sollte der Krümmungsradius deutlich größer sein. Bei den beiden Instrumenten<br />

liegt der Probenort circa zweieinhalb Meter vom Monochromator entfernt, damit wäre wohl<br />

ein minimaler Krümmungsradius der Diamantkristalle von circa zehn Metern notwendig. Bei<br />

kleineren Radien unter zehn Metern wird die Neutronenintensität nicht am Probenort<br />

konzentriert und geht verloren. Eine weitere Verbesserung der Prozessparameter bei der<br />

Produktion der Kristalle ist nötig, was einen erheblichen Entwicklungsaufwand für die<br />

Arbeitsgruppe der Universität Augsburg bedeutet.<br />

Mit Kristallen der bisherigen Produktion werden FRM II und ILL keinen geeigneten<br />

Monochromator herstellen können. Weitere Überlegungen durch einen erhöhten Aufwand<br />

bei der Vororientierung und der Montage der Kristalle auf dem Kristallhalter sollen die<br />

Nutzung der bereits produzierten und gereinigten Diamanten ermöglichen.<br />

Eine Möglichkeit bestünde darin die Kristalle auf eine Größe von 7,5 x 15mm zu zerteilen,<br />

damit würde die Wirkung der Krümmung halbiert. Eine Zerkleinerung der Diamanten erhöht<br />

jedoch natürlich auch den Justageaufwand um ein Vielfaches, zudem wird die technische<br />

Realisierung umso schwieriger, desto kleiner die Kristalle sind.<br />

Ein besseres Verständnis der neutronenoptischen Eigenschaften für die Auswahl der<br />

Kristalle kann durch numerische Simulation mit einem Simulationsprogramm erzielt werden.<br />

Hier könnte die Problematik für einen Monochromator im Einsatz an einem spezifischen<br />

Instrument simuliert werden, um das Problem besser zu verstehen und weitere<br />

Lösungsansätze für die produzierten Diamanten zu erhalten.<br />

42


Literaturverzeichnis<br />

1. Freund, A.K. Singel-crystal diamond: a potential gem in neutron instrumentation. Applied<br />

Crystallography. 2009, 42.<br />

2. Freund, A.K. Diamond mosaic crstals for neutron instrumtion: First experimental results . 2011,<br />

Bde. 28 - 36, A 634.<br />

3. Schreck, M. Vorhabensbeschreibung (111)-orientierte Diamantkristalle als<br />

Monochromatormaterial für Neutronenstreuexperiment. Augsburg : s.n., 2013.<br />

4. Courtois, P. Diamond Meeting April. Grenobel : ILL, 2013.<br />

5. Courtois, P. The first prototype diamond monochromator at the Instrument Laue-Langevin. Nicht<br />

akzeptiertes Paper. 2013.<br />

6. Dianoux, A. und Lander, G. Neutron Data Booklet. Grenoble : Institut Laue-Langevin, 2002.<br />

7. Link, Dr. Peter und al., et. Experimental facilities Forschungs-Neutronenquelle Heinz Maier-Leibnitz<br />

(FRMII). Garching : Vorstandsdirektor des FRMII, 2013.<br />

8. Link, P. Cutting edge Research with Neutrons. Garching : Technische Universität München (FRMII),<br />

2010.<br />

9. Bacon, G. und Lowde, R. Secondary Extinction and Neutron Crystallography. Acta Crystl. 1948, Bd.<br />

1, 303.<br />

10. Conference on Neutron Scattering. Freund, A. Report CONF-760601-p2 : Oak Ridge National<br />

Laboratory, p11143, 1976.<br />

11. Vogt, T. und Passell, L. Using wafer stacks as neutron monochromators. NIM. 1994, Bd. A338, 71<br />

- 77.<br />

12. Hohlwein, D. Gebogene Kupfermonochromatoren für Neutronen. J. Appl. Cryst. 1975, Bd. 8, 465.<br />

13. Rustichelli, F. Study of a composite neutron monochromator system consisting of crystals with a<br />

gradient of the lattice spacing. NIM. 1970, Bd. 83, 124 - 130.<br />

14. Shirane, Gen und Shapiro, Stephan. Neutron Scattering with a Triple-Axis Spectrometer Basic<br />

Techniques. Cambrige : Cambrige University Press, 2002. 9780521411264.<br />

15. Schreck, M., Roll, H. und Stritzker, B. Diamnod/Ir/SrTIO3: A material combination for improved<br />

heteroepitaxial diamand films. APL. 1999, Bd. 74, 650.<br />

16. Zhang, X. und Boyen, H. Epitaxy of cubic boron nitride on (001)-oriented diamnond. Nature<br />

Materials. 2003, Bd. 2, 312 - 315.<br />

17. Katoh, M. und Aoki, M. Plasma-Enhanced Diamond Nucleation on Si. J. Appl. Phys. . 1994, Bd. 33,<br />

194 - 196.<br />

43


18. Li, H., Gowri, M. und Schermer, J. Bias enhanced diamond nucleation on Mo and CrN coeated<br />

stainless steel substrates in a HFCVD reactor. Diamond and Releated Materials . 2007, Bd. 16, 1918 -<br />

1923.<br />

19. Renninger, M. "Umwegsanregung" eine bisher unbeachtete Wechselwirkungerscheinung bei<br />

Raumgitterinterferenzen. 1937, Bd. 106, 141 - 176.<br />

44


Angaben für die Abgabeerklärung<br />

in der Bachelorarbeit<br />

Erklärung<br />

Hiermit erkläre ich, dass ich die vorliegende Arbeit mit dem Titel<br />

Diamantkristalle als Monochromatormaterial für Neutronenstreuinstrumente<br />

selbständig verfasst, noch nicht anderweitig für Prüfungszwecke vorgelegt, keine anderen<br />

als die angegebenen Quellen oder Hilfsmittel benützt sowie wörtliche und sinngemäße Zitate<br />

als solche gekennzeichnet habe.<br />

München, den 02.01.2014 Unterschrift :_________________________<br />

Axel Haunholter<br />

45


Anhänge<br />

Baugruppenzeichnung des Kristallhalter mit Verbindungseinheiten<br />

Baugruppenzeichnung für die Messungen am Antares Instrument<br />

Baugruppenzeichnung einer geplannten Ansaugvorrichtung für Kristalle<br />

46


A<br />

1 2<br />

3<br />

4 5<br />

6 7 8<br />

14<br />

1<br />

4<br />

1<br />

3<br />

1<br />

A<br />

B<br />

C<br />

D<br />

E<br />

F<br />

Weitergabe sowie Vervielfältigung dieser Unterlage nicht gestattet, soweit nicht ausdrücklich zugestanden. Alle Rechte vorbehalten.<br />

213<br />

69,40<br />

148,50<br />

POS-NR. BENENNUNG MENGE<br />

1<br />

41.063.50BC LTM-60-50MSM<br />

Owis-Lineartich<br />

1<br />

2 Verbindungsplatte mit Tisch 1<br />

3 Verlängerung 1<br />

4<br />

5<br />

Diamanthalter<br />

Zwischenplatte<br />

1<br />

1<br />

6 Goniometerverbindung1_v1 1<br />

7 2013102 Gonimeter Atrappe 1<br />

8<br />

9<br />

20x20x2 Winkel<br />

Flach 60x5<br />

2<br />

1<br />

10 Alu Rund 6mmx28mm 1<br />

11 Alu Rund 6mmx60mm 1<br />

12 Kristall15x15 1<br />

13 20x20x4 Winkel 2<br />

14 Saugnapf 1<br />

15 Ring 4x1 1<br />

16 DIN 912 - M3 x 5 5<br />

17 DIN 912 - M3 x 16 4<br />

18 DIN 912 - M4 x 6 2<br />

2<br />

1<br />

1<br />

1<br />

12<br />

1<br />

<br />

<br />

<br />

<br />

<br />

<br />

N<br />

RMII<br />

<br />

5<br />

1<br />

H<br />

TECHNISCHE<br />

UNIVERSITÄT<br />

MÜNCHEN<br />

<br />

N<br />

6<br />

1<br />

<br />

INIST<br />

MS<br />

T<br />

<br />

<br />

HMRMII<br />

8<br />

2<br />

13<br />

2<br />

Werkstückkanten DIN 6784<br />

MM<br />

S<br />

<br />

SV<br />

<br />

<br />

E<br />

S<br />

IN<br />

16<br />

5<br />

10<br />

1<br />

7<br />

1<br />

9<br />

1<br />

11<br />

1<br />

-0.5 +0.3<br />

SN<br />

U<br />

T<br />

SN<br />

IR<br />

<br />

V<br />

<br />

NN<br />

<br />

B<br />

C<br />

D<br />

1 2 3 4<br />

<br />

CEUMIISV

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