Les Nanotechnologies : - Page personnelle de Christian J. Bordé
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<strong>Les</strong> <strong>Nanotechnologies</strong> 24 novembre 2002Quelle que soit la problématique abordée ou l’environnement du laboratoire, l’extrêmepetitesse <strong>de</strong> l’échelle nanométrique impose au chercheur d’utiliser <strong>de</strong>s moyenstechnologiques <strong>de</strong> manipulation, <strong>de</strong> fabrication ou <strong>de</strong> caractérisation adaptés au mon<strong>de</strong> <strong>de</strong>« l’infiniment » petit. Il existe une gran<strong>de</strong> variation <strong>de</strong> moyens dédiés à l’échellenanométrique, et la taille <strong>de</strong> ces moyens (en particulier en investissements) est aussi trèsvariable.Il existe tout d’abord <strong>de</strong>s moyens dévolus à la recherche en technologie dans l’aproche« top-down », pour développer les techniques ultimes <strong>de</strong> fabrication à l’échellenanométrique. Ces infrastructures du premier niveau regroupent l’ensemble <strong>de</strong>s instrumentsnécessaires à la fabrication <strong>de</strong> structures complexes avec <strong>de</strong>s dimensions latérales pouvant<strong>de</strong>scendre en <strong>de</strong>ssous <strong>de</strong> 100 nanomètres. Elles mettent en œuvre les techniques <strong>de</strong>lithographie et <strong>de</strong> gravure les plus mo<strong>de</strong>rnes. Elles ont aussi pour objectif <strong>de</strong> faireprogresser les connaissances en métho<strong>de</strong>s et outils <strong>de</strong> nano fabrication. La constitution <strong>de</strong>telles plates-formes technologiques représente <strong>de</strong>s investissements lourds. En raison <strong>de</strong>leur prix (une plate-forme représente un investissement d’environ 20 à 30 M€), ceséquipements ne peuvent avoir qu’une vocation régionale ou nationale, ce qui requiert <strong>de</strong> lesdoter d’un mo<strong>de</strong> <strong>de</strong> fonctionnement permettant l’ouverture la plus large possible versl’extérieur.On peut ensuite i<strong>de</strong>ntifier une <strong>de</strong>uxième classe <strong>de</strong> besoins en moyens <strong>de</strong> tailleintermédiaire, que l’on peut qualifier <strong>de</strong> d’infrastructures <strong>de</strong> <strong>de</strong>uxième niveau. Il s’agitprincipalement d’ateliers <strong>de</strong> nano fabrication, permettant l’élaboration <strong>de</strong> nouveaux objets àl’ai<strong>de</strong> <strong>de</strong> procédés <strong>de</strong> nano fabrication maîtrisés, qui n’ont pas nécessairement <strong>de</strong> capacitéspour la production <strong>de</strong> masse mais qui opèrent à une échelle nettement sub-micronique,comme par exemple la gravure par faisceau d'électrons. De tels ateliers représentent <strong>de</strong>séquipements mi-lourds importants (environ 3 à 6 M€). Ils sont nécessaires aux équipesimpliquées dans <strong>de</strong>s projets en nanosciences ou en nanotechnologies pour élaborer lesobjets <strong>de</strong> leurs étu<strong>de</strong>s, ou à <strong>de</strong> jeunes entreprises pour le développement <strong>de</strong> prototypes. Cetaccès aisé à la fabrication est essentiel, tant dans la recherche <strong>de</strong> phénomènes nouveauxdans toutes les disciplines (biologie, physique, chimie), que pour la formalisation <strong>de</strong>sconcepts et la mise au point <strong>de</strong> procédés ou d’objets nouveaux.Enfin, on peut également i<strong>de</strong>ntifier une vaste classe d’applications en nanotechnologies pourlesquelles il est essentiel <strong>de</strong> disposer d’ateliers <strong>de</strong> micro fabrication. Ces infrastructures <strong>de</strong>troisième niveau n’ont pas les capacités <strong>de</strong> fabrication ou <strong>de</strong> structuration <strong>de</strong> la matière àl’échelle nanométrique. Mais nombre d’objets nanométriques peuvent être produits voireassemblés par <strong>de</strong>s techniques physiques ou chimiques accessibles à l’échelle <strong>de</strong> nombreuxlaboratoires, et seules la mise en forme, l’isolation, le découpage, la prise <strong>de</strong> contacts, oul’encapsulage <strong>de</strong>s composants ou dispositifs réalisés requièrent la mise en œuvre <strong>de</strong>techniques <strong>de</strong> micro-fabrication standard. <strong>Les</strong> infrastructures <strong>de</strong> troisième niveaureprésentent <strong>de</strong>s équipements mi-lourds d’importance moindre que les infrastructures <strong>de</strong>second niveau (environ 1 à 3 M€). Elles doivent être largement disponibles et ouvertes auplan local, afin <strong>de</strong> permettre aux équipes –ou aux jeunes entreprises– <strong>de</strong> vali<strong>de</strong>r <strong>de</strong>s mo<strong>de</strong>sd'élaboration et d'assemblage, ou <strong>de</strong> caractériser les fonctions et les propriétés <strong>de</strong> nouveauxobjets. Elles sont très répandues à l'étranger, dans pratiquement chaque établissement,voire chaque département <strong>de</strong> recherche pour les universités les mieux dotées.Dans le domaine <strong>de</strong>s nanotechnologies, les ateliers <strong>de</strong> micro et nano fabrication (c’est-à-direles infrastructures <strong>de</strong> <strong>de</strong>uxième et troisième niveau) ont un rôle i<strong>de</strong>ntique à celui qu’ont jouéles ateliers d’électronique ou <strong>de</strong> mécanique <strong>de</strong>s laboratoires il y a une vingtaine d’années.Académie <strong>de</strong>s technologies, 28 rue Saint Dominique, Paris 7 ème 23Tel : 33 1 53 85 44 44/ Fax : 33 1 53 85 44 45Mail :http://www.aca<strong>de</strong>mie-technologies.fr