VDI 2840 - Beuth Verlag

– 24 – VDI 2840 Entwurf Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2004
Glossar
kursiv: englische Übersetzung
amorph Festkörperzustand mit regelloser Anordnung der Atome bzw. Moleküle; siehe
auch �kristallin, �polymer; amorphous
Beschichtungstemperatur Temperatur des �Substrats während der Beschichtung; deposition temperature
chemische Gasphasen- ein Beschichtungsverfahren, bei dem Feststoffe aus einer �Gasphase
abscheidung chemisch abgeschieden werden, zwei oder mehr gasförmige Komponenten umströmen
das zu beschichtende Werkstück bei �Beschichtungstemperaturen von
800 bis 1050 °C; die Komponenten werden unter Einbeziehung der Werkstückoberflächen
des Trägerwerkstoffes zur Reaktion gebracht und bilden auf diesen
Oberflächen fest haftende Schichten; chemical vapour deposition, CVD
CVD Abkürzung für englisch: chemical vapour deposition, �chemische
Gasphasenabscheidung
Diamant eine �kristalline Form des Kohlenstoffs, die Atome sind �sp 3 -hybridisiert; diamond
Diamond-like-carbon aus dem Englischen (diamantähnlicher Kohlenstoff), Bezeichnung für die
amorphen �Kohlenstoffschichten
�
DLC Abkürzung für �Diamond-like-carbon
(Diamant-)Dickschicht Beschichtung mit einer Schichtdicke von üblicherweise mehr als 0,3 mm; diese
Schichten werden in der Regel vom �Substrat abgelöst und freistehend verwendet;
abgelöste Diamantschichten gibt es auch schon ab wenigen Mikrometern Dicke;
(diamond) thick film
dotiert bezeichnet �Kohlenstoffschichten, die zusätzliche Elemente, z. B. Wasserstoff
oder Bor, in geringen Anteilen enthalten; Metalle und nichtmetallische Elemente,
die in Anteilen bis zu 40 At-% vorhanden sind, werden üblicherweise nicht als
Dotierung bezeichnet; siehe auch �modifiziert; doped
Dünnschicht Beschichtung mit einer Schichtdicke von üblicherweise weniger als 20 µm; Diamantdünnschichten
können auch bis zu 40 µm dick sein; thin film
Gasphase gasförmiger Zustand; bezeichnet bei �CVD- und �PVD-
Beschichtungsprozessen auch die gasförmigen Stoffe, die das �Substrat umgeben;
gas phase
Graphit eine �kristalline Form des Kohlenstoffs, die Atome sind �sp 2 -hybridisiert; graphite
in-situ hier: innerhalb des Beschichtungsreaktors; in situ
Kohlenstoffschicht Beschichtung, die zu einem überwiegenden Teil aus dem chemischen Element
Kohlenstoff besteht; carbon film
Korngrenze amorphe Festkörperphase zwischen benachbarten �Kristalliten in �polykristallinen
Schichten; grain boundary
kristallin Festkörperzustand mit regelmäßiger Anordnung der Atome bzw. Moleküle; siehe
auch �amorph, �polykristallin, �polymer; crystalline
Kristallit jedes einzelne Kristallkorn eines Kristallaggregats (�Vielkristall); siehe auch
�polykristallin; crystallite
mikrokristallin �polykristalline Form mit einer Kristallitgröße im Bereich von 0,5 bis 10 µm
(gilt für Diamant), an der Wachstumsseite gemessen; microcrystalline
modifiziert bezeichnet �Kohlenstoffschichten, die zusätzliche nichtmetallische Elemente
enthalten; modified
nanokristallin �kristalline Form mit einer Kristallitgröße im Bereich von 1 bis 500 nm (gilt für
Diamant), an der Wachstumsseite gemessen; nanocrystalline
PA Abkürzung für „plasma activated“ und „plasma assisted“, englische Bezeichnungen
für �plasma-unterstützt
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