Text anzeigen (PDF) - bei DuEPublico - Universität Duisburg-Essen

6. Testverfahren für die Charakterisierung von Verkapselungsmaterialien 53
Abbildung 27 Skizze der Messzelle für den Pinholetest und die Leckstrommessung für
Passivierungsschichten.
2 · 10 15 Ωcm), welches mit einem Dispenser auf die Passivierungsschicht aufgebracht
wird. Gegenüber einem fertigen Dichtungsring bietet diese Vorgehensweise einen
deutlich besseren Schutz der Passivierung gegen mechanische Beschädigungen, wie sie
sonst beispielsweise durch Partikel am Dichtungsring verursacht werden können. Um
einen sicheren elektrischen Kontakt des Substrats zur sich darunter befindenden
Aluminiumplatte herzustellen, wird die Substratrückseite mit Schmirgelpapier
aufgeraut. Dies entfernt vorhandenes natives Oxid. Das Glasröhrchen wird auf die
Dichtung aufgesetzt, mit einer Schraubdruckfeder fixiert und mit dem Elektrolyten
befüllt. Die Platinelektrode wird mit einem Schraubverschluss befestigt.
Nun kann über die Aluminiumplatte und die Platinelektrode der Stromfluss durch
die Passivierungsschicht gemessen werden (Abbildung 28). Dafür wird das gewünschte
Potential mit einer Spannungsquelle an die Aluminiumplatte angelegt und die
Platinelektrode wird über einen Multiplexer zu einem Elektrometerverstärker
durchgeschaltet. Der Multiplexer ist so aufgebaut, dass die Platinelektrode bei einer
Messung auf der virtuellen Masse des sich im Elektrometerverstärker befindenden
Stromspannungswandlers liegt und ansonsten auf Masse durchgeschaltet wird.
Dadurch liegt das vorgegebene Potential dauerhaft an der Passivierungsschicht an und
Leckströme im Multiplexer werden minimiert. Der Multiplexer erlaubt es bis zu 16
Aufbauten anzuschließen. Die Spannungsquelle und der Elektrometerverstärker werden
über ein PC-Programm gesteuert, welches auch zur Erfassung der Messdaten dient.