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VDI 2840 - Beuth Verlag

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– 26 – <strong>VDI</strong> <strong>2840</strong> Entwurf Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2004<br />

Deutsche Übersetzung englischer Begriffe<br />

amorphous amorph<br />

carbon Kohlenstoff<br />

chemical vapour deposition chemische Gasphasenabscheidung<br />

crystalline kristallin<br />

crystallite Kristallit<br />

depositon temperature Beschichtungstemperatur<br />

diamond Diamant<br />

diamond-like-carbon diamantähnlicher Kohlenstoff, DLC<br />

doped dotiert<br />

film Schicht<br />

gas phase Gasphase<br />

grain Kristallit, Korn<br />

grain boundary Korngrenze<br />

graphite Graphit<br />

hybridisation Hybridisierung<br />

hydrogenated wasserstoffhaltig<br />

in situ in-situ<br />

microcrystalline mikrokristallin<br />

modified modifiziert<br />

nanocrystalline nanokristallin<br />

physical vapour deposition physikalische Gasphasenabscheidung<br />

plasma Plasma<br />

plasma activated plasma-unterstützt<br />

plasma assisted plasma-unterstützt<br />

plasma enhanced plasma-unterstützt<br />

plasma polymer film Plasmapolymerschicht<br />

polycrystal Vielkristall<br />

polycrystalline polykristallin<br />

polycrystalline diamond Polykristalliner Diamant, PKD<br />

polymer polymer<br />

sputtering Sputtern, Aufstäuben<br />

substrate Substrat<br />

tetrahedral tetraedrisch<br />

texture Textur<br />

thick film Dickschicht<br />

thin film Dünnschicht<br />

translucent transluzent<br />

transparent transparent<br />

vacuum Vakuum<br />

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