2013-6 - Lehrstuhl Metallische Werkstoffe, Universität Bayreuth
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Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 25<br />
PVD-Beschichtungsverfahren<br />
PVD<br />
Sputtering<br />
Evaporation<br />
Diode<br />
Magnetron Ion beam Triode<br />
Resistive<br />
Arc Inductive e-beam<br />
Radio Frequency<br />
Pulsed Cathode<br />
DC-sputtering<br />
Steered<br />
Random<br />
Balanced<br />
Unbalanced<br />
Balanced<br />
Unbalanced<br />
Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 26
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