View - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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Inhaltsverzeichnis<br />
__________________________________________________________________________________________<br />
3.4.3 Chemisorption ________________________________________________________ 53<br />
3.4.4 Untersuchungen an reoxidierten Proben ____________________________________ 54<br />
3.4.5 Lichtmikroskopische Untersuchungen _____________________________________ 56<br />
3.4.6 Rasterelektronenmikroskopie ____________________________________________ 57<br />
3.4.7 Topographische Untersuchungen _________________________________________ 58<br />
3.4.8 Röntgendiffraktometrie _________________________________________________ 58<br />
4 Ergebnisse und Diskussion ___________________________________ 60<br />
4.1 Substratcharakterisierung__________________________________________________ 60<br />
4.2 Untersuchungen an freien Halbzellen ________________________________________ 65<br />
4.2.1 Einfluss der Reoxidationsbedingungen _____________________________________ 65<br />
4.2.2 Einfluss von Substrateigenschaften ________________________________________ 71<br />
4.2.3 Bestimmende Prozesse der Reoxidation ____________________________________ 77<br />
4.2.4 Ursache der Reoxidationsproblematik______________________________________ 83<br />
4.2.5 Modellhafte Beschreibung der Reoxidation _________________________________ 85<br />
4.3 Untersuchungen an Halbkassetten ___________________________________________ 95<br />
4.3.1 Versuche an G-Design Halbkassetten ______________________________________ 96<br />
4.3.2 Versuche an CS-Design Halbkassetten ____________________________________ 100<br />
4.4 Untersuchungen an Stacks ________________________________________________ 110<br />
5 Zusammenfassung _________________________________________ 116<br />
6 Literatur _________________________________________________ 121<br />
7 Abkürzungen______________________________________________ 137