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II
Inhaltsverzeichnis
5.2.3 Flexibilität der zweilagigen Verkapselung ...................................... 41
5.2.4 Verkapselungskonzept für ein Drucksensorimplantat..................... 43
5.2.5 Auswirkung der ersten Verkapselungslage auf die
Drucksensormembran .................................................................. 44
6 Testverfahren für die Charakterisierung von
Verkapselungsmaterialien........................................................................ 47
6.1 Test auf Biostabilität............................................................................. 47
6.1.1 Lagerung im Elektrolyten.............................................................. 48
6.1.2 Lagerung im Autoklaven .............................................................. 49
6.2 Pinholetest mit Leckstrommessung ....................................................... 52
6.2.1 Leckstrommessung....................................................................... 54
6.2.2 Pinholetest................................................................................... 54
6.3 Adhäsionstest ...................................................................................... 57
6.3.1 Die Adhäsion von Silikon .............................................................. 57
6.3.2 Versagensmechanismen der Silikonverkapselung........................... 60
6.3.3 Verschiedene Adhäsionstests ........................................................ 61
6.3.4 Aufbau des Zugtests..................................................................... 62
6.4 Verkapselungstestchip.......................................................................... 63
6.4.1 Aufbau des Verkapselungstestchips .............................................. 63
6.4.2 Versuchsaufbau ........................................................................... 66
7 Ergebnisse der Testverfahren .................................................................. 68
7.1 Untersuchte Materialien ....................................................................... 68
7.2 Test auf Biostabilität im Autoklaven...................................................... 69
7.2.1 Aluminium und Silikon ................................................................. 70
7.2.2 Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Schichtstapel......................................... 72
7.2.3 Siliziumoxid.................................................................................. 73
7.2.4 Siliziumnitrid ................................................................................ 74
7.2.5 Nanolaminat aus Al 2O 3 und ZrO 2................................................... 76
7.2.6 Tantalpentoxid ............................................................................. 77
7.2.7 Zusammenfassung ....................................................................... 78
7.3 Pinholetest mit Leckstrommessung ....................................................... 79
7.3.1 Silikon.......................................................................................... 80
7.3.2 Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Schichtstapel......................................... 80
7.3.3 Nanolaminat aus Al 2O 3 und ZrO 2................................................... 85