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4. Verkapselung von mikroelektromechanischen Implantaten 19
Körperflüssigkeit verdeckt und somit die Polarisationsverluste bei Kommunikation und
Energieübertragung minimiert. Das flexible Mikrokabel schmiegt sich an die Form des
Augapfels an.
4.3 Materialien und deren Anwendung für die Verkapselung
von Mikroimplantaten
Für die Verkapselung von Mikroimplantaten wird eine Vielzahl von unterschiedlichen
Materialien eingesetzt. Im Folgenden werden die Anwendung und die Eignung der
Materialien für Langzeitimplantate vorgestellt.
4.3.1 Metalle
Metalle weisen von allen Materialien die geringste Durchlässigkeit für Wasserdampf auf
(Abbildung 9) und eignen sich daher hervorragend für die hermetisch dichte
Langzeitverkapselung. Des Weiteren weisen sie vorteilhafte mechanische Eigenschaften
auf. Nachteilig ist ihre elektrische Leitfähigkeit, die für Leitungsdurchführungen ein
zusätzliches isolierendes Material erforderlich macht. Damit beschränkt sich ihr Einsatz
in der Regel auf Gehäuse, wie sie beim Herzschrittmacher zum Einsatz kommen. Das
bevorzugte Material ist hierfür Titan, wobei auch Platin, Tantal, Zirkon und Niob sehr
gute Eigenschaften in Bezug auf Biostabilität (Kapitel 3.2.1) und Biokompatibilität
(Tabelle 2) aufweisen.
Metalle werden aber auch für die Verkapselung auf Waferebene eingesetzt. Dazu
Abbildung 9 Benötigte Zeitdauer bis die Luftfeuchtigkeit im Packungsinneren 50 % des
Umgebungswertes erreicht [25].