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Fachpraktikum Diplom Master Bachelor - IMMS Institut für ...

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<strong>IMMS</strong> –Themenkatalog <strong>für</strong> Studenten<br />

findlichkeit und damit die Genauigkeit, mit der Parameter wie die Spannung in<br />

dünnen Schichten bestimmt werden können, hängen vom Design der MEMS<br />

ab.<br />

auszuführende Arbeiten:<br />

• Entwurf von MEMS-Teststrukturen<br />

• Erstellung von FE-Modellen<br />

• Optimierung der Teststrukturen durch Parametervariation<br />

• Vermessung von Teststrukturen<br />

vorausgesetzte Kenntnisse:<br />

• Grundkenntnisse in FE-Programmen, vorgzugsweise Ansys<br />

• Grundkenntnisse in matlab<br />

Dauer: nach Vereinbarung<br />

42. Weiterentwicklung einer GUI zur Parameteridentifikation von<br />

MEMS<br />

Betreuer: Dipl.-Ing. Steffen Michael (steffen.michael@imms.de)<br />

auszuführende Arbeiten:<br />

• Erweiterung der Funktionalität einer vorhandenen GUI<br />

vorausgesetzte Kenntnisse:<br />

• C++/C<br />

Dauer: nach Vereinbarung<br />

43. Theoretische und Praktische Untersuchungen von Antriebskomponenten<br />

im Vakuum<br />

Betreuer: Dipl.-Ing. Bianca Leistritz (bianca.leistritz@imms.de)<br />

Steigende Anforderungen an Präzisionsantriebssysteme setzen deren Einsatz<br />

im Vakuum voraus. Im Rahmen der Arbeit sollen die bestehenden Antriebskomponenten<br />

hinsichtlich ihrer Vakuumtauglichkeit untersucht und alternative<br />

Lösungsvarianten aufgezeigt werden.<br />

Auszuführende Arbeiten:<br />

• Einarbeitung in die Thematik<br />

• Theoretische Untersuchungen zur Vakuumtauglichkeit der bisher eingesetzten<br />

Antriebskomponenten<br />

• Recherche von alternativen Komponenten bzw. Materialien<br />

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