Ap_LASER_n50_SETT_OTT_2015

technology
T3. Spessore
ottenuto e
qualità della
lavorazione.
Sotto queste ipotesi cinque prove sono state
realizzate per studiare l’effetto singolo e cumulato
di ogni ciclo di lavorazione progettato.
Tali prove sono state eseguite in assenza
e in presenza di azoto al fine di studiarne
l’influenza.
Analisi dei risultati
Terminata la campagna sperimentale, le
geometrie ottenute sono state acquisite da
un microscopio a scansione laser confo-
La Tabella 2 riassume gli esperimenti progettati.
In tabella 2 il tempo totale (t) e l’energia
(E) necessario per ogni ciclo sono stati
5. Effetto
singolo e
cumulato di
ogni ciclo di
lavorazione
progettato.
Single and
cumulative laser
cycle profiles.
infine introdotti; tali grandezze sono state stimate
rispettivamente come prodotto di t loop
ed
E loop
per il numero di loop.
cale (CLSM) per ottenere immagini 3D ad
alta risoluzione. Il microscopio Olympus
Lext OLS4100 equipaggiato con un obiettivo
200X è stato utilizzato per l’acquisizione
della geometria in modo da avere una risoluzione
pari a 0,625 μminXedinYmentre,
per eseguire una scansione tridimensionale
della tasca, la risoluzione del movimento
relativa all’asse Z è stata posta pari a 10
nm. Con tale configurazione è stata eseguita,
per ogni test, una scansione di una
superficie pari a 640x640 μm 2 . Essendo il
microscopio in grado di calcolare misure
relative e non assolute, la profondità media
ottenuta (μ depth
) è stata calcolata come
differenza tra la media delle misure relative
alla superficie superiore non lavorata (μ top
)
e la media relativa alla superficie lavorata
(μ bottom
). I valori utilizzati per la stima di μ top
settembre ottobre 2015 APPLICAZIONI LASER - 59