1/2005 - Sick

: Anwendungen
Elektronik
Bild: RENA
Die Reinigungsanlage für Silizium-Wafer
Positionserfassung im Tauchbecken
Unterwasser-Lichtschranke
optimiert Waferhandling
Automatisierung unter Wasser – der Lichttaster WT 4-2 mit teflon ® -geschütztem
Gehäuse und Kabel macht es möglich. Im Tauchbecken
einer Reinigungsanlage für Silizium-Wafer fühlt sich der Sensor in seinem
Element.
>> Auf diese „tauchliche“ Lösung gestoßen
ist man bei der RENA Sondermaschinen
GmbH in Gütenbach. RENA
– der Name steht für Reinraum Equipment
Nasschemie Automatisierung –
bietet kundenspezifische Lösungen
und Standardanlagen für Nasschemieprozesse
unter Reinraumbedingungen.
In der Wafer-Reinigungsmaschine konnte
mit der Unterwasser-Lichtschranke
die Prozesssicherheit beim automatischen
Waferhandling wesentlich erhöht
werden.
Mehrfache Positionserfassung
In den Maschinen werden u. a.
300-mm-Wafer in Kassetten durch einen
sogenannten Hordenlift in ein mit
Reinstwasser gefülltes Becken abgesenkt.
Von dort übernimmt ein Hand-
lingsarm den Transport der aus der
Kassette entnommenen Waferpakete
durch die verschiedenen Prozessbecken
der Anlage. Bislang wurden weder
die Kassettenpositionen im Becken
noch die Endpositionen des Hordenlifts
selbst überwacht. Mit dem Lichttaster
WT 4-2 Teflon ® ist dies jetzt möglich,
wodurch sich die Handlingssicherheit in
der Maschine wesentlich erhöht hat.
Ausschlaggebend für den Einsatz der
Sensoren waren zum einen die vollständige
Dichtigkeit von Sensorgehäuse und
Kabelummantelung sowie die Miniaturbauform,
die eine Installation in dem
ohnehin engen Tauchbecken erlaubte.
Zwei Fliegen mit einer Klappe
Mit dem WT 4-2 Teflon ® konnte RENA
„zwei Fliegen mit einer Klappe schlagen“,
denn in einem anderen Maschinentyp
konnte eine bislang eingesetzte
Erfassungslösung durch exakt diese
„Unterwasser-Lichtschranke“ ersetzt
werden. Auf diese Weise wurde nicht
nur eine weitere, anspruchsvolle Applikation
gelöst, sondern auch die Variantenvielfalt
bei RENA reduziert.
Bei RENA freut man sich schon auf
die neue Gerätegeneration WT 4-3 Teflon
® . Mit ihr wird die Tastweiteneinstellung
von außen im eingebauten Zustand
möglich sein.
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oder im Internet unter:
www.sick.de/insight
Mehr zum Kunden unter:
www.rena.de
Die „Unterwasser-Lichtschranke“
WT 4-2 Teflon ® im Tauchbecken
der Reinigungsanlage
24 1/2005