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IMMS –Themenkatalog für Studenten 25. Erarbeitung eines Konzepts zur Ablaufoptimierung des Wafersteppings bei paralleler Messung mehrerer Dies Betreuer: Dipl.-Ing. Roman Paris (roman.paris@imms.de) Bei der sequentiellen Messung mehrerer Dies auf einem Wafer wird die Messreihenfolge der einzelnen Dies optimiert um die Gesamtmessdauer zu minimieren. Diese Optimierung ist in die Ansteuersoftware der Wafer Probe Station implementiert. Zur weiteren Minimierung der Messdauer soll eine teilparallele Messung von mehreren in einer 2 dimensionalen Matrix angeordneten Dies vorgenommen werden. Die Optimierungsaufgabe wird dabei bedingt durch die vom Wafer bestimmte kreisförmige Begrenzung der Anordnung der Dies komplexer, da im Randbereich des Wafers nur ein Teil der Messmatrix verwendet werden kann. Für diese Messmethode ist eine Optimierung zu erarbeiten und in die Ansteuersoftware zu implementieren. auszuführende Arbeiten: • Recherche von möglichen Optimieralgorithmen • Erarbeitung eines optimierten Steppings für teilparallele Messungen • Implementierung in die Ansteuersoftware der Probe Station vorausgesetzte Kenntnisse: • Grundlagen der mathematischen Optimierung • Programmierung in C oder Labview Dauer: jeweils nach Vereinbarung 26. Konzeption und Aufbau eines Referenzfrequenznormals zur Synchronisierung von Messgeräten Betreuer: Dipl.-Ing. Alexander Rolapp (alexander.rolapp@imms.de) Dipl.-Ing. Michael Meister (michael.meister@imms.de) Messgeräte die für den Betrieb eine genaue Referenzfrequenz benötigen haben meist einen Internen Referenzoszillator. Durch Alterungseffekte wird die Genauigkeit dieses Signals vermindert. Um bei der Kopplung mehrerer solcher Messgeräte Abweichungen zwischen den Geräten zu verringern, können diese über eine Schnittstelle mit einem gemeinsamen Referenzsignal versorgt werden. In der Regel ist das genaueste Gerät im Messaufbau dann auch Referenzsignalquelle. Dabei ist eine relative Standartabweichung der Genauigkeit durch Alterungseffekte in der Größenordnung 10 -6 / Jahr (Kalibrierungsalter) typisch. Durch Auswertung des Trägersignals eines atomuhrsynchronisierten Rundfunksenders oder des DCF77 Signals, mit einer relativen Standardabweichung von maximal 10 -12 , soll eine Referenzfrequenzquelle für Messgeräte 22
gebaut werden. auszuführende Arbeiten: • Konzeption und -entwurf • Leiterplattenlayout • Aufbau und Funktionstest vorausgesetzte Kenntnisse: • Grundlagen der Schaltungstechnik • Grundlagen HF-Technik • Erfahrungen im Leiterplattenentwurf Dauer: 16-20 Wochen IMMS –Themenkatalog für Studenten VI. THEMENBEREICH - MECHATRONIK 27. Entwicklung eines Diagnosetools für Genauigkeitsuntersuchungen an einer Laserschneidanlage Betreuer: Dipl.-Math. Michael Katzschmann (michael.katzschmann@imms.de) Ziel der Arbeit ist die Entwicklung eines Programms (MATLAB) für die quantitative Bewertung von Teilen die mittels Laserschneidens hergestellt werden. Die Bewertung soll Rückschlüsse auf Fehlerquellen in der Schneidanlage ermöglichen. auszuführende Arbeiten: • Erweiterung/Vervollständigung eines Algorithmus zur Kantenerkennung in Bildern • Überlagerung der gefundenen Kanten mit der Wegvorgabe für die Antriebe der Schneidanlage unter Berücksichtigung des Schneidspaltes • Ableiten charakteristischer Größen aus den gefundenen Abweichungen zur Identifikation von Fehlerquellen vorausgesetzte Kenntnisse: • Ausbildung an der Fak. für Maschinenbau mit guten Kenntnissen in Konstruktionstechnik und Antriebstechnik Dauer: jeweils nach Vereinbarung 23
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