Fachpraktikum Diplom Master Bachelor - IMMS Institut für ...
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<strong>IMMS</strong> –Themenkatalog <strong>für</strong> Studenten<br />
25. Erarbeitung eines Konzepts zur Ablaufoptimierung des Wafersteppings<br />
bei paralleler Messung mehrerer Dies<br />
Betreuer: Dipl.-Ing. Roman Paris (roman.paris@imms.de)<br />
Bei der sequentiellen Messung mehrerer Dies auf einem Wafer wird die Messreihenfolge<br />
der einzelnen Dies optimiert um die Gesamtmessdauer zu minimieren.<br />
Diese Optimierung ist in die Ansteuersoftware der Wafer Probe Station<br />
implementiert.<br />
Zur weiteren Minimierung der Messdauer soll eine teilparallele Messung von<br />
mehreren in einer 2 dimensionalen Matrix angeordneten Dies vorgenommen<br />
werden. Die Optimierungsaufgabe wird dabei bedingt durch die vom Wafer<br />
bestimmte kreisförmige Begrenzung der Anordnung der Dies komplexer, da im<br />
Randbereich des Wafers nur ein Teil der Messmatrix verwendet werden kann.<br />
Für diese Messmethode ist eine Optimierung zu erarbeiten und in die Ansteuersoftware<br />
zu implementieren.<br />
auszuführende Arbeiten:<br />
• Recherche von möglichen Optimieralgorithmen<br />
• Erarbeitung eines optimierten Steppings <strong>für</strong> teilparallele Messungen<br />
• Implementierung in die Ansteuersoftware der Probe Station<br />
vorausgesetzte Kenntnisse:<br />
• Grundlagen der mathematischen Optimierung<br />
• Programmierung in C oder Labview<br />
Dauer: jeweils nach Vereinbarung<br />
26. Konzeption und Aufbau eines Referenzfrequenznormals zur Synchronisierung<br />
von Messgeräten<br />
Betreuer: Dipl.-Ing. Alexander Rolapp (alexander.rolapp@imms.de)<br />
Dipl.-Ing. Michael Meister (michael.meister@imms.de)<br />
Messgeräte die <strong>für</strong> den Betrieb eine genaue Referenzfrequenz benötigen haben<br />
meist einen Internen Referenzoszillator. Durch Alterungseffekte wird die<br />
Genauigkeit dieses Signals vermindert. Um bei der Kopplung mehrerer solcher<br />
Messgeräte Abweichungen zwischen den Geräten zu verringern, können diese<br />
über eine Schnittstelle mit einem gemeinsamen Referenzsignal versorgt werden.<br />
In der Regel ist das genaueste Gerät im Messaufbau dann auch Referenzsignalquelle.<br />
Dabei ist eine relative Standartabweichung der Genauigkeit<br />
durch Alterungseffekte in der Größenordnung 10 -6 / Jahr (Kalibrierungsalter)<br />
typisch. Durch Auswertung des Trägersignals eines atomuhrsynchronisierten<br />
Rundfunksenders oder des DCF77 Signals, mit einer relativen Standardabweichung<br />
von maximal 10 -12 , soll eine Referenzfrequenzquelle <strong>für</strong> Messgeräte<br />
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