3 Auger-Elektronenspektroskopie (AES) - KOPS - Universität Konstanz

3 Auger-Elektronenspektroskopie (AES)
0
R(Z)
25
1 1
0.75 0.75
0.5
0
25
50
0.5
50
For aliebig Wed Dec 18 18:36:09 CET 2002
Abbildung 3.8: Rückstreukorrektur Ri,S(Z) für die 1030 eV Linie von Gadolinium als Funktion
der Ordnungszahl des Substratmaterials
Betrachten wir eine binäre Verbindung,
bestehend aus dem Komponenten A
und B. Dann errechnet sich der Auger-
Elektronenstrom der Komponente A zu
IA = I0σA(Ep)[1 + ri(EA)]T (EA)D(EA)
�∞
−z
∗ NA(z)exp
dz (3.13)
λi(EA)cosθ
0
dabei ist T die Transmission des Analysators
und D die Detektorempfindlichkeit. Für die
homogene Probe vereinfacht sich das Integral
zu NAλi(EA)cosθ. Vergleich der Intensitäten
mit jeweils reinen Volumenproben, Einsetzen
der Dichte (um von NA auf den molaren Anteil
XA zu kommen) und der freien Weglänge
ergibt:
XA
XB
= F A AB
IA
I ∞ A
IB
I ∞ B
wobei I∞ A , I∞ B
nen (Element-) Proben sind. F A AB
30
(3.14)
die Linienintensitäten der rei-
ist der
Matrixfaktor:
F A AB(XA → 0) = 1+rA(EA)
1+rB(EA)
� �1.5 aB
aA
(3.15)
� �1.5 aB
F A AB(XA → 1) = 1+rA(EB)
1+rB(EB) aA
(3.16)
Die hier enthaltenen Rückstreukorrekturen
ändern sich natürlich mit der Zusammensetzung
der Probe. Nach den Untersuchungen
von Hall und Morabito [HaM79] ist der Unterschied
zwischen den Extremwerten XA →
0 und XA → 1indenmeistenFällen kleiner
als 5%. Dies ist wesentlich kleiner, als die
Fehler, die durch ungenaue Werte der freien
Weglänge zustandekommen.
3.2.4 Adsorbatschichten
Seah [Sea83] gibt ein Verfahren zur Quantifizierung
von dünnen Adsorbatschichten an.
Dieses wurde in Konstanz 1991 von Krausch